【技术实现步骤摘要】
一种芯片集成电路封装及其制造方法
本专利技术涉及半导体封装
,具体涉及一种芯片集成电路封装及其制造方法。
技术介绍
COB结构或引线框结构是半导体封装领域所常用的结构,其通过将芯片固定于电路板或引线框上并进行电连接,实现芯片的电路板或引线框上集成,该种结构是不利于薄型化和轻量化的,同时也不便于制造折弯型的封装结构。对于芯片集成电路封装而言,由于芯片尤其是功率芯片在其工作时,会产生大量的热辐射,其热阻系数较高,不利于散热。现有技术中,有利用金属镀层作为外部连接端而将芯片直接塑封,此时可以实现薄型化,但是金属镀层与塑封层的粘合力不够,且会造成污染。
技术实现思路
基于解决上述问题,本专利技术提供了一种芯片集成电路封装的制造方法,其包括以下步骤:(1)提供第一模具,所述第一模具具有一空腔,所述空腔包括水平的底壁和两个相对且竖直的侧壁,所述底壁与所述侧壁倒角连接;(2)在所述底壁和侧壁上涂覆可激光活化有机物形成一有机物层,所述有机物层包括水平的第一部分、竖直的第二部分和第三部分以及连接所述第一部分和第二部分的第一曲面连接部、连接所述第一部分和第二部分的第二曲面连接部;(3)在所述第一至第三部分上分别固定第一芯片、第二芯片和第三芯片,并形成多个第一键合线、多个第二键合线和多个第三键合线,所述第一至第三键合线的一端分别键合至所述第一至第三芯片上,所述第一至第三键合线的另一端键合至所述有机物层上;(4)提供第二模具,并使得第二模具与第一模具之间形成塑封腔,所述塑封腔容纳所述 ...
【技术保护点】
1.一种芯片集成电路封装的制造方法,其包括以下步骤:/n(1)提供第一模具,所述第一模具具有一空腔,所述空腔包括水平的底壁和两个相对且竖直的侧壁,所述底壁与所述侧壁倒角连接;/n(2)在所述底壁和侧壁上涂覆可激光活化有机物形成一有机物层,所述有机物层包括水平的第一部分、竖直的第二部分和第三部分以及连接所述第一部分和第二部分的第一曲面连接部、连接所述第一部分和第三部分的第二曲面连接部;/n(3)在所述第一至第三部分上分别固定第一芯片、第二芯片和第三芯片,并形成多个第一键合线、多个第二键合线和多个第三键合线,所述第一至第三键合线的一端分别键合至所述第一至第三芯片上,所述第一至第三键合线的另一端键合至所述有机物层上;/n(4)提供第二模具,并使得第二模具与第一模具之间形成塑封腔,所述塑封腔容纳所述第一至第三芯片以及所述有机物层;/n(5)在所述塑封腔内注塑形成塑封层并进行固化,所述塑封层密封所述第一至第三芯片以及第一至第三键合线;/n(6)移除所述第一和第二模具以露出所述有机物层,利用激光照射所述第一至第三键合线的第二端位置处的所述有机物层,使得所述有机物层的可激光活化有机物被活化为金属材料 ...
【技术特征摘要】
1.一种芯片集成电路封装的制造方法,其包括以下步骤:
(1)提供第一模具,所述第一模具具有一空腔,所述空腔包括水平的底壁和两个相对且竖直的侧壁,所述底壁与所述侧壁倒角连接;
(2)在所述底壁和侧壁上涂覆可激光活化有机物形成一有机物层,所述有机物层包括水平的第一部分、竖直的第二部分和第三部分以及连接所述第一部分和第二部分的第一曲面连接部、连接所述第一部分和第三部分的第二曲面连接部;
(3)在所述第一至第三部分上分别固定第一芯片、第二芯片和第三芯片,并形成多个第一键合线、多个第二键合线和多个第三键合线,所述第一至第三键合线的一端分别键合至所述第一至第三芯片上,所述第一至第三键合线的另一端键合至所述有机物层上;
(4)提供第二模具,并使得第二模具与第一模具之间形成塑封腔,所述塑封腔容纳所述第一至第三芯片以及所述有机物层;
(5)在所述塑封腔内注塑形成塑封层并进行固化,所述塑封层密封所述第一至第三芯片以及第一至第三键合线;
(6)移除所述第一和第二模具以露出所述有机物层,利用激光照射所述第一至第三键合线的第二端位置处的所述有机物层,使得所述有机物层的可激光活化有机物被活化为金属材料,以形成多个分别电连接至所述第一至第三键合线的第一焊盘、第二焊盘和第三焊盘;
(7)利用所述激光继续照射所述有机物层,以在所述有机物层的所述第一曲面连接部上形成电连接所述第一焊盘和第二焊盘的第一导线,在所述有机物层的所述第二曲面连接部上形成电连接所述第一焊盘和第三焊盘的第二导线。
2.根据权利要求1所述的芯片集成电路封装的制造方法,其特征在于:所述可激光活化有机物包括基体材料和金属络合物材料,所述基体材料与所述塑封层的材料相同。
3.根据权利要求2所述的芯片集成电路封装的制造方法,其特征在于:所述金属络合物材料可以是具有可活化金属材料的改性的聚丙烯(PPMID)或改性的聚对苯二甲酸丁二酯(PBTMID),其可以是铜的络合物。
4.一种芯片集成电路封装,其由权...
【专利技术属性】
技术研发人员:侯新飞,崔文杰,
申请(专利权)人:济南南知信息科技有限公司,
类型:发明
国别省市:山东;37
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