一种腔内冷却等离子清洗腔制造技术

本实用新型专利技术提出了一种腔内冷却等离子清洗腔，包括箱体、位于所述箱体内的清洗腔体，所述清洗腔体背部开设有门体，所述清洗腔体的两侧内壁内嵌有冷却进管和冷却出管；所述门体上设有分别设有第一主管和第二主管，所述第一主管上设有与冷水机连接的进水端并连接有进水软管，所述进水软管与所述冷却进管连接；所述第二主管上设有回水端和与所述冷却出管连接的出水软管；两侧的所述冷却进管和冷却出管在底部连接有集水板，所述集水板上设有若干增压阀，所述增压阀与电极片连接，本等离子清洗腔通过将冷却管等结构设置在箱体内部，并将清洗腔体背部开设门体，在需要拆装时，可直接通过开门检修，即可检修水冷结构和电极结构，提高检修便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种腔内冷却等离子清洗腔
本技术涉及等离子清洗设备领域，尤其涉及腔内冷却等离子清洗腔。
技术介绍
真空等离子清洗机所产生的等离子体是温度非常低的，但在使用过程中，如果使用功率较高或处理时间过长都会出现电极板温度升高的情况，而且通常会处理一些对温度比较敏感的产品，这时就需要根据用户要求对电极板进行降温，以达到对腔体内部温度稳定在要求范围的目的。现有技术中的等离子清洗机的冷却方式通常是如图1所示的结构，在封闭式的清洗腔背部设置进水管，并连接若干支管从顶部连接到腔体部，由于是清洗腔是封闭的结构，在需要检修时，正面是无法看到清洗机构的，而要从背面处理时，必须要要将整个腔体拆卸下来，每次检修消耗时间长，操作复杂。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提出了一种腔内冷却等离子清洗腔，包括箱体、位于所述箱体内的清洗腔体，所述清洗腔体背部开设有门体，所述清洗腔体的两侧内壁内嵌有冷却进管和冷却出管；所述门体上设有分别设有第一主管和第二主管，所述第一主管上设有与冷水机连接的进水端并连接有进水软管，所述进水软管与所述冷却进管连接；所述第二主管上设有回水端和与所述冷却出管连接的出水软管；两侧的所述冷却进管和冷却出管在底部连接有集水板，所述集水板上设有若干增压阀，所述增压阀与电极片连接。优选的，所述电极片包括板体，所述板体内嵌有S形排列设置的冷却水管，所述冷却水管的初始端连接所述增压阀，末端与所述集水板连通。优选的，所述冷却进管和冷却出管成S形嵌于所述清洗腔体内壁。优选的，所述集水板包内部设有中空腔。本技术提出的腔内冷却等离子清洗腔有以下有益效果：本等离子清洗腔通过将冷却管等结构设置在箱体内部，并将清洗腔体背部开设门体，在需要拆装时，可直接通过开门检修，即可检修水冷结构和电极结构，提高检修便捷性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1为现有技术中的结构示意图；图2为本技术的结构示意图；图3为本技术的门体闭合的示意图；图4为本技术的电极片示意图；其中，1、箱体；2、清洗腔体；3、门体；4、冷却进管；5、冷却出管；6、第一主管；7、第二主管；8、进水端；9、回水端；10、进水软管；11、出水软管；12、集水板；13、增压阀；14、电极片；15、冷却水管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。如图2、图3所示，本技术提出了一种腔内冷却等离子清洗腔，包括箱体1、位于所述箱体1内的清洗腔体2，箱体1本身也具有门体3，使用时是打开的状态，所述清洗腔体2背部开设有门体3，所述清洗腔体2的两侧内壁内嵌有冷却进管4和冷却出管5；所述冷却进管4和冷却出管5成S形嵌于所述清洗腔体2内壁，能够保证整个清洗腔内的温度下降；所述门体3上设有分别设有第一主管6和第二主管7，所述第一主管6上设有与冷水机连接的进水端8并连接有进水软管10，所述进水软管10与所述冷却进管4连接；所述第二主管7上设有回水端9和与所述冷却出管5连接的出水软管11；两侧的所述冷却进管4和冷却出管5在底部连接有集水板12，所述集水板12上设有若干增压阀13，所述增压阀13与所述电极片14连接，清洗腔体2上设置的门体3打开时，由于是设置的软管，软管拉伸，并不会影响到与内部冷却进管4和冷却出管5的连接，故当清洗腔体2的门体3打开以后，即可检修内部情况。并且冷却的水管设置在内部，并与特制的电极片14配合，所述电极片14包括板体，所述板体内嵌有S形排列设置的冷却水管15，所述冷却水管15的初始端连接所述增压阀13，末端与所述集水板12连通，其原理是：冷水机将冷却水从第一主管6通入后，又引入装置冷却进管4，冷却进管4在清洗腔体2内成S型排布，后排出至集水板12内，所述集水板12包内部设有中空腔，便于容纳冷却水，而集水板12上设置的增压阀13能够保证将集水板12内的冷却水通入至电极片14内，如图4所示，电极片14内是S形排列的冷却水管15，能够保证电极板的低温状态，而经过电极板的水又回到集水板12内，后经过冷却出管5，冷却出管5上连接的出水软管11与第二主管7连接，并从第二主管7的出水端排出，并回至冷水机内进行，不断循环以实现冷却的效果。对实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种腔内冷却等离子清洗腔，其特征在于，包括箱体、位于所述箱体内的清洗腔体，所述清洗腔体背部开设有门体，所述清洗腔体的两侧内壁内嵌有冷却进管和冷却出管；所述门体上设有分别设有第一主管和第二主管，所述第一主管上设有与冷水机连接的进水端并连接有进水软管，所述进水软管与所述冷却进管连接；所述第二主管上设有回水端和与所述冷却出管连接的出水软管；两侧的所述冷却进管和冷却出管在底部连接有集水板，所述集水板上设有若干增压阀，所述增压阀与电极片连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种腔内冷却等离子清洗腔，其特征在于，包括箱体、位于所述箱体内的清洗腔体，所述清洗腔体背部开设有门体，所述清洗腔体的两侧内壁内嵌有冷却进管和冷却出管；所述门体上设有分别设有第一主管和第二主管，所述第一主管上设有与冷水机连接的进水端并连接有进水软管，所述进水软管与所述冷却进管连接；所述第二主管上设有回水端和与所述冷却出管连接的出水软管；两侧的所述冷却进管和冷却出管在底部连接有集水板，所述集水板上设有若干增压阀，所述增压阀与电极片连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：张永雷，
申请(专利权)人：昆山国华电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32