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本发明涉及一种体光栅标定组件、体光栅的制备装置、标定方法和曝光方法，标定装置包括第一激光器和第一反射镜，所述第一激光器位于曝光平台上样品的正侧，所述第一反射镜位于曝光平台上样品的另一侧；所述第一激光器发出标定光束以照射在曝光平台的曝光区上，...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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