一种滑移式半封闭清洗装置及清洗方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及清洗装置技术领域，具体来说是一种滑移式半封闭清洗装置及清洗方法，包括：清洗机构；沿清洗机构的周向设置的防护机构，且防护机构的内侧设有周向风管，周向风管的出风方向为由上至下倾斜地指向防护机构的方向；以及承载机构，承载机构设有用于承载位，承载位的底部设有倾斜的排液面，排液面的底部设有排液孔。本发明专利技术同现有技术相比，其优点在于：能对工位上的待清洗物进行清洗，能实现风淋和风干的功能；承载机构具有自动吸附待清洗物的功能，能够实现待清洗物的绝对固定；能防止清洗液污染其他工位和设备；能实现废液的快速回收，能将废液迅速抽离，防止堆积；且能将残余气体抽走，减小对外部环境的影响，防止废液蒸汽污染工作环境。

【技术实现步骤摘要】
一种滑移式半封闭清洗装置及清洗方法
本专利技术涉及清洗装置
，具体来说是一种滑移式半封闭清洗装置及清洗方法。
技术介绍
在对基材进行相关的操作前，例如进行镀膜、蚀刻等操作前，需要对基材进行清洗，这是由于基材自身的洁净程度对后续的操作、及操作完成后的产品品质有着至关重要的影响。而现有清洗装置，在对基材进行清洗后，会有液体残留在承载基材的承载机构上，并且清洗过程中还会产生蒸汽气体，残留的液体和蒸汽气体将对工作环境进行污染，而将清洗过程中产生的残留液体和气体随意排放还将对外部环境造成污染。同时，在清洗过程中，高压的清洗液将对基材产生冲击，从而使得基材发生位移甚至从承载机构脱落。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决现有技术的不足，提供一种滑移式半封闭清洗装置及清洗方法，解决下述技术问题中的至少一种：清洗后残留液体堆积在待清洗物下侧难以即时回收的问题；清洗后对工作环境的污染问题；废液、废气排放污染外部环境的问题；清洗过程中待清洗物难以固定的问题。为了实现上述目的，设计一种滑移式半封闭清洗装置，包括：清洗机构；沿所述的清洗机构的周向设置的防护机构，且所述的防护机构的内侧设有周向风管，所述的周向风管的出风方向为由上至下倾斜地指向所述的防护机构的方向；以及承载机构，所述的承载机构设有用于承载待清洗物的承载位，所述的承载位的底部设有倾斜的排液面，所述的排液面的底部设有排液孔。本专利技术还具有如下优选的技术方案：所述的清洗机构包括基座，所述的基座上设有风刀组件和清洗喷管组件。所述的清洗喷管组件包括：若干液路管及喷嘴；位于基座上的液路管安装孔，所述的液路管安装孔与所述的液路管相对应；位于所述的基座下侧的液路管夹结构，所述的液路管夹结构上设有与所述的液路管安装孔相对应的液路管定位孔。所述的液路管夹结构的内截面由上至下逐渐收缩。所述的清洗装置还包括连通至防护罩内的抽气管路。所述的承载位内设有若干个用于承载待清洗物的支台，所述的支台上对应于所述的待清洗物的边沿设有挡边。所述的承载位内设有负压吸附组件，用于固定所述的待清洗物。所述的承载位的底部呈漏斗状，所述的排液孔位于漏斗状的承载位的底端中部。所述的清洗装置还包括移动驱动机构，所述的移动驱动机构与所述的清洗机构相连。本专利技术还涉及一种所述的滑移式半封闭清洗装置的清洗方法，所述的方法如下：通过所述的清洗机构进行清洗操作；通过所述的防护机构限制清洗液及清洗过程中产生的气体的流通范围；通过周向风管将防护机构内壁上的清洗液吹扫至承载机构；通过承载机构承载待清洗物，并通过排液面汇集清洗液后经由排液孔排出所述的清洗液。专利技术的有益效果本专利技术同现有技术相比，组合结构简单可行，易于安装与拆卸，其优点在于：能对工位上的待清洗物进行清洗，能实现风淋和风干的功能；承载机构具有自动吸附待清洗物的功能，能够实现待清洗物的绝对固定；能防止清洗液污染其他工位和设备；能实现废液的快速回收，能将废液迅速抽离，防止在承载机构的堆积；且能将残余气体抽走，减小对外部环境的影响，防止废液蒸汽污染工作环境。附图说明图1示例性示出了本专利技术的滑移式半封闭清洗装置的主视图。图2示例性示出了本专利技术的滑移式半封闭清洗装置的俯视图。图3示例性示出了本专利技术的清洗机构的结构示意图。图4示例性示出了本专利技术的承载机构的一个承载位的示意图。图5示例性示出了本专利技术的滑移式半封闭清洗装置的剖视图。图6示例性示出了本专利技术的滑移式半封闭清洗装置的分解示意图。图中：1.清洗机构11.第一连接件12.第二连接件13.液路管夹结构14.风刀组件15.吸气孔16.连接件安装孔17.液路管安装孔18.夹持件安装孔19.液路管定位孔2.防护机构21.周向风管22.周向风管的出风口23.导轨24.玻璃罩3.承载机构31.排液孔32.支台33.负压吸附孔34.凹槽35.挡边36.排液面41.连接螺栓42.连接块。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步说明，这种装置及方法的结构和原理对本专业的人来说是非常清楚的。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。本实施方式提供一种滑移式半封闭清洗装置，包括移动驱动机构、清洗机构1、防护机构2和承载机构3，其中，所述的清洗机构1与移动驱动机构相连，移动驱动机构能带动所述的清洗机构1运动；所述的防护机构2包括防护罩，所述的防护罩沿所述的清洗机构1的周向设置，且所述的防护罩的内侧设有周向风管21，所述的周向风管21的出风方向为由上至下倾斜地指向所述的防护罩的方向；所述的承载机构3设有用于承载待清洗物的承载位，所述的承载位的底部设有倾斜的排液面36，所述的排液面36的底部设有排液孔31。使用时，通过所述的移动驱动机构带动所述的清洗机构1和防护机构2移动，通过所述的清洗机构1进行清洗操作，通过所述的防护罩限制清洗液及清洗过程中产生的气体的流通范围，通过周向风管21将防护罩内壁上的清洗液吹扫至承载机构3，通过承载机构3承载待清洗物，并通过排液面36汇集清洗液后经由排液孔31排出所述的清洗液。在一些实施方式中，所述的移动驱动机构采用多轴机械手等能实现多向位移的机构或者直线移动导轨23等能实现单向移动的机构，从而将所述的移动驱动机构与所述的清洗机构1相连接后，能通过移动驱动机构带动清洗机构1实现运动。在一些实施方式中，参见图1所示，所述的清洗机构1包括左右对称设置的第一连接件11和第二连接件12，所述的第一连接件11和第二连接件12与所述的移动驱动机构相连，并且在所述的第一连接件11和第二连接件12之间连接有基座，所述的基座上设有风刀组件14和清洗喷管组件。其中，所述的风刀组件14包括风刀和与风刀相连通的风管，风管用于连接至正压泵等结构，所述的风刀优选地设有扁平状的出风口。所述的清洗喷管组件包括：若干液路管及喷嘴；位于基座上的液路管安装孔17，所述的液路管安装孔17与所述的液路管相对应；位于所述的基座下侧的液路管夹结构13，所述的液路管夹结构13上设有与所述的液路管安装孔17相对应的液路管定位孔19。例如，结合图2、图3和图6所示，所述的基座上设有6路液路管安装孔17和夹持件安装孔，所述的夹持件安装孔用于配合连接块42连接所述的液路管夹结构13，所述的液路管夹结构13的内截面，即内部的横截面，由上至下逐渐收缩，以便容置和约束所述的液路管，并且所述的液路管夹结构13的底部还设有6路液路管定位孔19，6路液路管定位孔19形成的图形与所述的6路液路管安装孔17形成的图形形成相似图形，且6路液路管定位孔19形成的图形的大小小于所述的6路液路管安装孔17形成的图形，所述的6路液路管及喷嘴依次穿过所述的6路液路管安装孔17和6路液路管定位孔19并被固定。从而，通过6路液路管及喷嘴，从供液系统喷射出对应的溶液到承载机构3上侧，并且通过移动驱动机构带动清洗机构1的整体水平移动，从而实现对待清洗物本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种滑移式半封闭清洗装置，其特征在于包括：/n清洗机构；/n沿所述的清洗机构的周向设置的防护机构，且所述的防护机构的内侧设有周向风管，所述的周向风管的出风方向为由上至下倾斜地指向所述的防护机构的方向；/n以及承载机构，所述的承载机构设有用于承载待清洗物的承载位，所述的承载位的底部设有倾斜的排液面，所述的排液面的底部设有排液孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种滑移式半封闭清洗装置，其特征在于包括：
清洗机构；
沿所述的清洗机构的周向设置的防护机构，且所述的防护机构的内侧设有周向风管，所述的周向风管的出风方向为由上至下倾斜地指向所述的防护机构的方向；
以及承载机构，所述的承载机构设有用于承载待清洗物的承载位，所述的承载位的底部设有倾斜的排液面，所述的排液面的底部设有排液孔。


2.如权利要求1所述的滑移式半封闭清洗装置，其特征在于所述的清洗机构包括基座，所述的基座上设有风刀组件和清洗喷管组件。


3.如权利要求2所述的滑移式半封闭清洗装置，其特征在于所述的清洗喷管组件包括：
若干液路管及喷嘴；
位于基座上的液路管安装孔，所述的液路管安装孔与所述的液路管相对应；
位于所述的基座下侧的液路管夹结构，所述的液路管夹结构上设有与所述的液路管安装孔相对应的液路管定位孔。


4.如权利要求3所述的滑移式半封闭清洗装置，其特征在于所述的液路管夹结构的内截面由上至下逐渐收缩。


5.如权利要求1所述的滑移式半封闭清洗装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：周夫之，王羿，何萍萍，叶明汉，
申请(专利权)人：上海睿度光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31