一种基于微波谐振腔的大气压低温等离子体射流诊断装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种基于微波谐振腔的大气压低温等离子体射流诊断装置，属于等离子体和微波技术领域。解决了测量大气压等离子体射流的电子密度的问题。它包括所述谐振腔放置在试验台上，所述谐振腔内部由金属铜箔全面覆盖，所述谐振腔上开设有放置孔，所述放置孔内放置射流放电玻璃管，所述射流放电玻璃管内设置射流等离子体并连接电极，所述第一探测天线和第二探测天线对称设置在谐振腔的腔体内，所述第一探测天线和第二探测天线分别连接频谱分析仪的输入端和输出端。它主要用于具有较低电子密度的低温常压等离子体。

【技术实现步骤摘要】
一种基于微波谐振腔的大气压低温等离子体射流诊断装置
本专利技术属于等离子体和微波
，特别是涉及一种基于微波谐振腔的大气压低温等离子体射流诊断装置。
技术介绍
等离子体的电子密度是等离子体最重要的特征之一，对于大气压下的低温等离子体来说，等离子体的电子密度可以非常低(约为1012-1013cm-3)。测量电子密度的方法多种多样。然而，目前可用的方法要么灵敏度不够，要么不允许跟踪非平稳放电中的动态过程。利用电磁波与等离子体的相互作用的方法可以测量等离子体电子密度。目前，利用不同频段的无线电波探测技术对电离层和不同类型的气体放电等离子体已有大量的研究，然而，用这种方法研究低温大气压等离子体的研究还很少，这意味着需要开发用于诊断低温等离子体的新方法。
技术实现思路
本专利技术为了解决现有技术中的问题，提出一种基于微波谐振腔的大气压低温等离子体射流诊断装置。为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种基于微波谐振腔的大气压低温等离子体射流诊断装置，它包括第一探测天线、第二探测天线、谐振腔、放置孔、频谱分析仪、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于微波谐振腔的大气压低温等离子体射流诊断装置，其特征在于：它包括第一探测天线(1)、第二探测天线(2)、谐振腔(3)、放置孔(4)、频谱分析仪(6)、试验台(7)和射流放电玻璃管，所述谐振腔(3)放置在试验台(7)上，所述谐振腔(3)内部由金属铜箔全面覆盖，所述谐振腔(3)上开设有放置孔(4)，所述放置孔(4)内放置射流放电玻璃管，所述射流放电玻璃管内设置射流等离子体并连接电极，所述第一探测天线(1)和第二探测天线(2)对称设置在谐振腔(3)的腔体内，所述第一探测天线(1)和第二探测天线(2)分别连接频谱分析仪(6)的输入端和输出端。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于微波谐振腔的大气压低温等离子体射流诊断装置，其特征在于：它包括第一探测天线(1)、第二探测天线(2)、谐振腔(3)、放置孔(4)、频谱分析仪(6)、试验台(7)和射流放电玻璃管，所述谐振腔(3)放置在试验台(7)上，所述谐振腔(3)内部由金属铜箔全面覆盖，所述谐振腔(3)上开设有放置孔(4)，所述放置孔(4)内放置射流放电玻璃管，所述射流放电玻璃管内设置射流等离子体并连接电极，所述第一探测天线(1)和第二探测天线(2)对称设置在谐振腔(3)的腔体内，所述第一探测天线(1)和第二探测天线(2)分别连接频谱分析仪(6)的输入端和输出端。


2.根据权利要求1所述的一种基于微波谐振腔的大气压低温等离子体射流诊断装置，其特征在于：所述放置孔(4)数量为两个，两个放置孔(4)对称开设在谐振腔(3)上。


3.根据权利要求1所述的一种基于微波谐振腔的大气压低温等离子体射流诊断装置，其特征在于：所述谐振腔(3)为圆柱形结构并通过支架固定。


4.根据权利要求3所述的一种基于微波谐振腔的大气压低温等离子体射流诊断装置，其特征在于：所述谐振腔(3)直径为152mm，...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁承勋，李金明，姚静锋，周忠祥，王晓鸥，阿斯塔菲耶夫·阿勒科山德，库德里亚夫谢夫·安纳托利，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23