亚表面缺陷的检测装置制造方法及图纸

一种亚表面缺陷的检测装置，包括：光源组件，所述光源组件适宜于产生照明光，所述照明光为发散光；所述照明光耦合入待检测件中以形成波导光，所述波导光在所述待检测件中以导波模式传播；成像组件，所述成像组件包括：面阵图像传感器，所述面阵图像传感器适宜于采集被散射的波导光以获得缺陷图像；处理组件，所述处理组件适宜于对所述缺陷图像进行处理。所述检测装置能够实现多角度检测以提高成像效率；而且，成像组件中采用面阵图像传感器获得缺陷图像，配合呈发散光的照明光，能够避免扫描的方式的引用，从而避免机械振动干扰、降低同步控制难度。

【技术实现步骤摘要】
亚表面缺陷的检测装置
本专利技术涉及缺陷检测领域，特别涉及一种亚表面缺陷的检测装置。
技术介绍
大型高功率激光装置如美国国家点火装置、法国兆焦耳激光装置以及中国神光系列装置等通常都需要使用一定数量的大口径光学元件。光学元件的缺陷不仅影响了其长期稳定性、镀膜质量和面形精度，而且直接降低了光学系统的抗激光损伤阈值，影响了其光束质量和使用寿命。对光学元件的亚表面成像，特别是针对亚表面缺陷的表征方法，能够有效地检测光学元件内的缺陷，从而显得尤为重要。目前亚表面缺陷的表征方法可以分为两大类：有损探测法和无损探测法。相对于有损探测法，无损方法更为迅速，效率更高。常用的无损探测亚表面缺陷的方法主要有：共聚焦显微技术、光学相干层析技术以及全内反射显微技术等。共聚焦显微技术探测亚表面缺陷时必须做逐点扫描，效率很低；另外，其工作于荧光模式时，样品在抛光过程中必须引入荧光物质。光学相干层析技术的深度分辨率依赖于光源的相干长度，其典型的纵向分辨率为十几微米，难以用来表征熔石英等光学元件的亚表面缺陷。全内反射显微装置由全内反射照明单元与显微单元组成，具有结构简单本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种亚表面缺陷的检测装置，其特征在于，包括：/n光源组件，所述光源组件适宜于产生照明光，所述照明光为发散光；/n所述照明光耦合入待检测件中以形成波导光，所述波导光在所述待检测件中以导波模式传播；/n成像组件，所述成像组件包括：面阵图像传感器，所述面阵图像传感器适宜于采集被散射的波导光以获得缺陷图像；/n处理组件，所述处理组件适宜于对所述缺陷图像进行处理。/n

【技术特征摘要】
1.一种亚表面缺陷的检测装置，其特征在于，包括：
光源组件，所述光源组件适宜于产生照明光，所述照明光为发散光；
所述照明光耦合入待检测件中以形成波导光，所述波导光在所述待检测件中以导波模式传播；
成像组件，所述成像组件包括：面阵图像传感器，所述面阵图像传感器适宜于采集被散射的波导光以获得缺陷图像；
处理组件，所述处理组件适宜于对所述缺陷图像进行处理。


2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述待检测件包括：相背设置且相互分离的第一表面和第二表面、以及位于所述第一表面和第二表面之间的侧面，所述侧面与所述第一表面和第二表面均相交；
所述照明光经所述侧面耦合入所述待检测件以形成波导光。


3.如权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述照明光无接触耦合入所述待检测件的侧面。


4.如权利要求1～3中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述成像组件包括：至少2个面阵图像传感器。


5.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述光源组件为点状光源组件、一维点阵光源组件或线光源组件。


6.如权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述光源组件为垂直所述发散面的一维点阵光源组件；
或者，所述光源组件为垂直所述发散面的线状光源组件。


7.如权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述光源组件包括：
发光模块，所述发光模块适宜于产生光线；
耦合模块，所述耦合模块适宜于对所述发光模块所产生的光线整形...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯胜，翟中生，王选择，谢博娅，
申请(专利权)人：赤壁精迈光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42