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本实用新型提供了一种旋转接头和一种硅片处理装置，旋转接头包括：轴承座，轴承座内设置有轴孔和进液腔，轴孔和进液腔相连通，轴孔的孔壁上设置有密封槽；转轴，设置于轴孔中，转轴内设置有通道，通道与进液腔相连通；密封件，位于密封槽内，密封件包括：耐磨...
该专利属于常州捷佳创精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州捷佳创精密机械有限公司授权不得商用。

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