一种长晶炉的冷却系统技术方案

本申请公开了一种长晶炉的冷却系统，包括冷却介质通道、过滤装置、储放装置和控制单元，冷却介质通道的一端穿入长晶炉炉体，过滤装置与设于长晶炉炉体外侧的冷却介质通道连通设置，过滤装置包括的过流通道上设有过滤单元，冷却介质流经过滤单元后对长晶炉炉体内部提供冷却介质；储放装置上设有备用过滤单元；长晶炉还包括受控置换装置和监测单元，监测单元监测流入长晶炉炉体内冷却介质的流量并对控制单元提供监测信息，受控置换装置受控制单元控制，当过流通道的流量小于设定值时，受控置换装置用备用过滤单元置换过流通道上的过滤单元。本申请所公开的所述长晶炉的冷却系统具有实时监测、自动排障、确保长晶炉安全稳定工作等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种长晶炉的冷却系统
本申请属于长晶工业
，尤其涉及一种长晶炉的冷却系统。
技术介绍
众所周知，碳化硅是重要的第三代半导体材料之一，因其具有禁带宽度大、饱和电子迁移率高、击穿强度大、热导率高等特性，被广泛应用于电力电子、射频器件、光电子器件等领域。在碳化硅的生产过程中，要想获得一定品质的产品，必须对长晶炉内的环境进行精准地监测和控制。温度的控制对长晶炉的长晶过程具有重要的影响，故长晶炉需要设置冷却系统，然而长晶炉设置的冷却系统虽然其冷却介质经过净化处理，但是冷却介质通道难免会进入颗粒性杂质，造成堵塞，进而导致冷却介质流量发生异常，对碳化硅晶体的生长产生极大的影响，严重时，甚至会引发安全事故。另外，工厂中的长晶炉较多，少量的工人难以实施全域监控，如果长晶炉的水冷系统出现故障，不能及时得到处理，势必对碳化硅的生产造成严重影响；如果能够专利技术一种能够对长晶炉在长晶工艺过程中的冷却系统实施全程监控、故障自动排除等优点的长晶炉将具有重要意义。为此，申请人提出了一种能够对长晶炉实施全程监控、自动化故障排除的长晶炉的冷却系统。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种长晶炉的冷却系统，其特征在于，/n包括冷却介质通道、过滤装置、储放装置和控制单元，所述冷却介质通道的一端穿入长晶炉炉体，所述过滤装置与设于所述长晶炉炉体外侧的冷却介质通道连通设置，所述过滤装置包括过流通道，所述过流通道上设有过滤单元，冷却介质流经所述过滤单元后对所述长晶炉炉体内部提供冷却介质；所述储放装置设于所述过滤装置的一侧，所述储放装置上设有备用过滤单元；/n所述长晶炉还包括受控置换装置和监测单元，所述监测单元监测流入长晶炉炉体内冷却介质的流量并对所述控制单元提供监测信息，所述受控置换装置受所述控制单元控制，当所述过流通道的流量小于设定值时，所述受控置换装置用所述备用过滤单元置换所...

【技术特征摘要】
1.一种长晶炉的冷却系统，其特征在于，
包括冷却介质通道、过滤装置、储放装置和控制单元，所述冷却介质通道的一端穿入长晶炉炉体，所述过滤装置与设于所述长晶炉炉体外侧的冷却介质通道连通设置，所述过滤装置包括过流通道，所述过流通道上设有过滤单元，冷却介质流经所述过滤单元后对所述长晶炉炉体内部提供冷却介质；所述储放装置设于所述过滤装置的一侧，所述储放装置上设有备用过滤单元；
所述长晶炉还包括受控置换装置和监测单元，所述监测单元监测流入长晶炉炉体内冷却介质的流量并对所述控制单元提供监测信息，所述受控置换装置受所述控制单元控制，当所述过流通道的流量小于设定值时，所述受控置换装置用所述备用过滤单元置换所述过流通道上的过滤单元。


2.根据权利要求1所述长晶炉的冷却系统，其特征在于，
所述过滤装置还包括备用过流通道，所述备用过流通道上设有过滤单元，所述过流通道和所述备用过流通道上均设有截止开关，当所述过流通道处于流通状态时，所述备用过流通道处于截止状态；
当所述过流通道的流量小于设定值时，所述过流通道处于截止状态，且冷却介质流经所述备用过流通道对所述长晶炉炉体提供冷却介质。


3.根据权利要求2所述长晶炉的冷却系统，其特征在于，
所述过流通道的流体上游设有第一截止开关，所述过流通道的下游设有第二截止开关，所述第一截止开关和/或所述第二截止开关的开闭受所述控制单元控制。


4.根据权利要求3所述长晶炉的冷却系统，其特征在于，
所述监测单元包括流量传感器，所述流量传感器与所述控制单元信号连接设置，所述流量传感器设于所述过流通道上的所述过滤单元的流体上游和/或流体下游，以对所述控制单元提供流量监测信息；
当所述过流通道的流量小于设定值时，所述控制单元控制所述第一截止开关和/或所述第二截止开关，以使所述过流导通处于截止状态。


5.根据权利要求1至4中任一项所述长晶炉的冷却系统，其特征在于，
所述受控置换装置包括驱动机构、传动机构和用于置换所述过滤单元的执行机构，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛传艺，张长银，马振华，
申请(专利权)人：山东天岳先进科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37