一种电子元件晶元制备加工系统技术方案

本发明专利技术提供了一种电子元件晶元制备加工系统，包括支撑架、清洗池、清洗机构以及干燥取出机构。可以解决电子元件晶元制备过程中所存在的以下难题：a.电子元件晶元长时间放置时，其表面会沾染需要灰尘和各种细小的脏物，因此在实际使用时都要提前对晶元进行清洗，确保晶元表面无灰尘和脏物，传统的清洗方式大多通过清洗箱批量化清洗，这种方式存在表面清洗不干净，晶元之间存在碰撞现象，容易对晶元表面划伤；b.目前现有的清洁装置针对单个晶元清洗时，往往对晶元进行夹持固定，然后对表面进行刷洗，存在夹持部位无法清洗，同时夹持时会对晶元表面有所损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种电子元件晶元制备加工系统
本专利技术涉及电子元件
，具体涉及一种电子元件晶元制备加工系统。
技术介绍
晶元是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元。晶元是最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格，近来发展出12英寸甚至研发更大规格(14英吋、15英吋、16英吋、……20英吋以上等)。晶元越大，同一圆片上可生产的IC就越多，可降低成本；但要求材料技术和生产技术更高。目前，电子元件晶元制备过程中所存在的以下难题：a.电子元件晶元长时间放置时，其表面会沾染需要灰尘和各种细小的脏物，因此在实际使用时都要提前对晶元进行清洗，确保晶元表面无灰尘和脏物，传统的清洗方式大多通过清洗箱批量化清洗，这种方式存在表面清洗不干净，晶元之间存在碰撞现象，容易对晶元表面划伤；b.目前现有的清洁装置针对单个晶元清洗时，往往对晶元进行夹持固定，然后对表面进行刷洗，存在夹持部位无法清洗，同时夹持时会对晶元表面有所损伤。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术提供了一种电子元件晶元制备加工系统，可以解决电子元件晶元制备过程中所存在的以下难题：a.电子元件晶元长时间放置时，其表面会沾染需要灰尘和各种细小的脏物，因此在实际使用时都要提前对晶元进行清洗，确保晶元表面无灰尘和脏物，传统的清洗方式大多通过清洗箱批量化清洗，这种方式存在表面清洗不干净，晶元之间存在碰撞现象，容易对晶元表面划伤；b.目前现有的清洁装置针对单个晶元清洗时，往往对晶元进行夹持固定，然后对表面进行刷洗，存在夹持部位无法清洗，同时夹持时会对晶元表面有所损伤。(二)技术方案为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种电子元件晶元制备加工系统，包括支撑架、清洗池、清洗机构以及干燥取出机构，所述的清洗池固定安装在支撑架底部，所述清洗池中盛放有清洗液，所述清洗池上方设置有清洗机构，所述清洗池上方设置有干燥取出机构，所述清洗机构与干燥取出机构相连接，所述干燥取出机构固定安装在支撑架的顶部和中部；其中：所述的清洗机构包括清洗框、滑动槽、滑动块、辅助杆、清洗支链、海绵碗、环形架、支撑块、支撑杆以及转动轴，所述清洗框整体为上下开口的空心壳体结构，所述清洗框左右侧壁开设有对称的滑动槽，所述滑动槽内上下滑动设置有滑动块，所述滑动块远离清洗框的端面固定安装有辅助杆，所述辅助杆与清洗支链相连接，所述清洗支链安装在清洗框后端面，所述清洗框内部设置有环形架，所述环形架为半圆形碗状结构，所述环形架内壁上设置有海绵碗，所述海绵碗为海绵材料制作，所述环形架下方设置有支撑块，所述支撑块为环形结构，所述环形架下端与支撑块上端面滑动配合，所述支撑块通过支撑杆固定安装在清洗框内壁上，所述环形架上端前后壁上对称固定有转动轴，所述转动轴通过轴承固定在清洗框内壁上，所述滑动块位于清洗框内部的端面上开设有平面齿条，所述环形架外壁上开设有与滑动块的平面齿条相配合的环形齿条。所述的干燥取出机构包括烘干箱、吹风孔、风箱、阻风棉、连接管、热风机、升降支链、驱动支链、吸附组件、安装箱、升降丝杆、转动块、固定环、限位块以及固定块，所述清洗框上方设置有烘干箱，所述烘干箱整体为上下开口的空心壳体结构，所述烘干箱外侧壁上均匀开设有若干吹风孔，所述烘干箱外壁固定有风箱，所述风箱为内部空心的壳体结构，所述风箱上端连通有连接管，所述连接管另一端连通在热风机上，所述热风机安装在风箱外侧壁上，所述风箱通过固定块固定焊接在支撑架上，所述固定块下端面设置有升降支链，所述烘干箱上端口设置有多个阻风棉，多个所述阻风棉将烘干箱上端口封闭住，所述烘干箱上方设置有安装箱，所述安装箱固定焊接在支撑架上，所述安装箱为空心壳体结构，所述安装箱上下端开设有圆孔，所述安装箱通过圆孔滑动安装有足够长的升降丝杆，所述升降丝杆上端固定有限位块，所述升降丝杆下端连接有吸附组件，所述升降丝杆外侧壁上设置有外螺纹，所述升降丝杆通过螺纹配合方式套设有转动块，所述转动块设置在安装箱内部，所述转动块下端面转动安装有固定环，所述固定环固定安装在安装箱内部下端面，所述转动块外侧壁上开设有齿条，所述转动块通过齿条与驱动支链相连接。所述的清洗支链包括转动条、调节槽、连接杆、移动块、移动槽以及清洗气缸，所述清洗框后端面上设置有转动条，所述转动条中部通过销轴固定在清洗框上，所述转动条通过销轴转动，所述转动条两端开设有对称的调节槽，所述辅助杆另一端滑动设置在转动条的调节槽中，所述转动条上端面沿其中部左右对称设置有连接杆，所述连接杆下端通过球铰链转动安装在转动条上，所述连接杆上端通过球铰链转动安装在移动块下端面，所述清洗框后端面开设有水平的移动槽，所述移动块在移动槽内水平滑动，所述移动块一侧与清洗气缸输出端相连接，所述清洗气缸通过气缸座安装在清洗框后端面。优选的，所述的升降支链包括滑动杆、固定板以及升降气缸，所述固定块下端面固定焊接有滑动杆，所述清洗框上端外侧壁上固定焊接有固定板，所述固定板滑动套设在滑动杆上，所述固定板上端面左右对称固定连接有升降气缸输出端，所述升降气缸通过气缸座安装在风箱外壁上。优选的，所述的驱动支链包括驱动电机、驱动轴和驱动齿轮，所述转动块通过齿条与驱动齿轮外啮合连接，所述驱动齿轮固定套设在驱动轴上，所述驱动轴下端通过轴承固定在安装箱内部下端面，所述驱动轴上端通过联轴器与驱动电机输出端相连接，所述驱动电机通过电机座安装在安装箱内部上端面。优选的，所述的吸附组件包括安装座和电动吸盘，所述升降丝杆下端固定安装有安装座，所述安装座下端安装有电动吸盘。优选的，所述的滑动块前后壁上对称设置有燕尾块，所述滑动槽侧壁上开设有与燕尾块相滑动配合的燕尾槽。(三)有益效果1.本专利技术提供了一种电子元件晶元制备加工系统，可以解决电子元件晶元制备过程中所存在的以下难题：a.电子元件晶元长时间放置时，其表面会沾染需要灰尘和各种细小的脏物，因此在实际使用时都要提前对晶元进行清洗，确保晶元表面无灰尘和脏物，传统的清洗方式大多通过清洗箱批量化清洗，这种方式存在表面清洗不干净，晶元之间存在碰撞现象，容易对晶元表面划伤；b.目前现有的清洁装置针对单个晶元清洗时，往往对晶元进行夹持固定，然后对表面进行刷洗，存在夹持部位无法清洗，同时夹持时会对晶元表面有所损伤。2.本专利技术设计的清洗机构，将晶元放置在海绵碗中，然后浸泡在清洗液中，并且通过滑动块带动环形架上的海绵碗进行左右往复转动，实现对晶元进行清洗，由于海绵碗与晶元之间有一定的摩擦以及海绵碗左右往复转动，使得晶元在海绵碗上进行缓慢转动，最终实现对晶元表面完全的清洁。3.本专利技术设计的干燥取出机构，通过升降支链拉动清洗框上移，直至与烘干箱下端相接触，先通过热风机吹出的热风对晶元上端面进行吹干，然后通过升降丝杆使得电动吸盘将晶元上端面吸附住，然后再对晶元下端进行吹干，然后通过升降丝杆上移带动晶元脱离烘干箱，最后取出晶元。附图说本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子元件晶元制备加工系统，包括支撑架(1)、清洗池(2)、清洗机构(3)以及干燥取出机构(4)，其特征在于：所述的清洗池(2)固定安装在支撑架(1)底部，所述清洗池(2)中盛放有清洗液，所述清洗池(2)上方设置有清洗机构(3)，所述清洗池(2)上方设置有干燥取出机构(4)，所述清洗机构(3)与干燥取出机构(4)相连接，所述干燥取出机构(4)固定安装在支撑架(1)的顶部和中部；其中：/n所述的清洗机构(3)包括清洗框(31)、滑动槽(32)、滑动块(33)、辅助杆(34)、清洗支链(35)、海绵碗(36)、环形架(37)、支撑块(38)、支撑杆(39)以及转动轴(30)，所述清洗框(31)整体为上下开口的空心壳体结构，所述清洗框(31)左右侧壁开设有对称的滑动槽(32)，所述滑动槽(32)内上下滑动设置有滑动块(33)，所述滑动块(33)远离清洗框(31)的端面固定安装有辅助杆(34)，所述辅助杆(34)与清洗支链(35)相连接，所述清洗支链(35)安装在清洗框(31)后端面，所述清洗框(31)内部设置有环形架(37)，所述环形架(37)为半圆形碗状结构，所述环形架(37)内壁上设置有海绵碗(36)，所述海绵碗(36)为海绵材料制作，所述环形架(37)下方设置有支撑块(38)，所述支撑块(38)为环形结构，所述环形架(37)下端与支撑块(38)上端面滑动配合，所述支撑块(38)通过支撑杆(39)固定安装在清洗框(31)内壁上，所述环形架(37)上端前后壁上对称固定有转动轴(30)，所述转动轴(30)通过轴承固定在清洗框(31)内壁上，所述滑动块(33)位于清洗框(31)内部的端面上开设有平面齿条，所述环形架(37)外壁上开设有与滑动块(33)的平面齿条相配合的环形齿条；/n所述的清洗支链(35)包括转动条(351)、调节槽(352)、连接杆(353)、移动块(354)、移动槽(355)以及清洗气缸(356)，所述清洗框(31)后端面上设置有转动条(351)，所述转动条(351)中部通过销轴固定在清洗框(31)上，所述转动条(351)通过销轴转动，所述转动条(351)两端开设有对称的调节槽(352)，所述辅助杆(34)另一端滑动设置在转动条(351)的调节槽(352)中，所述转动条(351)上端面沿其中部左右对称设置有连接杆(353)，所述连接杆(353)下端通过球铰链转动安装在转动条(351)上，所述连接杆(353)上端通过球铰链转动安装在移动块(354)下端面，所述清洗框(31)后端面开设有水平的移动槽(355)，所述移动块(354)在移动槽(355)内水平滑动，所述移动块(354)一侧与清洗气缸(356)输出端相连接，所述清洗气缸(356)通过气缸座安装在清洗框(31)后端面；/n所述的干燥取出机构(4)包括烘干箱(41)、吹风孔(42)、风箱(43)、阻风棉(44)、连接管(45)、热风机(46)、升降支链(47)、驱动支链(48)、吸附组件(49)、安装箱(410)、升降丝杆(411)、转动块(412)、固定环(413)、限位块(414)以及固定块(415)，所述清洗框(31)上方设置有烘干箱(41)，所述烘干箱(41)整体为上下开口的空心壳体结构，所述烘干箱(41)外侧壁上均匀开设有若干吹风孔(42)，所述烘干箱(41)外壁固定有风箱(43)，所述风箱(43)为内部空心的壳体结构，所述风箱(43)上端连通有连接管(45)，所述连接管(45)另一端连通在热风机(46)上，所述热风机(46)安装在风箱(43)外侧壁上，所述风箱(43)通过固定块(415)固定焊接在支撑架(1)上，所述固定块(415)下端面设置有升降支链(47)，所述烘干箱(41)上端口设置有多个阻风棉(44)，多个所述阻风棉(44)将烘干箱(41)上端口封闭住，所述烘干箱(41)上方设置有安装箱(410)，所述安装箱(410)固定焊接在支撑架(1)上，所述安装箱(410)为空心壳体结构，所述安装箱(410)上下端开设有圆孔，所述安装箱(410)通过圆孔滑动安装有足够长的升降丝杆(411)，所述升降丝杆(411)上端固定有限位块(414)，所述升降丝杆(411)下端连接有吸附组件(49)，所述升降丝杆(411)外侧壁上设置有外螺纹，所述升降丝杆(411)通过螺纹配合方式套设有转动块(412)，所述转动块(412)设置在安装箱(410)内部，所述转动块(412)下端面转动安装有固定环(413)，所述固定环(413)固定安装在安装箱(410)内部下端面，所述转动块(412)外侧壁上开设有齿条，所述转动块(412)通过齿条与驱动支链(48)相连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种电子元件晶元制备加工系统，包括支撑架(1)、清洗池(2)、清洗机构(3)以及干燥取出机构(4)，其特征在于：所述的清洗池(2)固定安装在支撑架(1)底部，所述清洗池(2)中盛放有清洗液，所述清洗池(2)上方设置有清洗机构(3)，所述清洗池(2)上方设置有干燥取出机构(4)，所述清洗机构(3)与干燥取出机构(4)相连接，所述干燥取出机构(4)固定安装在支撑架(1)的顶部和中部；其中：
所述的清洗机构(3)包括清洗框(31)、滑动槽(32)、滑动块(33)、辅助杆(34)、清洗支链(35)、海绵碗(36)、环形架(37)、支撑块(38)、支撑杆(39)以及转动轴(30)，所述清洗框(31)整体为上下开口的空心壳体结构，所述清洗框(31)左右侧壁开设有对称的滑动槽(32)，所述滑动槽(32)内上下滑动设置有滑动块(33)，所述滑动块(33)远离清洗框(31)的端面固定安装有辅助杆(34)，所述辅助杆(34)与清洗支链(35)相连接，所述清洗支链(35)安装在清洗框(31)后端面，所述清洗框(31)内部设置有环形架(37)，所述环形架(37)为半圆形碗状结构，所述环形架(37)内壁上设置有海绵碗(36)，所述海绵碗(36)为海绵材料制作，所述环形架(37)下方设置有支撑块(38)，所述支撑块(38)为环形结构，所述环形架(37)下端与支撑块(38)上端面滑动配合，所述支撑块(38)通过支撑杆(39)固定安装在清洗框(31)内壁上，所述环形架(37)上端前后壁上对称固定有转动轴(30)，所述转动轴(30)通过轴承固定在清洗框(31)内壁上，所述滑动块(33)位于清洗框(31)内部的端面上开设有平面齿条，所述环形架(37)外壁上开设有与滑动块(33)的平面齿条相配合的环形齿条；
所述的清洗支链(35)包括转动条(351)、调节槽(352)、连接杆(353)、移动块(354)、移动槽(355)以及清洗气缸(356)，所述清洗框(31)后端面上设置有转动条(351)，所述转动条(351)中部通过销轴固定在清洗框(31)上，所述转动条(351)通过销轴转动，所述转动条(351)两端开设有对称的调节槽(352)，所述辅助杆(34)另一端滑动设置在转动条(351)的调节槽(352)中，所述转动条(351)上端面沿其中部左右对称设置有连接杆(353)，所述连接杆(353)下端通过球铰链转动安装在转动条(351)上，所述连接杆(353)上端通过球铰链转动安装在移动块(354)下端面，所述清洗框(31)后端面开设有水平的移动槽(355)，所述移动块(354)在移动槽(355)内水平滑动，所述移动块(354)一侧与清洗气缸(356)输出端相连接，所述清洗气缸(356)通过气缸座安装在清洗框(31)后端面；
所述的干燥取出机构(4)包括烘干箱(41)、吹风孔(42)、风箱(43)、阻风棉(44)、连接管(45)、热风机(46)、升降支链(47)、驱动支链(48)、吸附组件(49)、安装箱(410)、升降丝杆(411)、转动块(412)、固定环(413)、限位块(414)以及固定块(415)，所述清洗框(31...

【专利技术属性】
技术研发人员：任玉成，陈丽丽，
申请(专利权)人：任玉成，
类型：发明
国别省市：江苏;32