图像处理方法、装置、光学系统和计算机可读存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种图像处理方法、装置、光学系统和计算机可读存储介质。图像处理方法，包括：获取旋转扫描所得到的待测物的内圈部和外圈部的矩形图参数；根据内圈部和外圈部的矩形图参数对多个内圈部的矩形图和多个外圈部的矩形图进行预处理以形成待测物的矩形图；根据待测物的矩形图初始化目标饼图参数；确定目标饼图与待测物的矩形图的像素映射关系并根据像素映射关系和待测物的矩形图的像素值确定目标饼图的像素值。上述图像处理方法，通过对旋转扫描所得的待测物内圈部和外圈部的矩形图进行预处理而得到待测物的矩形图，进而获取像素映射关系和确定目标饼图的像素值，这样可以复原出待测物的饼图。

【技术实现步骤摘要】
图像处理方法、装置、光学系统和计算机可读存储介质
本专利技术涉及图像处理
，特别涉及一种图像处理方法、装置、光学系统和计算机可读存储介质。
技术介绍
目前对于晶圆（wafer）缺陷质量检测，通过相机拍摄晶圆的图像再对图像进行检测。在拍摄晶圆图像时，相机和晶圆做相对旋转运动，使相机能够完成对整个晶圆的扫描。然而，由相机拍摄出来的原始图是矩形的，需要复原成饼图才能形成整个晶圆的图像。
技术实现思路
本专利技术的实施方式提供了一种图像处理方法、装置、光学系统和计算机可读存储介质。本专利技术实施方式提供的一种图像处理方法，包括：获取旋转扫描所得到的待测物的内圈部和外圈部的矩形图参数；根据所述内圈部和所述外圈部的矩形图参数对多个所述内圈部的矩形图和多个所述外圈部的矩形图进行预处理以形成所述待测物的矩形图；根据所述待测物的矩形图初始化目标饼图参数；确定所述目标饼图与所述待测物的矩形图的像素映射关系并根据所述像素映射关系和所述待测物的矩形图的像素值确定所述目标饼图的像素值。在某些实施方式中，所述内圈部的矩形图和所述外圈部的矩形图分别由两个线阵相机拍摄所得的，所述两个线阵相机沿所述待测物的径向方向排列。在某些实施方式中，所述内圈部和所述外圈部的矩形图参数包括所述内圈部的矩形图的冗余宽度、内外圈重叠宽度、所述待测物一圈的行数，以及，所述内圈部和/或所述外圈部的矩形图搬移行数。在某些实施方式中，所述预处理包括：根据所述待测物一圈的行数，裁剪所述内圈部的矩形图和所述外圈部的矩形图中的多余行数；根据所述内圈部的矩形图的冗余宽度裁剪所述内圈部的矩形图的冗余部位；根据所述内外圈重叠宽度裁剪所述内圈部的矩形图和/或所述外圈部的矩形图；根据所述内圈部和/或所述外圈部的矩形图搬移行数对裁剪所得的多个所述外圈部的矩形图和多个所述内圈部的矩形图进行拼接处理以获取所述待测物的矩形图。在某些实施方式中，所述目标饼图的参数包括所述目标饼图的半径和空间矩阵，根据所述待测物的矩形图初始化目标饼图参数，包括：使所述目标饼图的半径等于所述待测物的矩形图的宽度；初始化所述空间矩阵，所述空间矩阵为2R*2R的矩阵，R表示所述目标饼图的半径。在某些实施方式中，确定所述目标饼图与所述待测物的矩形图的像素映射关系，包括：提取所述目标饼图的空间矩阵中距所述空间矩阵中心点小于或等于所述目标饼图的半径的所有点；对提取到的所有点通过预设函数映射回所述待测物的矩形图对应的位置以确定所述像素映射关系。在某些实施方式中，所述预设函数包括所述目标饼图的像素点坐标与所述待测物的矩形图的像素点坐标的转换关系。本专利技术实施方式提供的一种图像处理装置，包括：获取单元，用于获取旋转扫描所得到的待测物的内圈部和外圈部的矩形图参数；预处理单元，用于根据所述内圈部和所述外圈部的矩形图参数对多个所述内圈部的矩形图和多个所述外圈部的矩形图进行预处理以形成所述待测物的矩形图；初始化单元，用于根据所述待测物的矩形图初始化目标饼图参数；确定单元，用于确定所述目标饼图与所述待测物的矩形图的像素映射关系并根据所述像素映射关系和所述待测物的矩形图的像素值确定所述目标饼图的像素值。在某些实施方式中，所述内圈部的矩形图和所述外圈部的矩形图分别由两个线阵相机拍摄所得的，所述两个线阵相机沿所述待测物的径向方向排列。在某些实施方式中，所述内圈部和所述外圈部的矩形图参数包括所述内圈部的矩形图的冗余宽度、内外圈重叠宽度、所述待测物一圈的行数，以及，所述内圈部和/或所述外圈部的矩形图搬移行数。在某些实施方式中，所述预处理单元包括：第一裁剪子单元，用于根据所述待测物一圈的行数，裁剪所述内圈部的矩形图和所述外圈部的矩形图中的多余行数；第二裁剪子单元，用于根据所述内圈部的矩形图的冗余宽度裁剪所述内圈部的矩形图的冗余部位；第三裁剪子单元，用于根据所述内外圈重叠宽度裁剪所述内圈部的矩形图和/或所述外圈部的矩形图；处理子单元，用于根据所述内圈部和/或所述外圈部的矩形图搬移行数对裁剪所得的多个所述外圈部的矩形图和多个所述内圈部的矩形图进行拼接处理以获取所述待测物的矩形图。在某些实施方式中，所述目标饼图的参数包括所述目标饼图的半径和空间矩阵，所述初始化单元，用于：使所述目标饼图的半径等于所述待测物的矩形图的宽度；初始化所述空间矩阵，所述空间矩阵为2R*2R的矩阵，R表示所述目标饼图的半径。在某些实施方式中，所述确定单元，包括：提取子单元，用于提取所述目标饼图的空间矩阵中距所述空间矩阵中心点小于或等于所述目标饼图的半径的所有点；映射子单元，用于对提取到的所有点通过预设函数映射回所述待测物的矩形图对应的位置以确定所述像素映射关系。在某些实施方式中，所述预设函数包括所述目标饼图的像素点坐标与所述待测物的矩形图的像素点坐标的转换关系。本专利技术实施方式提供的一种图像处理装置，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述任一实施方式的图像处理方法的步骤。本专利技术实施方式提供的一种光学系统，包括上述任一实施方式的图像处理装置。本专利技术实施方式提供的一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述任一实施方式的图像处理方法的步骤。上述图像处理方法、装置、光学系统和计算机可读存储介质，通过对旋转扫描所得的待测物内圈部和外圈部的矩形图进行预处理而得到待测物的矩形图，进而获取像素映射关系和确定目标饼图的像素值，这样可以复原出待测物的饼图，可以直观地观测整个待测物的质量及标注识别的缺陷。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是本专利技术实施方式的图像处理方法的流程示意图；图2是本专利技术实施方式的检测设备的结构示意图；图3是本专利技术实施方式的检测设备的另一结构示意图；图4是本专利技术实施方式的待测物的内圈部的矩形图；图5是本专利技术实施方式的待测物的外圈部的矩形图；图6（a）是本专利技术实施方式的待测物的目标饼图的示意图；图6（b）是本专利技术实施方式的待测物的矩形图的示意图；图7是本专利技术实施方式的图像处理装置的模块示意图；图8是本专利技术实施方式的图像处理装置的另一模块示意图；图9是本专利技术实施方式的图像处理装置的又一模块示意图；图10是本专利技术实施方式的图像处理装置的再一模块示意图。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图像处理方法，其特征在于，包括：/n获取旋转扫描所得到的待测物的内圈部和外圈部的矩形图参数；/n根据所述内圈部和所述外圈部的矩形图参数对多个所述内圈部的矩形图和多个所述外圈部的矩形图进行预处理以形成所述待测物的矩形图；/n根据所述待测物的矩形图初始化目标饼图参数；/n确定所述目标饼图与所述待测物的矩形图的像素映射关系并根据所述像素映射关系和所述待测物的矩形图的像素值确定所述目标饼图的像素值。/n

【技术特征摘要】
1.一种图像处理方法，其特征在于，包括：
获取旋转扫描所得到的待测物的内圈部和外圈部的矩形图参数；
根据所述内圈部和所述外圈部的矩形图参数对多个所述内圈部的矩形图和多个所述外圈部的矩形图进行预处理以形成所述待测物的矩形图；
根据所述待测物的矩形图初始化目标饼图参数；
确定所述目标饼图与所述待测物的矩形图的像素映射关系并根据所述像素映射关系和所述待测物的矩形图的像素值确定所述目标饼图的像素值。


2.根据权利要求1所述的图像处理方法，其特征在于，所述内圈部的矩形图和所述外圈部的矩形图分别由两个线阵相机拍摄所得的，所述两个线阵相机沿所述待测物的径向方向排列。


3.根据权利要求1所述的图像处理方法，其特征在于，所述内圈部和所述外圈部的矩形图参数包括所述内圈部的矩形图的冗余宽度、内外圈重叠宽度、所述待测物一圈的行数，以及，所述内圈部和/或所述外圈部的矩形图搬移行数。


4.根据权利要求3所述的图像处理方法，其特征在于，所述预处理包括：
根据所述待测物一圈的行数，裁剪所述内圈部的矩形图和所述外圈部的矩形图中的多余行数；
根据所述内圈部的矩形图的冗余宽度裁剪所述内圈部的矩形图的冗余部位；
根据所述内外圈重叠宽度裁剪所述内圈部的矩形图和/或所述外圈部的矩形图；
根据所述内圈部和/或所述外圈部的矩形图搬移行数对裁剪所得的多个所述外圈部的矩形图和多个所述内圈部的矩形图进行拼接处理以获取所述待测物的矩形图。


5.根据权利要求1-4任一项所述的图像处理方法，其特征在于，所述目标饼图的参数包括所述目标饼图的半径和空间矩阵，
根据所述待测物的矩形图初始化目标饼图参数，包括：
使所述目标饼图的半径等于所述待测物的矩形图的宽度；
初始化所述空间矩阵，所述空间矩阵为2R*2R的矩阵，R表示所述目标饼图的半径。


6.根据权利要求5所述的图像处理方法，其特征在于，确定所述目标饼图与所述待测物的矩形图的像素映射关系，包括：
提取所述目标饼图的空间矩阵中距所述空间矩阵中心点小于或等于所述目标饼图的半径的所有点；
对提取到的所有点通过预设函数映射回所述待测物的矩形图对应的位置以确定所述像素映射关系。


7.根据权利要求6所述的图像处理方法，其特征在于，所述预设函数包括所述目标饼图的像素点坐标与所述待测物的矩形图的像素点坐标的转换关系。


8.一种图像处理装置，其特征在于，包括：
获取单元，用于获取旋转扫描所得到的待测物的内圈部和外圈部的矩形图参数；
预处理单元，用于根据所述内圈部和所述外圈部的矩形图参数对多个所述内圈部的矩形图和多个所述外圈部的矩形图进行预处理以形成所述待测物的矩形图；
初始化单元，用于根据所述待测物...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，夏爱华，左天成，刘健鹏，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44