一种晶圆加工的高温氧化二氯乙烯清洗工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆加工的高温氧化二氯乙烯清洗工艺，涉及扩散炉管清洗领域，包括以下步骤：将扩散炉管升温到800摄氏度；稳定1～10分钟；开通氧气和氮气，稳定1～5分钟；关闭氮气，稳定1～5分钟；开通二氯乙烯，稳定1～5分钟；升温到950摄氏度，稳定10～30分钟；关闭二氯乙烯，稳定1～5分钟；升温到1200～1325摄氏度。本发明专利技术通过降低了二氯乙烯清洗的温度，有效减少了氧化层表面的缺陷密度，避免了高温时二氯乙烯分解的副产物损伤硅片表面。二氯乙烯分解的副产物损伤硅片表面。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆加工的高温氧化二氯乙烯清洗工艺


[0001]本专利技术涉及扩散炉管清洗领域，尤其涉及一种晶圆加工的高温氧化二氯乙烯清洗工艺。

技术介绍

[0002]扩散炉管高温氧化时，温度会达到1200～1325摄氏度，当前二氯乙烯使用的温度范围一般在1200摄氏度以下，当温度在1200摄氏度以上，尤其是在1300摄氏度以上时，在气体管路和瞬间开通时，二氯乙烯的蒸汽压变高，导致气体部分液化，分解为含有酸性成分的副产物，导致损伤硅片表面，形成腐蚀坑。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的问题，本专利技术旨在提供一种在扩散炉管高温氧化时，避免用二氯乙烯清洗对硅片表面伤害的清洗工艺，上述技术目的是通过以下技术方案实现的：一种晶圆加工的高温氧化二氯乙烯清洗工艺,包括利用二氯乙烯对扩散炉管进行清洗的步骤，其特征在于，还包括以下步骤：
[0004]S1：将扩散炉管升温到800摄氏度；
[0005]S2：稳定1～10分钟；
[0006]S3:开通氧气和氮气，稳定1～5分钟；关闭氮气，稳定1～5分钟；开通二氯乙烯，稳定1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工的高温氧化二氯乙烯清洗工艺,其特征在于，包括以下步骤：S1：将扩散炉管升温到800摄氏度；S2：稳定1～10分钟；S3：开通氧气和氮气，稳定1～5分钟；关闭氮气，稳定1～5分钟；开通二氯乙烯，稳定1～5分钟；S4：升温到950摄氏度，稳定10～30分钟；S5：关闭二氯乙烯，稳定1～5分钟；S6:升温到1200～1325摄氏度。2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工的高温氧化二氯乙烯清洗工艺，其特征在于：步骤S1中，从750摄氏度到800摄氏度，升温速率5～10摄氏度/分钟。3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工的高温氧化二氯乙烯清洗工艺，其特征在于：步骤S3中，通入的气体比为：...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵峰，
申请(专利权)人：联物科技实业无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：