体光栅标定组件、体光栅的制备装置、标定方法和曝光方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种体光栅标定组件、体光栅的制备装置、标定方法和曝光方法，标定装置包括第一激光器和第一反射镜，所述第一激光器位于曝光平台上样品的正侧，所述第一反射镜位于曝光平台上样品的另一侧；所述第一激光器发出标定光束以照射在曝光平台的曝光区上，从所述曝光平台上透射的光经第一反射镜反射，获得反射光束，调整所述第一反射镜的角度以使得反射光束在第一激光器的输出端形成牛顿环。其使用标定的方法可精确控制体光栅栅线的角度，稳定性好。

【技术实现步骤摘要】
体光栅标定组件、体光栅的制备装置、标定方法和曝光方法
本专利技术涉及光栅
，尤其是指一种体光栅标定组件、体光栅的制备装置、标定方法和曝光方法。
技术介绍
基于光热敏折变(Photo-Thermo-reflection,PTR)玻璃制备的体Bragg光栅(VolumeBragggatings)兼备角度选择性和光谱选择性，具有衍射效率高，热稳定性好，适用光谱宽与抗强激光损伤能力，被广泛应用于强激光领域。国内研究人员关于体Bragg光栅也公开申请了一系列专利，比如中国科学院上海光学精密机械研究所的晋云霞提出了一种基于光热折变玻璃的反射式体光栅制备方法(中国专利CN201911167157)，林安英、陈臻懿等人提出了一种制作多波长体布拉格光栅的方法(中国专利CN201410405773)，浙江大学的刘崇等人提出了一种反射式体全息布拉格光栅紫外曝光的方法(中国专利CN201210360192)。透射式体Bragg光栅以其优秀的角度选择性被广泛应用于空间滤波，其特点在于不需要将入射光束聚焦，就能直接选择出所需要的的空间角谱成分，成功克服现阶段本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种体光栅标定组件，其特征在于，所述标定装置包括第一激光器和第一反射镜，所述第一激光器位于曝光平台上样品的正侧，所述第一反射镜位于曝光平台上样品的另一侧；/n所述第一激光器发出标定光束以照射在曝光平台的曝光区上，从所述曝光平台上透射的光经第一反射镜反射，获得反射光束，调整所述第一反射镜的角度以使得反射光束在第一激光器的输出端形成牛顿环。/n

【技术特征摘要】
1.一种体光栅标定组件，其特征在于，所述标定装置包括第一激光器和第一反射镜，所述第一激光器位于曝光平台上样品的正侧，所述第一反射镜位于曝光平台上样品的另一侧；
所述第一激光器发出标定光束以照射在曝光平台的曝光区上，从所述曝光平台上透射的光经第一反射镜反射，获得反射光束，调整所述第一反射镜的角度以使得反射光束在第一激光器的输出端形成牛顿环。


2.一种体光栅的制备装置，其特征在于，包括权利要求1所述的体光栅标定组件。


3.根据权利要求2所述的体光栅的制备装置，其特征在于，还包括第二激光器、分束器、第二反射镜和第三反射镜，所述第二激光器发射曝光光束，所述曝光光束经所述分束器分解为两束分光束；两束所述分光束分别经第二反射镜和第三反射镜反射以在曝光平台的曝光区干涉。


4.根据权利要求3所述的体光栅的制备装置，其特征在于，所述第二激光器为紫光激光器。


5.根据权利要求3所述的体光栅的制备装置，其特征在于，还包括小孔光阑，所述分光束经所述小孔光阑准直和定轴后照射在曝光平台的曝光区。


6.根据权利要求3所述的体光栅的制备装置，其特征在于，还包括准直扩束组件，所述准直扩束组件位于第二激光器的输出端。


7.一种体光栅的标定方...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁孝，葛子轶，张翔，熊宝星，高帆，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32