真空镀膜机腔体制造技术

本实用新型专利技术涉及一种真空镀膜机腔体，包括：腔体，腔体呈多边形立方体；真空镀膜机门，设置在腔体的一个立面上；平面阴极接口，若干个平面阴极接口设置在腔体的立面上；小弧源接口，若干个小弧源接口设置在腔体的立面上；旋转多弧接口，若干个旋转多弧接口设置在真空镀膜机门上；主抽口；若干个主抽口设置在腔体的立面上。本实用新型专利技术提供一种多边形的真空镀膜机腔体，改变了圆筒型真空镀膜机功能比较单一的技术问题，提高了真空镀膜机腔体的功能。另外，相对于圆筒型真空镀膜机，其功能件安装面增加可安装多种靶材，真空镀膜机的功能增强，实现可镀复杂膜层的技术功能。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机腔体
本技术的实施例涉及一种腔体结构，特别涉及一种真空镀膜机腔体。
技术介绍
在现有的圆筒型真空镀膜机，由于在以前受到真空镀膜机制造水平的限制，由于圆筒型真空镀膜机其腔体密封性要求高，其圆筒型的腔体容易做到圆筒型真空镀膜机的密封，再者，在受力分析方面，对于圆筒型的腔体受力方面要好于其他形状的腔体，但是，随着对于圆筒型真空镀膜机应用时，发现由于其圆筒型的腔体的圆弧状的形状，腔体侧面能用于安装功能部件的接口有限，使得圆筒型真空镀膜机的功能比较单一，这样导致镀膜产品的性价比无法提高，以前受限于真空镀膜机的整体制造技术的限制，一直没有办法改善，但是，随着真空镀膜机密封技术的提高以及真空镀膜机整体制造技术的提高，采用其他形状的真空镀膜机成为一种可能。
技术实现思路
本技术的实施方式的目的在于提供一种多边形的真空镀膜机腔体，改变了圆筒型真空镀膜机功能比较单一的技术问题，提高了真空镀膜机腔体的功能。为了实现上述目的，本技术的实施方式设计了一种真空镀膜机腔体，其特征在于，包括：腔体，所述的腔体呈多边形立方体；真本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机腔体，其特征在于，包括：/n腔体，所述的腔体呈多边形立方体；/n真空镀膜机门，设置在所述的腔体的一个立面上；/n平面阴极接口，若干个所述的平面阴极接口设置在所述的腔体的立面上；/n小弧源接口，若干个所述的小弧源接口设置在所述的腔体的立面上；/n旋转多弧接口，若干个所述的旋转多弧接口设置在所述的真空镀膜机门上；/n主抽口；若干个所述的主抽口设置在所述的腔体的立面上。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机腔体，其特征在于，包括：
腔体，所述的腔体呈多边形立方体；
真空镀膜机门，设置在所述的腔体的一个立面上；
平面阴极接口，若干个所述的平面阴极接口设置在所述的腔体的立面上；
小弧源接口，若干个所述的小弧源接口设置在所述的腔体的立面上；
旋转多弧接口，若干个所述的旋转多弧接口设置在所述的真空镀膜机门上；
主抽口；若干个所述的主抽口设置在所述的腔体的立面上。


2.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体，其特征在于，在所述的真空镀膜机腔体的顶部设置若干个传感器接口；在所述的真空镀膜机腔体的顶部还设置一顶盖；在所述的真空镀膜机腔体的一侧立面上设置视窗接口。


3.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体，其特征在于，所述的腔体为八边形腔体。


4.根据权利要求1所述的真空镀膜机腔体，其特征在于，所述的真空镀膜机门，还包括：
真空镀膜机门框，与所述的腔体螺栓固定；
门框加强筋，设置在真空镀膜机门框的周围；
真空镀膜机门视窗，固定在真空镀膜机门的上方；
...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊凯，户家周，张朋坤，
申请(专利权)人：上海福宜真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31