一种阳极结构、电极机构及电镀系统技术方案

本发明专利技术涉及电镀技术领域，具体提供了一种阳极结构、电极机构及电镀系统，其中阳极结构包括主阳极件和至少一个辅阳极件，分别与外部电源的正极电性连接，主阳极件较辅阳极件适于靠近待电镀的阴极件，任一辅阳极件的有效作用面小于主阳极件的有效作用面，且辅阳极件的有效作用面在阴极件的阴极面上的投影落入阴极面的四周边缘之内。通过在主阳极件的一侧设置至少一个辅阳极件，通电后的辅阳极件产生的电流能够落入到阴极件的阴极面的四周边缘之内，对位于阴极面四周边缘之内的电流进行补充增加，使得阴极件受到的电流能够在阴极面上均匀分布，克服导致工件上的电镀层的层厚不均匀及工件电镀效果不均匀的缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种阳极结构、电极机构及电镀系统
本专利技术涉及电镀的
，具体涉及一种阳极结构、电极机构及电镀系统。
技术介绍
电镀是指借助外界直流电的作用，以使导电体表面沉积金属或合金层。在进行电镀时，将电极的阳极电连接于电镀液中，并将电极的阴极与具有导电性的被加工物相连接。当电流导通时，溶液中带有正电的阳离子朝向电路的阴极游动，在被加工物的表面发生还原，并形成覆盖被加工物表面的电镀层。在电镀的过程中，使用可溶性阳极或不溶性阳极来提供离子、电子，使阴极工件得到所需的电镀层，传统的电镀设备，在工件上形成电镀层时，在电流流动时，周围产生磁场，根据电磁感应定律，会感应与电流反向的电场(电动势)阻碍电流的流动，因此在电流输送的过程中，中间电流收到的阻力较大，而边缘电流受到的阻力较小，因此会出现工件的工件本体上电流分布不均匀的情况，位于边缘部分的工件本体是高电位高电流密度区，中间部分的工件本体是低电位低电流密度区，因此会在电镀结束后，工件边缘部分的电镀层比中间部分的电镀层相对厚，进而导致工件的电镀效果不均匀。专利技术内容因此，本专本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阳极结构，其特征在于，包括：/n主阳极件(1)和至少一个辅阳极件(2)，分别与外部电源的正极电性连接，所述主阳极件(1)较所述辅阳极件(2)适于靠近待电镀的阴极件，任一所述辅阳极件(2)的有效作用面小于所述主阳极件(1)的有效作用面，且所述辅阳极件(2)的有效作用面在所述阴极件的阴极面上的投影落入所述阴极面的四周边缘之内。/n

【技术特征摘要】
1.一种阳极结构，其特征在于，包括：
主阳极件(1)和至少一个辅阳极件(2)，分别与外部电源的正极电性连接，所述主阳极件(1)较所述辅阳极件(2)适于靠近待电镀的阴极件，任一所述辅阳极件(2)的有效作用面小于所述主阳极件(1)的有效作用面，且所述辅阳极件(2)的有效作用面在所述阴极件的阴极面上的投影落入所述阴极面的四周边缘之内。


2.根据权利要求1所述阳极结构，其特征在于，所述辅阳极件(2)为至少两个，所有所述阳极件层叠且间隔分布，相邻两个辅阳极件(2)中，靠近所述主阳极件(1)的辅阳极件(2)的有效作用面小于远离主阳极件(1)的辅阳极件(2)的有效作用面。


3.根据权利要求1或2所述阳极结构，其特征在于，还包括在所述主阳极件(1)与所述辅阳极件(2)之间设置至少一个第一遮蔽件(3)，所述第一遮蔽件(3)至少遮挡住所述辅阳极件(2)上面向主阳极件(1)一侧的第一表面的部分边缘；和/或
还包括第二遮蔽件(4)，所述主阳极件(1)位于所述辅阳极件(2)和所述第二遮蔽件(4)之间，所述第二遮蔽件(4)至少遮挡住所述主阳极件(1)上面向阴极件一侧的第二表面的部分边缘。


4.根据权利要求3所述的阳极结构，其特征在于，所述第一遮蔽件(3)相对于所述辅阳极件(2)可移动设置，以改变所述第一遮蔽件(3)遮挡所述第一表面的面积；和/或
所述第二遮蔽件(4)相对于所述主阳极件(1)可移动设置，以改变所述第一遮蔽件(3)遮挡所述第一表面的面积。


5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩友生，方荣平，袁晓波，
申请(专利权)人：昆山东威科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32