一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统技术方案

本申请公开了一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统，该方法包括：通过用户界面获取待查询的晶圆批次LOT信息，在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据，所述测试数据包括所述LOT信息中的已测试晶圆ID、未测试晶圆ID、发生中断的中断数据及后续中断处理。通过实施本申请，能准确对晶圆批次LOT进行一键晶圆检测，自动判断LOT的测试情况。

【技术实现步骤摘要】
一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统
本申请涉及微电子
，特别是涉及一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统。
技术介绍
晶圆(Wafer)在制造过程中由于不同的原因会产生中断问题，如果不能及时准确地对其处理，不仅延误晶圆制造进程，还会影响出货进而对晶圆良率造成较大影响。例如，加错注释(comment)测错片子、未注意程式(recipe)是正常流(flow)还是RCflow、异常中断没有及时将中断数据上传电子设计自动化(ElectronicsDesignAutomation，EDA)等等。但依靠工程师人工判断耗时耗力，而且有可能会出现错判或遗漏的情况。因此我们需要一个足够准确的系统对测试情况进行自动判断，一键晶圆检测(WaferCheck)，方便对应拥有者(owner)及时处理事件(case)及追溯造成事件的原因进行分析。
技术实现思路
为克服上述现有技术存在的不足，本申请之目的在于提供一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统，能准确对晶圆批次LOT进行一键晶圆检测，自动判断LOT的测试情况。为达上述及其它目的，本申请提出一种查询中断晶圆批次LOT的方法，包括如下步骤：通过用户界面UI获取待查询的晶圆批次LOT信息，所述LOT信息包括所述LOT的平台信息、产品信息和机台信息；在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据，所述测试数据包括所述LOT信息中的已测试晶圆ID、未测试晶圆ID、发生中断的中断数据及后续中断处理。可选的，所述已测试晶圆ID包括所述当前机台的已测试晶圆ID和所述LOT在其他机台上的已测试晶圆ID。可选的，所述方法还包括：判断所述已测试晶圆ID是否都存在晶圆列表Ban中；若否，则对未进入所述Ban中的已测试晶圆ID进行红色预警标记，以提示WAT工程师通知制造部MFG进行相应操作，将未进入所述Ban中的已测试晶圆ID放入所述Ban中。可选的，所述晶圆检测系统中预先存储有中断晶圆批次LOT信息及WAT工程师的中断处理结果。可选的，所述在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据包括：在所述LOT信息中批次名称对应的程式名称不为空、机台为WAT机台，且工艺流程不为RC工艺流程的情况下，在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据。为达上述及其它目的，本申请还提出一种晶圆检测系统，包括：获取单元，用于通过用户界面UI获取待查询的晶圆批次LOT信息，所述LOT信息包括所述LOT的平台信息、产品信息和机台信息；查询单元，用于在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据，所述测试数据包括所述LOT信息中的已测试晶圆ID、未测试晶圆ID、发生中断的中断数据及后续中断处理。可选的，所述已测试晶圆ID包括所述当前机台的已测试晶圆ID和所述LOT在其他机台上的已测试晶圆ID。可选的，所述晶圆检测系统还包括：判断单元，用于判断所述已测试晶圆ID是否都存在晶圆列表Ban中；标记单元，用于若否则对未进入所述Ban中的已测试晶圆ID进行红色预警标记，以提示WAT工程师通知制造部MFG进行相应操作，将未进入所述Ban中的已测试晶圆ID放入所述Ban中。可选的，所述晶圆检测系统中预先存储有中断晶圆批次LOT信息及WAT工程师的中断处理结果。可选的，所述查询单元具体用于：在所述LOT信息中批次名称对应的程式名称不为空、机台为WAT机台，且工艺流程不为RC工艺流程的情况下，在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据。由上可见本申请提供了一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统，能达到以下有益效果：避免加错注释测错片子、未注意程式是正常流还是RC流、异常中断没有及时将中断数据上传EDA等情况的发生，依靠工程师人工判断耗时耗力，而且有可能会出现错判或遗漏的情况。采用本申请，能自动、快速地对晶圆批次LOT进行一键晶圆检测，准确判断LOT的测试情况。附图说明图1是本申请实施例提供的一种基于晶圆检测系统的数据处理流程示意图。图2是本申请实施例提供的一种查询中断晶圆批次LOT方法的流程示意图。图3是本申请实施例提供的一种晶圆批次LOT查询的流程示意图。图4是本申请实施例提供的一种晶圆检测系统的界面示意图。图5是本申请实施例提供的一种人工晶圆检测的示意图。图6是本申请实施例提供的一种晶圆检测系统的结构示意图。具体实施方式以下通过特定的具体实例并结合附图说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本申请的其它优点与功效。本申请亦可通过其它不同的具体实例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不背离本申请的精神下进行各种修饰与变更。为解决上述现有技术中的相关技术问题，本申请提出一种查询中断晶圆批次LOT的方法及相应系统。请参见图1，是本申请实施例提供的一种晶圆检测系统的数据处理流程图。如图1所示的晶圆检测系统主要分为两个模块，数据处理和历史数据查询。在数据处理中，通过用户界面(userinterface，UI)给用户提供输入接口，仅需用户输入待查询的晶圆批次LOT信息，例如该LOT对应的平台(tech)、产品(product)及机台(machine)等信息，系统则会自动获取这些LOT信息，显示相关测试数据。具体如图1中，系统或获取当前机台中断LOT的已测试晶圆和中断LOT在其他机台的已测试晶圆，将其统一作为已测试晶圆ID(TestWaferID)。系统还可获取晶圆列表Ban中的BanWaferID，将TestWaferID和BanWaferID进行比较，具体可比较中断数据是否已进Ban，并保持数据(savedata)，进而通过界面显示相关测试数据。在历史数据查询中，用户在UI界面中输入相应的筛选条件，例如输入对应的tech、product以及machine等条件，即可查询相关历史测试数据信息等。关于在晶圆检测系统中如何实现中断晶圆批次LOT的查询具体在下文进行详述。请参见图2，是本申请实施例提供的一种查询中断晶圆批次LOT的方法的流程示意图。如图2所示的方法包括如下实施步骤：S201、通过用户界面UI获取待查询的晶圆批次LOT信息，所述LOT信息包括所述LOT的平台信息、产品信息和机台信息。S202、在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据，所述测试数据包括所述LOT信息中的已测试晶圆ID、未测试晶圆ID、发生中断的中断数据及后续中断处理。作为一种可能的实施方式，在所述LOT信息中批次名称(LOTname)不为空、机台(machine)为WAT机台，且工艺流程(processflow)不为RC工艺流程的情况下，在晶圆检测系统中查询与LOT信息相匹配的测试数据。具体的请参见图3示出一种晶圆批次LOT判断的流程示意图，判断当前中断LOT：出货程式测试LOT，且为非流程卡(RunCa本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种查询中断晶圆批次LOT的方法，其特征在于，包括：/n通过用户界面UI获取待查询的晶圆批次LOT信息，所述LOT信息包括所述LOT的平台信息、产品信息和机台信息；/n在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据，所述测试数据包括所述LOT信息中的已测试晶圆ID、未测试晶圆ID、发生中断的中断数据及后续中断处理。/n

【技术特征摘要】
1.一种查询中断晶圆批次LOT的方法，其特征在于，包括：
通过用户界面UI获取待查询的晶圆批次LOT信息，所述LOT信息包括所述LOT的平台信息、产品信息和机台信息；
在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据，所述测试数据包括所述LOT信息中的已测试晶圆ID、未测试晶圆ID、发生中断的中断数据及后续中断处理。


2.根据权利要求1所述的查询中断晶圆批次LOT的方法，其特征在于，所述已测试晶圆ID包括所述当前机台的已测试晶圆ID和所述LOT在其他机台上的已测试晶圆ID。


3.根据权利要求1所述的查询中断晶圆批次LOT的方法，其特征在于，所述方法还包括：
判断所述已测试晶圆ID是否都存在晶圆列表Ban中；
若否，则对未进入所述Ban中的已测试晶圆ID进行红色预警标记，以提示WAT工程师通知制造部MFG进行相应操作，将未进入所述Ban中的已测试晶圆ID放入所述Ban中。


4.根据权利要求1所述的查询中断晶圆批次LOT的方法，其特征在于，所述晶圆检测系统中预先存储有中断晶圆批次LOT信息及WAT工程师的中断处理结果。


5.根据权利要求1所述的查询中断晶圆批次LOT的方法，其特征在于，所述在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据包括：
在所述LOT信息中批次名称对应的程式名称不为空、机台为WAT机台，且工艺流程不为RC工艺流程的情况下，在晶圆检测系统中查询与所述L...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨周凤，毛贵蕴，陈旭，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31