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本发明公开了一种晶圆加工的高温氧化二氯乙烯清洗工艺，涉及扩散炉管清洗领域，包括以下步骤：将扩散炉管升温到800摄氏度；稳定1～10分钟；开通氧气和氮气，稳定1～5分钟；关闭氮气，稳定1～5分钟；开通二氯乙烯，稳定1～5分钟；升温到950摄氏...
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