【技术实现步骤摘要】
一种硅片吸盘
本技术涉及硅片输送
，涉及一种硅片吸盘。
技术介绍
在硅片的加工过程中，对于较大尺寸、薄片成品和半成品要求整齐搬运，以便于下道工序的加工。如果采用人工移运、卸料进行堆码摆放，不仅需要消耗大量的人力成本，而且容易造成硅片的损坏。为了便于对较大尺寸的硅片进行搬运和码垛，现在多采用机械搬运、或者是机械配合吸盘搬运的方式；目前，大多采用吸盘来吸取硅片，然后配合移动模组等方式来转运。然而，吸盘与较大尺寸的硅片接触面积小，吸盘负荷较大，常常导致吸盘出现吸不牢、吸附的时间短等问题，容易将硅片掉下来，不能满足较大尺寸的硅片的生产需求。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种可提供足够的吸附力不会使竖直状态的硅片掉落，硅片在搬运中不会颤动的硅片吸盘。为了解决上述技术问题，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅片吸盘，包括吸板以及封板，所述吸板包括本体以及两横板，所述本体一端设置有吸气口，两横板设置在所述本体上，所述本体上开设有真空腔道，所述吸气口与真空腔道相通，所述横...
【技术保护点】
1.一种硅片吸盘，其特征在于，包括吸板以及封板，所述吸板包括本体以及两横板，所述本体一端设置有吸气口，两横板设置在所述本体上，所述本体上开设有真空腔道，所述吸气口与真空腔道相通，所述横板上设置有支向腔道，所述支向腔道与所述真空腔道相连通，所述本体的吸附面上开设有主吸气孔，所述主吸气孔与所述真空腔道相通，所述横板的吸附面上均开设有副吸气孔，所述副吸气孔与所述支向腔道相通，所述封板与所述吸板密封连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种硅片吸盘，其特征在于，包括吸板以及封板，所述吸板包括本体以及两横板，所述本体一端设置有吸气口，两横板设置在所述本体上，所述本体上开设有真空腔道，所述吸气口与真空腔道相通，所述横板上设置有支向腔道，所述支向腔道与所述真空腔道相连通，所述本体的吸附面上开设有主吸气孔，所述主吸气孔与所述真空腔道相通，所述横板的吸附面上均开设有副吸气孔，所述副吸气孔与所述支向腔道相通，所述封板与所述吸板密封连接。
2.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，所述本体两侧分别开设有便于装配定位的限位槽，所述限位槽设置在靠近所述吸气口位置。
3.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，所述真空腔道上设置有多个分隔块，所述分隔块将所述真空腔道分隔成多条相互连通的导向风道，所述主吸气孔设置在多条导向风道相交位置。
4.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，所述本体以及两横板为一体成型结构。
5.如权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，梁齐辉，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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