一种利用飞秒激光直写技术制备任意占空比振幅光栅装置制造方法及图纸

一种利用飞秒激光直写技术制备任意占空比振幅光栅装置，该装置包括高功率光子晶体光纤飞秒激光系统、第一准直光阑、第二准直光阑、半波片、偏振分光棱镜、电子光学快门、第一计算机、第一反射镜、第一凸透镜、第二凸透镜、第二反射镜、双色镜、显微物镜、附有金属膜的玻璃基片、三维精密移动平台、照明光源、半透半反镜、CCD相机、第二计算机、氦氖激光光源。本装置利用LabvIEW软件对三维精密移动平台和电子光学快门联动控制及通过调节离焦距离精确控制烧蚀金属膜光斑直径大小，实现了任意占空比平面振幅光栅的制备。本实用新型专利技术具有成本低廉、易于操作、自动化程度高等优势，在利用飞秒激光制备振幅光栅方面具有良好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种利用飞秒激光直写技术制备任意占空比振幅光栅装置
本技术属于振幅光栅的制作
，特别是一种利用飞秒激光直写技术制备任意占空比振幅光栅装置。
技术介绍
振幅光栅作为一种常用的基本衍射光学元件，由大量等宽、等间距的狭缝排列而成，能对入射光的振幅产生空间调制，在光学测量、光学信息处理、光学传感、光通信等诸多领域有着重要的应用。光栅占空比是振幅光栅的基本参数之一，会直接影响光栅的衍射效率、光栅阵列照明的实现。振幅光栅一般采用机械刻划法、光束干涉曝光法、掩模光刻法、电子束或飞秒激光直写法制备。机械刻划法设备昂贵、对温度、隔振等环境要求极高；光束干涉曝光法光栅周期性结构受限于光波波长；掩模光刻法需提前制作高精度母版，同时还存在加工环节多、周期长、成本高且对准精度难以控制、制备光栅周期和占空比受掩模母版限制等；电子束直写技术所需设备复杂、要求真空环境、基片需经过特殊处理；飞秒激光直写技术通过聚焦激光束于样品表面，样品以一定速度按照预定轨迹移动，直接刻划样品产生微结构图样。目前，在飞秒激光直写技术中大多使用的光源都是具有放大系统的钛宝石飞秒激光系统产生的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种利用飞秒激光直写技术制备任意占空比振幅光栅装置，包括高功率光子晶体光纤飞秒激光系统、第一准直光阑、第二准直光阑、半波片、偏振分光棱镜、电子光学快门、第一计算机、第一反射镜、第一凸透镜、第二凸透镜、第二反射镜、双色镜、显微物镜、附有金属膜的玻璃基片、三维精密移动平台、照明光源、半透半反镜、CCD相机、第二计算机、氦氖激光光源；其特征在于高功率光子晶体光纤飞秒激光系统位于第一准直光阑之前，第一准直光阑之后顺序放置第二准直光阑、半波片、偏振分光棱镜、电子光学快门、第一反射镜、第一凸透镜、第二凸透镜、第二反射镜、双色镜，电子光学快门与第一计算机相连接，第一反射镜、第二反射镜和双色镜与光路成45...

【技术特征摘要】
1.一种利用飞秒激光直写技术制备任意占空比振幅光栅装置，包括高功率光子晶体光纤飞秒激光系统、第一准直光阑、第二准直光阑、半波片、偏振分光棱镜、电子光学快门、第一计算机、第一反射镜、第一凸透镜、第二凸透镜、第二反射镜、双色镜、显微物镜、附有金属膜的玻璃基片、三维精密移动平台、照明光源、半透半反镜、CCD相机、第二计算机、氦氖激光光源；其特征在于高功率光子晶体光纤飞秒激光系统位于第一准直光阑之前，第一准直光阑之后顺序放置第二准直光阑、半波片、偏振分光棱镜、电子光学快门、第一反射镜、第一凸透镜、第二凸透镜、第二反射镜、双色镜，电子光学快门与第一计算机相连接，第一反射镜、第二反射镜和双色镜与光路成45°角放置，第一凸透镜的后焦点与第二凸透镜的前焦点重合，构成光束扩束系统；飞秒激光经双色镜反射后又经显微物镜聚焦于附有金属膜的玻璃基片表面上，附有金属膜的玻璃基片固定在三维精密移动平台上，三维精密移动平台与第一计算机相连接，照明光源照射附有金属膜的玻璃基片；双色镜的透射侧依次放置半透半反镜和CCD相机，半透半反镜与光路成45°角放置，半透半反镜的反射侧放置氦氖激光光源；CCD相机与第二计算机相连。


2.如权利要求1所述的一种利用飞秒激光直写技术制备任意占空比振幅光栅装置，其特征在于所述的高功率光子晶体光纤飞秒激光系统是由振荡级、放大级组成中心波长为1040nm的高功率高重复频率掺镱大模面积光子晶体光纤飞秒激光系统。...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，
申请(专利权)人：山东交通学院，
类型：新型
国别省市：山东;37