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本实用新型涉及硅片输送技术领域，涉及一种硅片吸盘。本实用新型可对硅片保持竖直状态进行抓取，通过主体和横板对硅片进行吸附，通过主吸气孔和副吸气孔配合可提供足够的吸附力不会使竖直状态的硅片掉落，有效改善整个吸盘的密闭性，从而保持了吸盘吸紧硅片的...
该专利属于罗博特科智能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗博特科智能科技股份有限公司授权不得商用。

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