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本发明属于镜面检测技术领域,提供了一种CGH补偿器及基于该CGH补偿器的非球面反射镜曲率半径检测装置,对中心带有孔的非球面镜进行检测。通过获取待检镜面形误差及离焦量,根据离焦量计算得到待检镜的曲率半径误差,利用曲率误差公式对各个区域的测量值...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明属于镜面检测技术领域,提供了一种CGH补偿器及基于该CGH补偿器的非球面反射镜曲率半径检测装置,对中心带有孔的非球面镜进行检测。通过获取待检镜面形误差及离焦量,根据离焦量计算得到待检镜的曲率半径误差,利用曲率误差公式对各个区域的测量值...