静电消除器工作性能监测方法技术

本发明专利技术提供一种静电消除器工作性能监测方法，包括静电消除器性能在线监测仪，所述静电消除器性能在线监测仪包括采集平板，且采集平板上设有自对地回路，能够将采集平板上的电压对地泄放掉；还包括以下步骤：将经过校准的静电消除器性能在线监测仪的采集平板安装在待监测的静电消除器内；在线监测静电消除器的工作状态是否正常；在线监测静电消除器的平衡电压衰减时间是否正常。本发明专利技术的监测方法能够监测静电消除器的离子衰减能力，监测衰减时间，判断静电消除器的离子消散能力是否减弱，从而实现对静电消除器工作性能的监测。

【技术实现步骤摘要】
静电消除器工作性能监测方法
本专利技术涉及静电防护与电子制程
，特别是涉及一种静电消除器工作性能监测方法。
技术介绍
在很多产品生产过程中，会产生大量的静电，且由于静电的瞬间放电电压很高，会对产品产生很大的危害。因此，在生产环境中会采用静电消除器来消除环境中的静电，以保证产品的性能和质量。但是，静电消除器长时间使用会导致其性能失效，如果性能失效则会从静电消除器转变为静电员，危害产品的生产。因此，需要采用静电分析仪等来监控静电消除器的性能。目前，静电分析监控设备，如Trek的手持式仪器，是通过离子消散能力来判断静电消除器是否工作的。而Trek的手持式仪器，缺点是成本高，难以多个部署，体积大不方便，数据需要人员记录；测试时需要加压超过1000V，测试时容易造成其他产品感应带电。除此之外，静电消除器广泛使用，如果其性能失效，会从静电消除器变为静电源，危害产品安全。因此，急需对静电分析监控设备进行改进，并根据改进后的设备提供一套适合的监测方法。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：为了克服现有技术中的不足，本专利技术提供一种静电消除器工作性能监测方法。本专利技术解决其技术问题所要采用的技术方案是：一种静电消除器工作性能监测方法，包括静电消除器性能在线监测仪，所述静电消除器性能在线监测仪包括采集平板，且采集平板上设有自对地回路，能够将采集平板上的电压对地泄放掉；还包括以下步骤：S1：将经过校准的静电消除器性能在线监测仪的采集平板安装在待监测的静电消除器的出风口位置处；S2：在线监测静电消除器的平衡电压是否正常，以判断对应的静电消除器工作状态是否正常；S3：在线监测静电消除器的平衡电压衰减时间是否正常，以判断对应的静电消除器工作状态是否正常。进一步，步骤S2中通过判断测静电消除器的平衡电压是否正常以判断静电消除器工作状态的过程包括以下步骤：S2.1：通过实验的方法获取静电消除器在不工作状态下的平衡电压特征参数的基准值；S2.2：通过静电消除器性能在线监测仪获取采集平板上的平衡电压，并计算出平衡电压从衰减开始至衰减结束之间的实测平衡电压的特征参数；S2.3：将步骤S2.2中获得的实测平衡电压的特征参数与步骤S2.1中获得的平衡电压特征参数的基准值进行比较，判断静电消除器是否处于工作状态。作为优选，所述平衡电压特征参数为平衡电压从衰减开始到衰减结束之间的电压积分，通过判断电压积分的大小判断静电消除器是否处于工作状态。作为优选，所述平衡电压特征参数为平衡电压从衰减开始到衰减结束之间的衰减速率，通过衰减速率的离散性来判断静电消除器是否处于工作状态。进一步，步骤S3中在线监测静电消除器的平衡电压衰减时间是否正常的过程包括以下步骤：S3.1循环判断是否开始进入衰减时间的测试，当进入衰减时间测试时，将静电消除器性能在线监测仪的采集平板的对地回路接通，泄放掉采集平板上原有的电压；一般的进入衰减时间测试是由上位机发出测试指令后进入衰减时间测试，或者通过监测仪的手动按键触发进行测试；S3.2：当采集平板上的电压泄放完成后，使采集平板的对地回路断开，接通高压电源，采用高压电源对地回路的充电电压，对采集平板进行充电；循环判断采集平板上的电压是否达到充电电压值V1，当采集平板上的电压达到充电电压值V1后，断开高压电源，停止对采集平板充电；且充电电压V1满足：V1＞Vs，Vs为预设的衰减起始电压；S3.3：采集平板上的电压从V1开始泄放，并判断采集平板上的电压是否等于衰减的起始电压Vs，当采集平板上的电压等于衰减起始电压Vs时，打开计时器T1开始计时，初始计时时间记为t0，采集平板上的电压继续泄放，循环判断采集平板上的电压是否等于预设的衰减结束电压Vz，当检测到采集平板上的电压等于预设的衰减结束电压Vz，获得计时器T1此时的计时时间t1，则由衰减起始电压Vs衰减到衰减结束电压Vz的衰减时间为：t1-t0，关闭计时器T1停止计时，衰减时间测试结束；为了不让测试无限制的测试下去，设置了计时器超时判断，具体过程为：在进行衰减计时的同时，循环判断计时器T1的计时总时间是否超时，当计时器T1的计时时间超时时，关闭计时器T1停止计时，衰减时间测试结束；S3.4：通过衰减时间判断静电消除器的性能是否正常。进一步，步骤S1中采用类比校准的方法对静电消除器性能在线监测仪的衰减时间进行校准，具体包括以下步骤：S1.1：采用标准静电消除器作为静电源释放电荷形成平衡电压，使用静电分析仪测量标准静电消除器的风口处测量点的在平衡电压从1000V衰减到100V的衰减时间，然后调节标准静电消除器的风口处测量点的平衡电压，并依次记录不同平衡电压的衰减时间，记为Tb；衰减范围国内外标准都是统一的，都是从1000V衰减到100V，其中，1000V是起始电压，100V是结束电压；S1.2：采用静电消除器性能在线监测仪在同样的测量点测量标准静电消除器的风口处平衡电压从起始电压Vs衰减到结束电压Vz的衰减时间，按照步骤S1.1中同样的方式调节标准静电消除器的风口处测量点的平衡电压，并依次记录静电消除器性能在线监测仪测得的不同平衡电压的衰减时间，记为Tj；S1.3：将步骤S1.1和S1.2中记录的数据进行比较，分析出静电消除器性能在线监测仪所有电压段的衰减时间与静电分析仪测试的从1000V衰减到100V的衰减时间接近的电压段，则以与静电分析仪接近的静电消除器性能在线监测仪的衰减时间对应的电压段作为校准后的静电消除器性能在线监测仪的平衡电压；换句话说，就是对标静电分析仪测试的从1000V衰减到100V的衰减时间，然后从在线监测仪测试的所有电压段内选取最接近这个时间的电压段，作为可以等效静电分析仪从1000V衰减到100V的过程。其中，Tb表示静电分析仪测量的衰减时间的集合；Tj表示静电消除器性能在线监测仪测量的衰减时间的集合。作为优选，所述静电分析仪测量点距离标准静电消除器的风口的距离为20cm~30cm。本专利技术的有益效果是：本专利技术提供的一种静电消除器工作性能监测方法，能够监测静电消除器的离子衰减能力，监测衰减时间，判断静电消除器的离子消散能力是否减弱，从而实现对静电消除器工作性能的监测。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步说明。图1是本专利技术监测方法的流程示意图。图2是静电消除器在工作时作用在采集平板上的离子平衡电压的衰减曲线。图3是静电消除器不工作时作用在采集平板上的离子平衡电压的衰减曲线。图4是静电消除器在工作状态下输出的衰减速率。图5是静电消除器在不工作状态下输出的衰减速率。具体实施方式现在结合附图对本专利技术作详细的说明。此图为简化的示意图，仅以示意方式说明本专利技术的基本结构，因此其仅显示与本专利技术有关的构成。如图1所示，本专利技术的一种静电消除器工作性能监测方法，包括静电消除器性能在线监测仪，所述静电消除器性能在线监测仪包括采集平板，可简称C本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电消除器工作性能监测方法，其特征在于：包括静电消除器性能在线监测仪，所述静电消除器性能在线监测仪包括采集平板，且采集平板上设有自对地回路，能够将采集平板上的电压对地泄放掉；还包括以下步骤：/nS1：将经过校准的静电消除器性能在线监测仪的采集平板安装在待监测的静电消除器的出风口位置处；/nS2：在线监测静电消除器的平衡电压是否正常，以判断对应的静电消除器工作状态是否正常；/nS3：在线监测静电消除器的平衡电压衰减时间是否正常，以判断对应的静电消除器工作状态是否正常。/n

【技术特征摘要】
1.一种静电消除器工作性能监测方法，其特征在于：包括静电消除器性能在线监测仪，所述静电消除器性能在线监测仪包括采集平板，且采集平板上设有自对地回路，能够将采集平板上的电压对地泄放掉；还包括以下步骤：
S1：将经过校准的静电消除器性能在线监测仪的采集平板安装在待监测的静电消除器的出风口位置处；
S2：在线监测静电消除器的平衡电压是否正常，以判断对应的静电消除器工作状态是否正常；
S3：在线监测静电消除器的平衡电压衰减时间是否正常，以判断对应的静电消除器工作状态是否正常。


2.如权利要求1所述的静电消除器工作性能监测方法，其特征在于：步骤S2中通过判断测静电消除器的平衡电压是否正常以判断静电消除器工作状态的过程包括以下步骤：
S2.1：通过实验的方法获取静电消除器在不工作状态下的平衡电压特征参数的基准值；
S2.2：通过静电消除器性能在线监测仪获取采集平板上的平衡电压，并计算出平衡电压从衰减开始至衰减结束之间的实测平衡电压的特征参数；
S2.3：将步骤S2.2中获得的实测平衡电压的特征参数与步骤S2.1中获得的平衡电压特征参数的基准值进行比较，判断静电消除器是否处于工作状态。


3.如权利要求2所述的静电消除器工作性能监测方法，其特征在于：所述平衡电压特征参数为平衡电压从衰减开始到衰减结束之间的电压积分，通过判断电压积分的大小判断静电消除器是否处于工作状态。


4.如权利要求2所述的静电消除器工作性能监测方法，其特征在于：所述平衡电压特征参数为平衡电压从衰减开始到衰减结束之间的衰减速率，通过衰减速率的离散性来判断静电消除器是否处于工作状态。


5.如权利要求1所述的静电消除器工作性能监测方法，其特征在于：步骤S3中在线监测静电消除器的平衡电压衰减时间是否正常的过程包括以下步骤：
S3.1循环判断是否开始进入衰减时间的测试，当进入衰减时间测试时，将静电消除器性能在线监测仪的采集平板的对地回路接通，泄放掉采集平板上原有的电压；
S3.2：当采集平板上的电压泄放完成后，使采集平板的对地回路断开，接通高压电源，采用高压电源对地回路的充电电压，对采集平板进行充电；循环判断采集平板上的电压是否达到充电电压值V1，当采集平板上的电压达到充电电压值V1后，断开高压电源，停止...

【专利技术属性】
技术研发人员：王荣刚，田俊阳，成玉磊，
申请(专利权)人：苏州天华超净科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32