一种工件预处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种工件预处理设备，涉及激光器技术领域，以解决现有技术中工件钝化使用气相钝化容易生成较稳定的碳氧化表面层，影响激光器的性能的问题。所述工件预处理设备包括：钝化液容器；与所述钝化液容器可断开连接的试样容器；与试样容器可断开连接的清洗液供应装置；与试样容器可断开连接的惰性气体供应装置。装置。装置。

【技术实现步骤摘要】
一种工件预处理设备


[0001]本技术涉及光电
，尤其涉及一种工件预处理设备。

技术介绍

[0002]激光器在半导体、液晶平板显示、太阳能光伏、汽车制造、医疗、科研和国防等领域具有重要的应用价值。
[0003]但是激光器的工作介质包含强腐蚀性的卤素介质，会与放电腔部件表面及内部的Si、C、H、O等元素反应生成有害气态产物，影响激光器的性能，因此需要对放电腔中各零部件需要进行超声波清洗、干燥和钝化处理。但是即使超声波多次清洗并不能完全去除部件表面碳氧化反应层，且清洗各零部件在干燥、装配等过程及其中间转移过程均会暴露在大气环境中，其表面将不可避免的再次发生碳氧化反应。钝化处理后各零部件表面层将是由卤化物和碳氧化物共同组成的。
[0004]由此造成由于钝化前已生成较稳定的碳氧化表面层，放电腔部件在气体钝化后可能仍包含大量的有害元素，在激光器运行过程中缓慢的生成有害气体，影响激光器的输出性能；且钝化过程需要向放电腔内多次充入抽出较高浓度的卤素气体，易造成环境污染并对操作人员具有一定危险性的问题。
技术内容
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工件预处理设备，其特征在于，包括：钝化液容器，用于容纳对工件进行钝化的钝化液；与所述钝化液容器可断开连接的试样容器，用于盛放工件，并利用所述钝化液容器提供的钝化液对所述工件进行钝化；与所述试样容器可断开连接的清洗液供应装置，用于向所述试样容器供应清洗液，所述试样容器还用于利用所述清洗液对钝化后的所述工件进行清洗；与所述试样容器可断开连接的惰性气体供应装置，用于向所述试样容器供应惰性气体；所述试样容器还用于在所述惰性气体的保护下，对清洗后的所述工件进行除湿。2.根据权利要求1所述的工件预处理设备，其特征在于，所述工件预处理设备还包括用于密闭所述试样容器的盖体。3.根据权利要求1所述的工件预处理设备，其特征在于，所述工件预处理设备还包括成分检测装置和液位检测装置；所述试样容器用于利用所述钝化液容器提供的钝化液在对所述工件进行钝化前，所述成分检测装置用于检测所述钝化液容器内钝化液的种类；所述液位检测装置用于在所述钝化液的种类满足工件钝化要求时，检测所述钝化液容器的钝化液液位；所述成分检测装置还用于在所述钝化液容器的钝化液液位满足工件钝化预设液位时，检测所述钝化液的卤素离子浓度；所述试样容器具体用于在所述钝化液的卤素离子浓度满足工件的卤素离子预设浓度时，利用所述钝化液容器提供的钝化液在对所述工件进行钝化。4.根据权利要求3所述的工件预处理设备，其特征在于，所述工件预处理设备还包括废液收集装置；所述废液收集装置与所述钝化液容器可断开连接；所述钝化液容器还用于在所述钝化液的种类不满足工件钝化要求时，向所述废液收集装置排放钝化液；所述清洗液供应装置与所述钝化液容器可断开连接；所述钝化液容器用于向所述废液收集装置排放钝化液后，所述清洗液供应装置用于对所述钝化液容器进行清洗。5.根据权利要求4所述的工件预处理设备，其特征在于，所述工件预处理设备还包括钝化液补充装置；所述钝化液补充装置与所述钝化液容器可断开连接；所述钝化液补充装置用于在所述钝化液的卤素离子浓度不满足工件的卤素离子预设浓度时，向钝化液容器中加入满足工件的卤素离子预设浓度的钝化液；所述钝化液补充装置还用于在所述钝化液的液位不满足工件钝化预设液位时，向钝化液容器中加入满足工件钝化预设液位的钝化液。6.根据权利要求1所述的工件预处理设备，其特征在于，所述试样容器用于利用所述清洗液对钝化后的所述工件进行清洗前，所述试样容器还用于在所述工件钝化后，向所述钝化液容器排放钝化液；所述工件预处理设备还包括风干装置；所述试样容器用于在所述工件钝化后，向所述钝化液容器排放钝化液后，所述风干装置用于对所述工件进行风干。
7.根据权利要求1

【专利技术属性】
技术研发人员：郭馨，江锐，王倩，周翊，赵江山，王宇，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：新型
国别省市：