下载一种长晶炉的冷却系统的技术资料

文档序号:28931614

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本申请公开了一种长晶炉的冷却系统,包括冷却介质通道、过滤装置、储放装置和控制单元,冷却介质通道的一端穿入长晶炉炉体,过滤装置与设于长晶炉炉体外侧的冷却介质通道连通设置,过滤装置包括的过流通道上设有过滤单元,冷却介质流经过滤单元后对长晶炉炉体...
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