一种非球面反射镜曲率半径检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于镜面检测技术领域，提供了一种CGH补偿器及基于该CGH补偿器的非球面反射镜曲率半径检测装置，对中心带有孔的非球面镜进行检测。通过获取待检镜面形误差及离焦量，根据离焦量计算得到待检镜的曲率半径误差，利用曲率误差公式对各个区域的测量值进行合成，得到曲率半径误差，得到待检镜的曲率半径。得到待检镜的曲率半径。得到待检镜的曲率半径。

【技术实现步骤摘要】
一种非球面反射镜曲率半径检测装置及方法


[0001]本专利技术属于镜面检测
，具体涉及一种CGH补偿器，利用CGH补偿器实现非球面反射镜曲率半径检测装置和方法。

技术介绍

[0002]曲率半径是光学元件的重要参数之一，其准确性影响着光学系统的性能。曲率半径的测量精度直接影响其他光学参数，进而影响光学系统的成像质量。因此，对光学元件曲率半径的高精度测量是极其重要的环节。但影响曲率半径测量精度的因素众多，因此高精度曲率半径测量一直是光学检测中的一个难题。
[0003]测量曲率半径的方法有很多，按照测量方式主要分为接触式测量和非接触式测量。接触式测量方法有样板法、牛顿环法、球径仪法、三坐标测量法、激光跟踪仪法等。接触式测量方法测量范围广泛，但是这些方法在测量过程中需要接触被测光学元件，易划伤被测表面，因此应用会受到一定的限制。非接触式测量主要有刀口阴影法、自准直显微镜法、激光干涉测量法、激光差动共焦法等方法。刀口阴影法测量方法简单，但在检测过程中对环境要求较高，要求检测环境振动较小且稍暗。自准直显微镜法根据自准直技术来测量曲率半径，但该本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CGH补偿器设计方法，其特征在于：S1、设计主区域，在光学设计软件中输入待检镜的参数，将所述环形主区域面形设置为泽尼克相位，通过改变泽尼克系数及距离参数，进行优化，使得波前为零；S2、设计对准区域，使得光线入射到所述对准区域上，被所述CGH补偿器反射回来，以此来判断所述干涉仪和所述CGH补偿器的位置关系，改变所述对准区域的泽尼克系数，优化使得波前为零；S3、设计猫眼区域，根据所述待检镜参数、所述环形主区域和所述对准区域的参数，进行双光路光线追迹，使通过所述环形猫眼区域的光线透射到所述待检镜上后，经位于光轴中心位置的所述中心猫眼区域对称返回，改变泽尼克系数，优化设计使得波前为零。2.根据权利要求1所述的CGH补偿器设计方法，其特征在于，所述对准区域位于外环带，用于对准所述CGH补偿器和所述干涉仪；所述猫眼区域位于内环带，分为环形猫眼区域和中心猫眼区域两部分，用于检测所述CGH补偿器与所述待检镜的距离偏差；所述环形主区域位于所述环形猫眼区域和所述中心猫眼区域之间，用于检测所述待检镜的面形误差及离焦量。3.一种非球面反射镜曲率半径检测装置，采用所述干涉仪对中心带孔的非球面待检镜进行检测，其特征在于，包括标准镜和如权利要求1或2设计的CGH补偿器。4.根据权利要求3所述的非球面反射镜曲率半径检测装置，其特征在于，所述标准镜放置在所述干涉仪和所述CGH补偿器之间，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡海翔，张鑫，程强，薛栋林，张学军，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
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