温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开一种工件预处理设备，涉及激光器技术领域，以解决现有技术中工件钝化使用气相钝化容易生成较稳定的碳氧化表面层，影响激光器的性能的问题。所述工件预处理设备包括：钝化液容器；与所述钝化液容器可断开连接的试样容器；与试样容器可断开连接的...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。