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本发明公开了一种防水透声膜组件及其装有防水透声膜组件的MEMS，包括有防水透声膜和防护层，所述防护层位于防水透声膜靠近外界环境的一侧，所述防水透声膜组件在100
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该专利属于杭州安普鲁薄膜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州安普鲁薄膜科技有限公司授权不得商用。

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