电镀设备用阴极组件制造技术

根据本发明专利技术的电镀设备用阴极组件，包括：滚子主体，其沿着中心轴延伸；以及支撑轴模块，包括凸缘和轴，所述凸缘结合于所述滚子主体，所述轴从所述凸缘沿着中心轴延伸，凸缘具有第一刚性，轴具有大于第一刚性的第二刚性，据此，在制造铜箔的过程中，能够防止因轴发生变形而产生不良产品的情况。

【技术实现步骤摘要】
电镀设备用阴极组件
本专利技术涉及一种电镀(plating)设备用阴极组件，更详细而言，涉及一种提高了轴的刚性的电镀设备用阴极组件。
技术介绍
卷对卷(RollToRoll)方式的电镀设备包括电镀槽和阴极，以在薄膜(film)形成电镀保护膜。阴极包括轴和滚子主体。在电镀槽配置有电镀液和阳极。薄膜可以通过阴极来进行输送。此时，薄膜浸渍于电镀槽内部的电镀液。当向阳极和阴极施加电源时，电镀液将会被电解，同时铜将会电沉积到薄膜。图1是示出现有技术中的电镀设备用阴极组件的图。参照图1，现有技术中的电镀设备用阴极组件由滚子主体11和轴12构成。轴12以熔接的方式结合于滚子主体11。此处，现有技术中的电镀设备用阴极组件在制造铜箔的过程中可能会发生轴的变形。这会导致铜箔引起产品不良的问题。
技术实现思路
本专利技术一实施例的目的在于，提供一种提高了轴的刚性的电镀设备用阴极组件。为了达成如上所述的目的，本专利技术一实施例的电镀设备用阴极组件的特征在于，包括：滚子主体，其沿着中心轴延伸；以及支撑轴模块，其包括凸缘和轴，所述凸缘结合于滚子主体，所述轴从凸缘沿着中心轴延伸，凸缘具有第一刚性，轴具有大于第一刚性的第二刚性。根据本专利技术，利用滚子主体和支撑轴模块的结合结构来提高了轴的刚性，从而在制造铜箔的过程中不会发生轴的变形。因此，能够防止不良产品的产生。另外，由于滚子主体和支撑轴模块能够相结合以及能够解除结合，因此，在需要时能够只对滚子主体进行更换，从而能够节省制造成本。附图说明图1是示出现有技术中的电镀设备用阴极组件的图。图2是概略性示出本专利技术一实施例的电镀设备用阴极组件的图。图3是示出图2所示的电镀设备用阴极组件的另一实施例的图。附图标记说明10：电镀设备用阴极组件100：滚子主体110：第一螺纹紧固部200：支撑轴模块210：凸缘211：凸缘主体213：凸缘插入体214：第二螺纹紧固部230：轴(shaft)300：密封构件D1：凸缘倾斜面D2：滚子倾斜面具体实施方式以下，详细说明本专利技术的优选的一实施例的电镀设备用阴极组件10。图2是概略性示出本专利技术一实施例的电镀设备用阴极组件10的图。参照图2，本专利技术一实施例的电镀设备用阴极组件10包括滚子主体100和支撑轴模块200，以在制造铜箔的过程中防止轴发生变形。支撑轴模块200包括凸缘210和轴230。此处，凸缘210具有第一刚性，而轴230具有大于第一刚性的第二刚性。因此，轴230能够以无变形且可旋转的方式对支撑轴模块200进行支撑。此处，与阳极(未图示)相比，电镀设备用阴极组件10接收负极电源。随着电镀设备用阴极组件10进行旋转，用于形成电镀保护膜的薄膜将会被输送，以通过电镀槽。滚子主体100沿着中心轴A延伸。支撑轴模块200可以配置于滚子主体100的两侧端部。支撑轴模块200包括凸缘210和轴230。凸缘210结合于滚子主体100。轴230从凸缘210沿着中心轴A延伸。轴230、凸缘210以及滚子主体100均具有相同的中心轴A。轴230以电镀设备用阴极组件10将中心轴A作为基准能够进行旋转的方式对电镀设备用阴极组件10进行支撑。凸缘210用于使轴230和滚子主体100相连接，并且支撑滚子主体100。此处，凸缘210具有第一刚性。另外，轴230具有大于第一刚性的第二刚性。因此，轴230能够以不发生变形的方式对凸缘210和滚子主体100进行支撑。据此，在制造铜箔时能够防止发生产品不良。轴230和凸缘210可以以熔接的方式相结合。作为一实施例，凸缘210可以为铜材质。另外，轴230可以为不锈钢材质。电镀设备用阴极组件10在向薄膜施加负极电源的同时进行旋转，以输送薄膜。因此，电镀设备用阴极组件10应具有良好的导电性，以节省电力消费。另外，电镀设备用阴极组件10应具有良好的刚性，以防止变形。由于本专利技术的凸缘210是铜材质，因此其导电性优异。另外，由于轴230是不锈钢材质，因此不仅具有大于铜的刚性，而且其导电性还具有与铜相似的性质。因此，根据本专利技术，能够确保导电性和结构的刚性，以节省电力以及防止变形。另一方面，由于滚子主体100是钛(Ti)材质，因此其刚度具有几乎与碳素钢相同的高刚度的性质。根据本专利技术，凸缘210、轴230以及滚子主体100具有彼此不同的材质。据此，本专利技术的电镀设备用阴极组件10考虑到材质的价格而降低了其成本，并且能够具有必要的刚度和优异的电导率。凸缘210包括凸缘主体211和凸缘插入体213。凸缘主体211连接于轴230，并配置于滚子主体100的端部。凸缘插入体213从凸缘主体211沿着中心轴A延伸并插入于滚子主体100的内部。据此，能够增大凸缘210和滚子主体100之间的结合力和支撑力。另外，凸缘主体211具有凸缘倾斜面D1。凸缘倾斜面D1随着从凸缘插入体213朝向轴230，逐渐从滚子主体100的内周面朝向滚子主体100的外周面倾斜。滚子主体100具有与凸缘倾斜面D1相对应的滚子倾斜面D2。凸缘倾斜面D1和滚子倾斜面D2以热压方式紧密结合。由此，能够保持凸缘210和滚子主体100之间的气密性，并能够确保优异的真圆度。另一方面，滚子主体100具有第一螺纹紧固部110。凸缘插入体213具有第二螺纹紧固部214。由此，滚子主体100和凸缘210可以以螺纹紧固的方式相结合。因此，滚子主体100和支撑轴模块200之间能够结合，或者能够解除结合。即，组装和分离变得容易。另外，由于可以只更换滚子主体100，因此能够节省制造费用。本专利技术一实施例的电镀设备用阴极组件10还包括密封构件300。密封构件300配置于滚子主体100和凸缘210之间。密封构件300可以保持滚子主体100和凸缘210之间的气密性。尤其，滚子主体100可以具有用于容纳密封构件300的容纳槽。据此，即使在滚子主体100和凸缘210分离或结合的情况下，密封构件300也可能不会脱离。图3是示出图2所示的电镀设备用阴极组件10的另一实施例的图。参照图3，支撑轴模块200还包括凸起250。另外，滚子主体100还包括与凸起250相对应的插入槽130。凸起250配置于凸缘210的凸缘主体211。具体而言，凸起250从凸缘主体211朝向滚子倾斜面D2凸出。作为一实施例，凸起250的凸出方向上的线可以垂直于凸缘倾斜面D1和滚子倾斜面D2。插入槽130配置于滚子倾斜面D2。凸起250插入于插入槽130。凸起250和插入槽130可以沿着圆周方向延伸。据此，当支撑轴模块200和滚子主体100相结合时，会被引导至结合位置而不会发生错位。在插入槽130可以额外地配置有密封构件(未图示)。在凸缘主体211和滚子主体100相结合的情况下，凸起250紧贴于密封构件。据此，能够确保气密性。以上，根据上述实施例具体地说明了本专利技术人做出的专利技术，但本专利技术并不限于上述实施例，在不脱离其要旨的范围内能够进行各种变更。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电镀设备用阴极组件，其中，包括：/n滚子主体，沿着中心轴延伸；以及/n支撑轴模块，包括凸缘和轴，所述凸缘结合于所述滚子主体，所述轴从所述凸缘沿着中心轴延伸，/n所述凸缘具有第一刚性，/n所述轴具有大于所述第一刚性的第二刚性。/n

【技术特征摘要】
20191211 KR 10-2019-0164790;20201028 KR 10-2020-011.一种电镀设备用阴极组件，其中，包括：
滚子主体，沿着中心轴延伸；以及
支撑轴模块，包括凸缘和轴，所述凸缘结合于所述滚子主体，所述轴从所述凸缘沿着中心轴延伸，
所述凸缘具有第一刚性，
所述轴具有大于所述第一刚性的第二刚性。


2.根据权利要求1所述的电镀设备用阴极组件，其中，
所述凸缘为铜材质，所述轴为不锈钢材质。


3.根据权利要求1所述的电镀设备用阴极组件，其中，
所述凸缘包括：
凸缘主体，连接于所述轴并配置于所述滚子主体的端部；以及
凸缘插入体，从所述凸缘主体沿着中心轴延伸并插入于所述滚子主体的内部，
所述凸缘主体具有凸缘倾斜面，所述凸缘倾斜面随着从所述凸缘插入体朝向所述轴，逐渐从所述滚子主体的内周面朝向所述滚子主体的外周...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳汉权，刘珍河，廉贞恩，李满炯，
申请(专利权)人：SK纳力世有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR