载物台移动结构、载物台装置以及真空设备制造方法及图纸

本申请涉及一种载物台移动结构、载物台装置以及真空设备，载物台移动结构包括：置于真空腔室内部的机械臂结构，所述机械臂结构的一端安装在密封设计的安装座上；所述安装座设于所述真空腔室的一个面板上，所述安装座通过外置的驱动装置驱动所述机械臂结构转动；所述载物台设于所述机械臂结构的另外一端上，通过所述机械臂结构控制在水平面上移动。该技术方案，采用机械臂结构，降低了载物台移动结构标准件的要求，减少了丝杆和导轨等复杂配件的使用，而且机械臂结构通过外置的驱动装置驱动，减少了驱动装置的条件要求，节省了设备成本。

【技术实现步骤摘要】
载物台移动结构、载物台装置以及真空设备
本申请涉及真空设备
，特别是一种载物台移动结构、载物台装置以及真空设备。
技术介绍
在真空刻蚀、真空镀膜等真空设备中，其技术主要是利用真空腔和离子源来实现，以真空刻蚀为例，采用物理刻蚀的方式，利用离子源中经过电场加速的离子束对放置在载物台上的材料进行刻蚀，在刻蚀过程中，离子源是固定不动的，由于从离子源发射出来的离子束在水平面上的不同位置有强弱之分，为了达到刻蚀均匀的目的，往往需要将被刻蚀物体在水平面上匀速移动。为了将被刻蚀物体在水平面上匀速移动，如图1所示，左图为俯视图，右图为侧面视图，传统技术主要是利用两组丝杆导轨搭建XY运动平台，然后控制载物台30按图2的轨迹进行运动。但是，由于在真空室环境内工作，XY运动平台的结构不仅对电机要求高，而且还对丝杆、导轨有高要求，必须选用无油的物料，所以整体成本会比较高。由此可见，由于需要采用真空电机和相关无油物料，导致载物台的设备成本较高，而且也不利于设备维护。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述载物台的设备成本较高的技术问本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载物台移动结构，其特征在于，包括：置于真空腔室内部的机械臂结构，所述机械臂结构的一端安装在密封设计的安装座上；/n所述安装座设于所述真空腔室的一个面板上，所述安装座通过外置的驱动装置驱动所述机械臂结构转动；/n所述载物台设于所述机械臂结构的另外一端上，通过所述机械臂结构控制在水平面上移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种载物台移动结构，其特征在于，包括：置于真空腔室内部的机械臂结构，所述机械臂结构的一端安装在密封设计的安装座上；
所述安装座设于所述真空腔室的一个面板上，所述安装座通过外置的驱动装置驱动所述机械臂结构转动；
所述载物台设于所述机械臂结构的另外一端上，通过所述机械臂结构控制在水平面上移动。


2.根据权利要求1所述的载物台移动结构，其特征在于，所述机械臂结构包括第一摆臂和第二摆臂；其中，所述第一摆臂的一端通过第一转动轴安装在所述安装座上，所述第二摆臂的一端通过第二转动轴连接在所述第一摆臂的另一端；所述第二摆臂的另一端安装所述载物台。


3.根据权利要求1所述的载物台移动结构，其特征在于，所述外置的驱动装置包括第一伺服电机；所述第一伺服电机连接所述第一转动轴，驱动所述第一摆臂在水平面上转动。


4.根据权利要求3所述的载物台移动结构，其特征在于，还包括内置于真空腔室内的真空伺服电机；
所述真空伺服电机连接所述第二转动轴，驱动所述第二摆臂在水平面上进行转动。


5.根据权利要求3所述的载物台移动结构，其特征在于，还包括外置于真空腔室外的第二伺服电机；
所述第二伺服电机通过机械传动结构连接所述第二转动轴，驱动所述第二摆臂在水平面上进行转动。


6.根据权利要求3所述的载物台移动结构，其特征在于，所述机械传动结构包括：柔性传动线，螺杆，以及涡轮；
所述第二伺服电机通过所述柔性传动线连接所述螺杆，所述螺杆与所述涡轮咬合，所述涡轮连接所述第二转动轴；
所述第二伺服电机通过所述柔性传动线带动所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟基，蒋毅，范奕生，冀鸣，赵刚，易洪波，
申请(专利权)人：佛山市博顿光电科技有限公司，中山市博顿光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44