一种防水透声膜组件及其装有防水透声膜组件的MEMS制造技术

本发明专利技术公开了一种防水透声膜组件及其装有防水透声膜组件的MEMS，包括有防水透声膜和防护层，所述防护层位于防水透声膜靠近外界环境的一侧，所述防水透声膜组件在100

【技术实现步骤摘要】
一种防水透声膜组件及其装有防水透声膜组件的MEMS


[0001]本专利技术涉及膜材料
以及微电子
，更具体的说是涉及一种防水透声膜组件及其装有防水透声膜组件的MEMS。

技术介绍

[0002]随着社会的进步，人们对于手机，笔记本电脑等电子产品的要求越来越高，不仅希望这些电子产品的性能越来越高，能够满足人们的各项工作需求，还希望这些电子产品的体积越来越小，方便人们携带；因此与之相配套的电子零件的体积也需要不断减小、而性能和一致性需要不断提高。
[0003]在上述背景下，MEMS这一种电子零部件备受人们的关注，MEMS即微机电系统，也叫做微电子机械系统，它是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器(执行器)和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学及生物工程等多种学科和工程技术，为智能系统、消费电子和智能家居等领域开拓了广阔的用途。常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器等以及它们的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防水透声膜组件，其特征在于：包括有防水透声膜和防护层，所述防护层位于防水透声膜靠近外界环境的一侧；所述防水透声膜与所述防护层之间存在振动间隔d，所述防水透声膜组件在100
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10000Hz的声频范围下的声音阻隔量小于3dB，防水性能为IP64或IP65或IP66或IP67或IP68；所述防护层为耐高温的高分子聚合物层，所述防护层至少能耐250℃的高温3min；所述防护层上设置有若干个透声孔。2.根据权利要求1所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述防水透声膜包括防水透声段D；所述防水透声膜组件存在用于保证声音音调不发生变化的控调比H，所述控调比H为振动间隔d与防水透声段D两者之间的长度之比；所述控调比H用于保持在温度为
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40℃
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80℃，空气相对湿度为20%
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80%，声频为100
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10000Hz的情况下，所述防水透声膜组件的谐波失真增量至多为10%。3.根据权利要求2所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述防护层的透气速率为0.1
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30L/(min
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cm2）@7kPa；所述控调比H为0.005
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0.05。4.根据权利要求3所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述防护层上透声孔的孔径为0.1
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0.5mm，所述防护层外表面上的透声孔面积率为10
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70%。5.根据权利要求1所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述防护层靠近外界环境一侧表面的表面能为12
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45mN/m。6.根据权利要求3所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述防水透声段D的长度为0.5
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5mm；所述防水透声膜与所述防护层之间的振动间隔d为20
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80μm。7.根据权利要求1所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述透声孔在所述防护层表面上均匀分布，其分布方式为矩形分布或环形分布。8.根据权利要求1所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述透声孔在所述防护层表面上不均匀分布，其分布方式为中间密，边缘疏；或者，中间疏，边缘密；或者，一侧密，另一侧疏。9.根据权利要求1所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述透声孔包括透声大孔和透声小孔，所述透声大孔的孔径为0.3
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0.5mm，所述透声小孔的孔径为0.1
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0.3mm。10.根据权利要求1所述的一种防水透声膜组件，其特征在于：所述防水透声膜的孔径为0.02
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2μm；厚度为2
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20μm；耐水压为20kPa到600kPa；所述防水透声膜在10...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾建东，朱业飞，蔡梁，黄剑，
申请(专利权)人：杭州安普鲁薄膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：