一种改进的立式对边开方设备制造技术

本实用新型专利技术是关于晶棒切割技术领域，特别设计一种改进的立式对边开方设备。包括设于底架上的开方机构，开方机构包括开方机架，开方机架固设于前侧底架上，顶紧尾座设于底架上，用于支撑晶棒端面；顶紧头座与顶紧尾座相对设置设于开方机架上。切割机构包括水平固定板，固定板通过滑块与导轨相连，由气动气缸驱动能在开方机架上上下运动；固定板中间设有圆形开口用于穿出晶棒，下端面设有导轮机构。机械手通过横向移动装置设于底架后侧，机械手上设有晶向检测机构。本实用新型专利技术改进了切割机构，将单金刚线切割机构更改为环线切割，断线率低，结构简单稳定，加工效率高，断线后恢复快，降低作业人员的劳动强度。作业人员的劳动强度。作业人员的劳动强度。

【技术实现步骤摘要】
一种改进的立式对边开方设备


[0001]本技术是关于晶棒切割
，特别设计一种改进的立式对边开方设备。

技术介绍

[0002]中国专利文献中，公开号CN209533887U名称是晶棒单线开方机(参见该申请说明书具体实施方式部分)，公开了一种使用一根高速往复运转的金刚线，通过设备的收放线机构对晶棒进行切割，最终实现四面开方的一种晶棒单线开方机。
[0003]该晶棒单线开方机存在以下弊端：
[0004]1.使用一根高速往复运转的金刚长线，通过设备的排线机构对晶棒进行切割，金刚线需要经过线轮收放，还要按照一定间距进行排线，往返循环加工时还需要通过张力装置补偿金刚线延伸程度防止断线，排线机构复杂，容易断线，断线后对晶棒精度影响大，且断线后需人工重新走线，恢复时间长。
[0005]2.晶向检测装置安装在晶向检测区，包括晶向检测中转工作台、晶向检测气缸、晶棒测量装置、中转台竖直移动导轨。结构较为复杂，同时又占用了设备一部分场所，导致设备占地面积增大。晶棒加工前，需专门输送到晶棒检测区进行晶棒检测，再送往开方区进行加工，来回输送夹持，耗时久，加工效率较低。

技术实现思路

[0006]针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种改进的立式对边开方设备，能够提高设备加工效率，改良晶棒加工质量，减少设备占地面积，降低作业人员劳动强度。
[0007]为解决上述技术问题，本技术的解决方案是：
[0008]提供一种改进的立式对边开方设备，包括设于底架上的开方机构、机械手和晶向检测机构；<br/>[0009]开方机构包括开方机架，开方机架固设于前侧底架上，顶紧尾座设于底架上，用于支撑晶棒端面；顶紧头座与顶紧尾座相对设置设于开方机架上，由电机丝杆驱动在开方机架上上下移动；开方机架前侧设有竖向导轨，切割机构包括水平固定板，固定板通过滑块与导轨相连，由气动气缸驱动能在开方机架上上下运动；固定板中间设有圆形开口用于穿出晶棒，下端面设有导轮机构，导轮机构包括设于圆形开口周围四个方向的导轮；每个方向设有两只相对设置的导轮，所有导轮线槽均垂直于固定板板面，金刚线以此绕过所有导轮形成两组呈“井”字形的切割环线；固定板后侧还设有张力装置；
[0010]机械手包括机械爪，机械爪通过水平进给装置和竖直移动装置设于底座上，底座通过横向移动装置设于底架后侧，机械手上设有晶向检测机构；
[0011]晶向检测装置包括安装块，接触式传感器与弹簧机构相连并共同固定在安装块上，安装块固定在气缸上，气缸用于推动接触式传感器前后移动；安装块外部罩设有防护外罩，用于防止加工粉尘及水进入。
[0012]作为一种改进，底架上还设有储料台，储料台下方设有连杆机构，连杆机构固定在底架上并与气缸相连，通过气缸推动能将储料台从水平放置改为竖直放置。
[0013]作为一种改进，边皮夹持机构设于开方机架旁侧的底架上，包括边皮取料支撑架，边皮取料支撑架固定在底架上，边皮夹持装置通过边皮夹持进给装置和边皮夹持旋转装置固定在边皮取料支撑架上。
[0014]作为一种改进，水平进给装置包括设于底座上的丝杠、水平导轨和丝杠相连的电机，竖直移动装置包括电机和竖直导轨，横向移动装置包括电机和齿轮齿条。
[0015]作为一种改进，接触式传感器为滚珠式接触式传感器。
[0016]作为一种改进，张力装置为气缸。
[0017]作为一种改进，气动气缸为滑台气缸。强度更好，可有效抵挡，晶棒开方时的各种切割负载。
[0018]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0019]本技术改进了切割机构，将单金刚线切割机构更改为环线切割，断线率低，结构简单稳定，加工效率高，断线后恢复快，降低作业人员的劳动强度。改进后的切割机构无需进行收放线，结构精简，所占空间小，可有效降低设备占地面积和成本。晶向检测机构固定在机械手上，直接在加工处进行测量，省去了检测前后的搬运时间，提高了加工效率，减少了加工误差。改进后的张力装置，结构更加简单，控制容易，生产成本更低。
附图说明
[0020]图1为本技术的结构示意图。
[0021]图2为本技术的机械手结构示意图。
[0022]图3为本技术的晶向检测机构示意图。
[0023]图4为本技术的切割机构示意图。
[0024]图5为本技术的边皮夹持机构示意图。
[0025]图中的附图标记为：100
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机械手；200
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晶向检测机构；300
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开方机构；400
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底架； 500
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边皮夹持机构；600
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储料机构；700
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切割机构；101
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竖直移动电机；102
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竖直导轨；103
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进给电机；104
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进给导轨；105
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进给丝杆；106
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机械手横向移动装置；107
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机械手爪；201
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安装块；202
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接触式传感器；203
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弹簧机构；204
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气缸；205
‑
防护外罩；501
‑ꢀ
边皮夹持装置；502
‑
张闭装置；503
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进给装置；504
‑
提升装置；505
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旋转装置；701
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固定板；702
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驱动电机；703
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张力装置；704
‑
导轮机构。
具体实施方式
[0026]下面结合附图与具体实施方式对本技术作进一步详细描述：
[0027]如图1所示的一种改进的立式对边开方设备包括机械手100、晶向检测机构200、开方机构300、底架400、边皮夹持机构500、储料机构600。
[0028]开方机构300包括开方机架，开方机架固设于前侧底架400上，顶紧尾座设于底架 400上，用于支撑晶棒端面。顶紧头座与顶紧尾座相对设置设于开方机架上，由电机丝杆驱动在开方机架上上下移动；开方机架前侧设有竖向导轨，如图4所示切割机构700 包括：固定板701，安装在开方机架上。驱动电机702安装在固定板701上，用于带动切割线运动。张力
装置703安装在固定板701另一面，用于对切割线施加张力。导轮机构704安装在固定板701上，用于固定切割线。导轮机构704包括设于圆形开口周围四个方向的导轮。每个方向设有两只相对设置的导轮，所有导轮线槽均垂直于固定板701 板面，金刚线以此绕过所有导轮形成两组呈“井”字形的切割环线。
[0029]机械手通过水平进给装置和竖直移动装置设于底座上，底座通过横向移动装置106 底架400后侧，机械手100上设有晶向检测机构。如图2所示机械手本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改进的立式对边开方设备，包括设于底架上的开方机构、机械手和晶向检测机构；其特征在于，所述开方机构包括开方机架，所述开方机架固设于前侧底架上，顶紧尾座设于底架上，用于支撑晶棒端面；顶紧头座与顶紧尾座相对设置设于开方机架上，由电机丝杆驱动在开方机架上上下移动；开方机架前侧设有竖向导轨；切割机构包括水平固定板，固定板通过滑块与所述导轨相连，由气动气缸驱动能在开方机架上上下运动；固定板中间设有圆形开口用于穿出晶棒，下端面设有导轮机构，导轮机构包括设于圆形开口周围四个方向的导轮；每个方向设有两只相对设置的导轮，所有导轮线槽均垂直于固定板板面，金刚线以此绕过所有导轮形成两组呈“井”字形的切割环线；固定板后侧还设有张力装置；所述机械手包括机械爪，机械爪通过水平进给装置和竖直移动装置设于底座上，底座通过横向移动装置设于底架后侧，机械手上设有晶向检测机构；所述晶向检测机构包括安装块，接触式传感器与弹簧机构相连并共同固定在安装块上，安装块固定在气缸上，气缸用于推动接触式传感器前后移动；安装块外部罩设有防护外罩，用于防止...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，卢嘉彬，周锋，王思宇，高红刚，罗叶枫，徐开涛，曹建伟，傅林坚，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：