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一种亚表面缺陷的检测装置，包括：光源组件，所述光源组件适宜于产生照明光，所述照明光为发散光；所述照明光耦合入待检测件中以形成波导光，所述波导光在所述待检测件中以导波模式传播；成像组件，所述成像组件包括：面阵图像传感器，所述面阵图像传感器适宜...
该专利属于赤壁精迈光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赤壁精迈光电科技有限公司授权不得商用。

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