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一种阳极结构、电极机构及电镀系统技术方案
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下载一种阳极结构、电极机构及电镀系统的技术资料
文档序号:28409612
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本发明涉及电镀技术领域,具体提供了一种阳极结构、电极机构及电镀系统,其中阳极结构包括主阳极件和至少一个辅阳极件,分别与外部电源的正极电性连接,主阳极件较辅阳极件适于靠近待电镀的阴极件,任一辅阳极件的有效作用面小于主阳极件的有效作用面,且辅阳...
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