一种防水透声膜组件及其装有防水透声膜组件的MEMS制造技术

本发明专利技术公开了一种防水透声膜组件及其装有防水透声膜组件的MEMS，包括防水透声膜和支撑层，支撑层位于防水透声膜背离外界环境的一侧，支撑层为高分子聚合物层，不仅价格便宜，还便于防水透声膜组件整体的安装加工；同时支撑层的弹性模量为40

【技术实现步骤摘要】
一种防水透声膜组件及其装有防水透声膜组件的MEMS


[0001]本专利技术涉及膜材料
以及微电子
，更具体的说是涉及一种防水透声膜组件及其装有防水透声膜组件的MEMS。

技术介绍

[0002]随着社会的进步，人们对于手机，笔记本电脑等电子产品的要求越来越高，不仅希望这些电子产品的性能越来越高，能够满足人们的各项工作需求，还希望这些电子产品的体积越来越小，方便人们携带；因此与之相配套的电子零件的体积也需要不断减小、而性能和一致性需要不断提高。
[0003]在上述背景下，MEMS这一种电子零部件备受人们的关注，MEMS即微机电系统，也叫做微电子机械系统，它是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器(执行器)和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学及生物工程等多种学科和工程技术，为智能系统、消费电子和智能家居等领域开拓了广阔的用途。
[0004]常见的MEMS相关产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、MEMS压力传感器、MEMS陀螺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防水透声膜组件，其特征在于：包括有防水透声膜和支撑层，所述支撑层位于防水透声膜背离外界环境的一侧；所述支撑层上设置有若干个支撑孔；所述防水透声膜组件在100
‑
10000Hz的声频范围下的声音阻隔量小于3dB，防水性能为IP64或IP65或IP66或IP67或IP68；所述防水透声膜组件的耐水压为20
‑
500kPa；所述支撑层为高分子聚合物层，其弹性模量为40
‑
400MPa。2.根据权利要求1所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述防水透声膜与所述支撑层之间存在间隔d；所述防水透声膜包含防水透声段D；在受到20
‑
500kPa压力作用时，所述防水透声段的最大相对形变量E=（2d+AD）/D不大于防水透声段的弹性极限相对形变量S；其中A为在20
‑
500kPa压力作用时，支撑层的相对形变量。3.根据权利要求2所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述防水透声段的弹性极限相对形变量S的范围为1%
‑
30%；在20
‑
500KPa压力作用下，支撑层的相对形变量A不大于1%。4.根据权利要求2所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述间隔d为20
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80μm；所述防水透声段D为1
‑
5mm。5.根据权利要求3所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述支撑层为耐高温的高分子聚合物层，所述支撑层至少能耐250℃的高温3min；所述支撑层的透气速率为0.1
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30L/(min
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cm2）@7kPa；所述支撑层的厚度为0.04
‑
0.12mm。6.根据权利要求5所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述支撑层为PI支撑层；所述支撑孔的孔径为0.1
‑
0.7mm，所述支撑层外表面上的支撑孔面积率为5%
‑
75%。7.根据权利要求1所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述防水透声膜的孔径为0.02
‑
2μm，厚度为2
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20μm，耐水压为10kPa到450kPa；所述防水透声膜在100
‑
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【专利技术属性】
技术研发人员：贾建东，朱业飞，蔡梁，黄剑，
申请(专利权)人：杭州安普鲁薄膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：