一种玻璃基板洗净用两种流体喷射装置制造方法及图纸

技术编号:28786889 阅读:26 留言:0更新日期:2021-06-09 11:22
本实用新型专利技术涉及一种玻璃基板洗净用两种流体喷射装置,它包括:入气管,所述入气管的一端设置有第一横管,所述第一横管上连接有并列设置的至少两根第一喷管,所述第一喷管上分布有多个出气接头;入水管,所述入水管的一端设置有第二横管,所述第二横管上连接有并列设置的至少两根第二喷管,所述第二喷管上分布有多个二流体喷嘴,所述二流体喷嘴的入液口与所述第二喷管相连通,所述二流体喷嘴的入气口通过软管与所述出气接头相连接;所述第一喷管与所述第二喷管处于相异的两个水平高度。结构简约、易于安装。易于安装。易于安装。

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃基板洗净用两种流体喷射装置


[0001]本技术涉及一种喷射装置,特别是涉及一种玻璃基板洗净用两种流体喷射装置。

技术介绍

[0002]针对玻璃基板的洗净制程中采用的洗净设计是以超纯水通过一般扇型喷嘴洗净玻璃基板,通过设定泵浦压力以调整洗净效果,但因仅使用超纯水及一般扇形喷嘴,并无法有效清洗较小颗粒的杂质。现有技术中通过二流体(气体与液体混合)方式清除这样的小颗粒杂质,但二流体喷嘴的布置方式等各异,本技术是基于此的改进。

技术实现思路

[0003]本技术目的是要提供一种玻璃基板洗净用两种流体喷射装置,结构简约、易于安装。
[0004]为达到上述目的,本技术采用的技术方案是:
[0005]本技术提供了一种玻璃基板洗净用两种流体喷射装置,它包括:
[0006]入气管,所述入气管的一端设置有第一横管,所述第一横管上连接有并列设置的至少两根第一喷管,所述第一喷管上分布有多个出气接头;
[0007]入水管,所述入水管的一端设置有第二横管,所述第二横管上连接有并列设置的至少两根第二喷管,所述第二喷管上分布有多个二流体喷嘴,所述二流体喷嘴的入液口与所述第二喷管相连通,所述二流体喷嘴的入气口通过软管与所述出气接头相连接;
[0008]所述第一喷管与所述第二喷管处于相异的两个水平高度。
[0009]优选地,所述第一喷管与所述第二喷管基本相平行设置。
[0010]优选地,所述第一喷管与所述第二喷管一一相对应设置。
[0011]优选地,所述出气接头与所述二流体喷嘴一一相对应设置。
[0012]优选地,所述第一喷管和/或所述第二喷管为轴向可转动调节。
[0013]优选地,所述入气管连接在所述第一横管约中部位置。
[0014]优选地,所述入水管连接在所述第二横管的端部。
[0015]优选地,所述二流体喷嘴的喷射角度为可调节设置。
[0016]优选地,所述二流体喷嘴以等间距分布。
[0017]优选地,所述二流体喷嘴为扇形喷嘴,且扇形平面相平行设置。
[0018]由于上述技术方案运用,本技术与现有技术相比具有下列优点:
[0019]本技术的玻璃基板洗净用两种流体喷射装置,将二流体喷嘴直接安装在第二喷管中,从第二喷管中接收液体,因此可稳定地接收液体;而二流体喷嘴的入气口通过软管与第一喷管上的出气接头相连接,从出气接头接收气体,由于通过软管连接,从而在安装时若第一喷管与第二喷管有细小的错位也不会影响连接的难度;另外,由于第一喷管与第二喷管处于相异的两个水平高度,从而减小了布置难度,使结构紧凑,也不会因第一喷管干扰
二流体喷嘴喷射的气雾流。
附图说明
[0020]后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本技术的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解,这些附图未必是按比例绘制的。附图中:
[0021]图1是根据本技术优选实施例的玻璃基板洗净用两种流体喷射装置的立体示意图;
[0022]图2是图1中A处放大图;
[0023]其中,附图标记说明如下:
[0024]1、入气管;
[0025]2、第一横管;
[0026]3、第一喷管;
[0027]4、出气接头;
[0028]5、入水管;
[0029]6、第二横管;
[0030]7、第二喷管;
[0031]8、二流体喷嘴;
[0032]9、软管。
具体实施方式
[0033]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0034]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0035]此外,下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0036]如图1所示玻璃基板洗净用两种流体喷射装置,包括入气管1和入水管5以及多个二流体喷嘴8。从入气管1供应气体比如氮气,从入水管5供应液体比如纯水,经过二流体喷嘴8的混合后,喷射气雾流,能够清洗玻璃基板表面较小颗粒的杂质。
[0037]入气管1经过相应的供应管路连通到二流体喷嘴8。入气管1的一端设置有第一横管2,第一横管2的两端连接有并列的两根第一喷管3,两根第一喷管3相平行地延伸。第一喷管3上分布有多个出气接头4。出气接头4基本等间距地分布。参见图2,出气接头4通过软管9连接在二流体喷嘴8的入气口(为了方便于观察,图1中只显示两根软管9,其余软管9未显
示)。通过软管9连接的方式方便于安装,不会因第一喷管3与第二喷管7(见后述)的微小错位而提高安装难度。第一喷管3的数量无特别限制,其它实施方式中,还可以设置更多的第一喷管3。
[0038]第一喷管3为轴向可转动调节,从而方便于调节出气接头4的方向,便于使出气接头4与二流体喷嘴8连接。
[0039]入气管1的端部连接在第一横管2约中部位置,从而通过入气管1平衡地支撑两根第一喷管3。
[0040]入水管5的一端设置有第二横管6,第二横管6上连接有并列的两根第二喷管7,第二喷管7上分布有多个二流体喷嘴8。二流体喷嘴8的入液口直接与第二喷管7相连接,从而对二流体喷嘴8同时提供支撑和提供液体,无需额外的连接件将二流体喷嘴8与第二喷管7连接。
[0041]入水管5连接在第二横管6的端部,具体是外端部,从而使入水管5有效避开第一横管2及第一喷管3,达到有效利用空间的目的。
[0042]第二喷管7为轴向可转动调节,从而方便于调整二流体喷嘴8的朝向,进而方便于满足不同的喷射要求。
[0043]二流体喷嘴8基本等间距分布,从而使喷射的气雾均匀。
[0044]二流体喷嘴8的喷射角度为可调节设置,从而提高适用性。
[0045]二流体喷嘴8为扇形喷嘴(图1中示意出了扇形气雾形状),且气雾流的扇形平面相平行设置,从而使喷射的气雾均匀。
[0046]本例中,第一喷管3与第二喷管7处于相异的两个水平高度,从而不会因第一喷管3干扰二流体喷嘴8喷射的气雾流,而且使装置更为紧凑。
[0047]第一喷管3和第二喷管7基本相平行设置,从而方便于将出气接头4与二流体喷嘴8一一对应地连接,也使得装置结构规整、本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板洗净用两种流体喷射装置,其特征在于,它包括:入气管(1),所述入气管(1)的一端设置有第一横管(2),所述第一横管(2)上连接有并列设置的至少两根第一喷管(3),所述第一喷管(3)上分布有多个出气接头(4);入水管(5),所述入水管(5)的一端设置有第二横管(6),所述第二横管(6)上连接有并列设置的至少两根第二喷管(7),所述第二喷管(7)上分布有多个二流体喷嘴(8),所述二流体喷嘴(8)的入液口与所述第二喷管(7)相连通,所述二流体喷嘴(8)的入气口通过软管(9)与所述出气接头(4)相连接;所述第一喷管(3)与所述第二喷管(7)处于相异的两个水平高度。2.根据权利要求1所述的玻璃基板洗净用两种流体喷射装置,其特征在于:所述第一喷管(3)与所述第二喷管(7)基本相平行设置。3.根据权利要求1所述的玻璃基板洗净用两种流体喷射装置,其特征在于:所述第一喷管(3)与所述第二喷管(7)一一相对应设置。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:蒋新陈宽政陈国才
申请(专利权)人:苏州晶洲装备科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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