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本实用新型涉及一种真空镀膜机腔体，包括：腔体，腔体呈多边形立方体；真空镀膜机门，设置在腔体的一个立面上；平面阴极接口，若干个平面阴极接口设置在腔体的立面上；小弧源接口，若干个小弧源接口设置在腔体的立面上；旋转多弧接口，若干个旋转多弧接口设置...
该专利属于上海福宜真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海福宜真空设备有限公司授权不得商用。

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