基板支架制造技术

本发明专利技术提供基板支架，在基板支架中提高基板接点以及/或者密封部件的定位。基板支架是用于保持基板的基板支架，具备第一保持部件、和在与上述第一保持部件之间保持基板的第二保持部件，上述第一保持部件具备：至少一个基板接点，配置为与上述基板接触；至少一个密封部件，具有覆盖一个或者多个上述基板接点的前端部的周围的第一密封部；以及汇流条，与一个或者多个上述基板接点电连接，且具有收纳上述第一密封部的一个或者多个第一通孔，一个或者多个上述基板接点的上述前端部以其周围被上述第一密封部覆盖的状态，从与上述第二保持部件相反侧朝向上述第二保持部件通过上述汇流条的上述第一通孔并固定于上述汇流条。

【技术实现步骤摘要】
基板支架
本专利技术涉及用于保持基板的基板支架。
技术介绍
在半导体晶圆、印刷电路基板等基板的表面形成布线、凸块(突起状电极)等。作为形成该布线以及凸块等的方法，已知有电解电镀法。在电解电镀法所使用的电镀装置中，具备密封圆形或者多边形的基板的端面，使被电镀面露出并保持的基板支架。在这样的电镀装置中在基板表面进行电镀处理时，使保持了基板的基板支架浸渍到电镀液中。如日本特开2018－40045号公报(专利文献1)以及日本特开2019－7075号公报(专利文献2)所记载的那样，已知有与大型的特别是矩形的基板对应的基板支架。在日本特开2018－40045号公报(专利文献1)记载了利用夹具将基板固定到背板，之后将背板与前板重叠，并利用夹钳将前板固定到背板，从而保持基板的基板支架。另外，在日本特开2019－7075号公报(专利文献2)记载了经由汇流条对配置在基板的周围的多个基板接点进行供电的基板支架。另外，在日本特开2008－133526号公报(专利文献3)记载了改善对基板的按压力的提供的电镀夹具的例子。在该例子中，通过在放置在夹具主体上的凹部内的基板上重叠按压部件，并将与基板中心对应地设置了弹簧的罩部件固定在夹具主体的上表面，从而在罩部件与按压部件之间压缩弹簧而向密封部件按压基板，将基板密封。另外，在日本特开2007－46154号公报(专利文献4)公开了通过使环的卡定机构与卡定于工件支架主体侧的可挠性部件卡定，并通过可挠性部件向主体侧拉动环，来利用环的密封面按压基板的构成的工件支架。该工件支架在主体内内置用于使可挠性部件变形至使其与环的卡定机构接合的状态的可膨胀收缩的袋。专利文献1：日本特开2018－40045号公报专利文献2：日本特开2019－7075号公报专利文献3：日本特开2008－133526号公报专利文献4：日本特开2007－46154号公报这些基板支架为了保护基板接点免受电镀液的侵蚀而使用使与基板接触的密封件沿着基板的外周连续一体的部件。为了适当地密封基板接点，需要使密封件遍及密封件全长以均匀的按压力与基板接触，但若伴随基板的大型化以及/或者薄化而基板更容易翘曲，则在连续一体的密封件中，难以使密封件遍及全长以均匀的按压力与基板接触。另外，在与大型基板对应的连续一体的密封件中，需要遍及与基板的外周部对应的较长的距离以及较宽的范围确保密封件本身、构成部件的面精度以及/或者尺寸精度，但具有足够的面精度以及/或者尺寸精度的密封、构成部件的制作较困难，有导致基板支架的高成本化的担心。并且，随着基板的大型化，也有基板支架的重量化的担心。另外，在基板支架中，有要求与基板的密封件以及/或者基板接点也可以接触的接触允许区域对应地，将密封以及/或者基板接点定位在有限的区域内的情况。另外，也需要抑制在将密封件按压至基板时给予基板的负荷。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决上述的课题的至少一部分。根据本专利技术的一方面，提供一种基板支架，是用于保持基板的基板支架，具备第一保持部件、和在与上述第一保持部件之间保持基板的第二保持部件，上述第一保持部件具备：至少一个基板接点，配置为与上述基板接触；至少一个密封部件，具有覆盖一个或者多个上述基板接点的前端部的周围的第一密封部；以及汇流条，与一个或者多个上述基板接点电连接，且具有收纳上述第一密封部的一个或者多个第一通孔，一个或者多个上述基板接点的上述前端部以其周围被上述第一密封部覆盖的状态，从与上述第二保持部件相反侧朝向上述第二保持部件通过上述汇流条的上述第一通孔并固定于上述汇流条。根据本专利技术的一方面，提供一种基板支架，具备：接点组件，具有接点、密封部件以及保持体，上述接点作为与基板的第一面的外周部接触的电接点，上述密封部件具有覆盖上述接点的前端部的周围并与上述第一面接触的密封部，上述保持体保持上述接点以及上述密封部件；第一板，位于上述基板的第二面侧，在该第一板与上述接点组件之间夹持上述基板；至少一个第一销，固定于上述接点组件的上述保持体，上述第一销在上述基板的外侧朝向上述第二面侧延伸，且具有被卡定部；卡定部件，相对于上述第一板配置在上述第二面侧，且能够位移至相对于上述第一销的上述被卡定部的卡定状态和非卡定状态；以及至少一个第一施压部件，沿着上述基板的外周部设置在上述卡定部件与上述第一板之间，以使上述卡定部件与上述第一板相互分离，在上述卡定状态下，在上述卡定部件与上述第一板之间被压缩，朝向上述接点组件侧对上述第一板进行施压。根据本专利技术的一方面，提供一种基板支架，具备：接点组件，具有接点、密封部件以及保持体，上述接点作为与基板的第一面的外周部接触的电接点，上述密封部件具有覆盖上述接点的前端部的周围并与上述第一面接触的密封部，上述保持体保持上述接点以及上述密封部件；第一板，位于上述基板的第二面侧，在该第一板与上述接点组件之间夹持上述基板；多个第一销，固定于上述接点组件的上述保持体，上述第一销在上述基板的外侧朝向上述第二面侧延伸，且具有被卡定部；卡定部件，相对于上述第一板配置在上述第二面侧，且能够位移至相对于上述第一销的上述被卡定部的卡定状态和非卡定状态；以及多个第一施压部件，沿着上述基板的外周部设置，设置在上述卡定部件与上述第一板之间以使上述卡定部件与上述第一板相互分离，在上述卡定状态下，在上述卡定部件与上述第一板之间被压缩，朝向上述接点组件侧对上述第一板进行施压。附图说明图1是使用本专利技术的一实施方式的基板支架的电镀装置的整体配置图。图2是从前面侧观察到的基板支架的立体图。图3是从背面侧观察到的基板支架的立体图。图4是表示分离了各保持部件的状态的基板支架的立体图。图5是基板支架的外部连接部的放大立体图。图6是纵向部件的纵剖视图。图7是纵向部件的分解立体图。图8是表示接点密封模块×1单位长度的汇流条的从背面侧的立体图。图9是密封部件的从背面侧的立体图。图10是表示接点密封模块×1单位长度的前板的从背面侧的立体图。图11是放大了供电模块附近的纵向部件的横剖视图。图12是放大了第二保持部件的卡定机构附近的立体图。图13是放大了第二保持部件的卡定机构附近的后视图。图14是锁定状态下的沿着图13的XIV－XIV线的剖视图。图15是锁定状态下的沿着图13的XV－XV线的剖面立体图。图16是锁定状态下的沿着图13的XVI－XVI线的剖面立体图。图17是锁定状态下的沿着图13的XVII－XVII线的剖面立体图。图18是半锁定状态下的与图15对应的剖面立体图。图19是半锁定状态下的与图16对应的剖面立体图。图20是半锁定状态下的与图17对应的剖面立体图。图21是沿着图13的XXI－XXI的剖视图。图22是变形例的基板支架的剖视图。图23是说明基板向基板支架的安装方法的说明图。图24是说明基板向基板支架的安装方法的说明图。图25本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板支架，是用于保持基板的基板支架，具备：/n第一保持部件；以及/n第二保持部件，在该第二保持部件与上述第一保持部件之间保持基板，/n上述第一保持部件具备：/n至少一个基板接点，配置为与上述基板接触；/n至少一个密封部件，具有覆盖一个或者多个上述基板接点的前端部的周围的第一密封部；以及/n汇流条，与一个或者多个上述基板接点电连接，且具有收纳上述第一密封部的一个或者多个第一通孔，/n一个或者多个上述基板接点的上述前端部以该前端部的周围被上述第一密封部覆盖的状态，从与上述第二保持部件相反侧朝向上述第二保持部件通过上述汇流条的上述第一通孔并固定于上述汇流条。/n

【技术特征摘要】
20191213 JP 2019-2257761.一种基板支架，是用于保持基板的基板支架，具备：
第一保持部件；以及
第二保持部件，在该第二保持部件与上述第一保持部件之间保持基板，
上述第一保持部件具备：
至少一个基板接点，配置为与上述基板接触；
至少一个密封部件，具有覆盖一个或者多个上述基板接点的前端部的周围的第一密封部；以及
汇流条，与一个或者多个上述基板接点电连接，且具有收纳上述第一密封部的一个或者多个第一通孔，
一个或者多个上述基板接点的上述前端部以该前端部的周围被上述第一密封部覆盖的状态，从与上述第二保持部件相反侧朝向上述第二保持部件通过上述汇流条的上述第一通孔并固定于上述汇流条。


2.根据权利要求1所述的基板支架，其中，
至少一个供电模块沿着上述基板的外周设置，
上述供电模块具有：至少一个上述基板接点、和针对上述至少一个上述基板接点设置的上述密封部件。


3.根据权利要求2所述的基板支架，其中，
上述供电模块具有：一个上述基板接点、和针对上述一个基板接点设置的上述密封部件。


4.根据权利要求2或者3所述的基板支架，其中，
对上述供电模块的每个上述密封部件设置上述汇流条的上述第一通孔。


5.根据权利要求2或者3所述的基板支架，其中，
至少一个上述供电模块包含多个供电模块。


6.根据权利要求1～3中任意一项所述的基板支架，其中，
上述密封部件具有突起，该突起设置在比上述第一密封部靠外侧，
上述突起与上述第一密封部一起，作为承受来自上述第二保持部件的按压力的受压部发挥作用。


7.根据权利要求6所述的基板支架，其中，
上述汇流条具有收纳上述密封部件的上述突起的第二通孔，上述突起通过上述第二通孔并朝向上述第二保持部件延伸。


8.根据权利要求1～3中任意一项所述的基板支架，其中，
上述第一保持部件还具备第一板，
上述基板接点的基端部配置在上述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫本松太郎，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP