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一种便于装卸载网样品的扫描电镜样品台制造技术

技术编号:28586444 阅读:40 留言:0更新日期:2021-05-25 19:26
本实用新型专利技术属于扫描电镜用样品台技术领域,具体是一种便于装卸载网样品的扫描电镜样品台,包括主台、压板、紧固螺钉,压板平放在主台上,且压板的中心与主台的中心相对应,主台与压板通过紧固螺钉连接在一起。主台的上表面与压板的下表面紧密贴合在一起,载网放在主台的相应位置后略高于主台上表面,压板可以压紧载网样品。本实用新型专利技术结构新颖,设计合理,不仅方便了载网样品的装卸,提高载样网样品的导电性,还实现了载网样品的无损和无污染观测,提高了测试效率和测试结果的可靠性,是扫描电镜用样品台方面的创新。

【技术实现步骤摘要】
一种便于装卸载网样品的扫描电镜样品台
本技术属于扫描电镜用样品台
,具体涉及一种便于装卸载网样品的扫描电镜样品台。
技术介绍
扫描电子显微镜(扫描电镜)是一种可对样品表面微观形貌和微区成分进行分析的电子光学仪器。扫描电镜的工作原理是利用高能电子束去轰击样品表面,由于高能电子束和样品的相互作用,会产生各种电子信号,如二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、特征能量损失电子、阴极荧光以及特征X射线等,然后利用各种探头对相应的信号进行采集和处理,从而实现对样品的表征。由于扫描电镜具有制样简单、放大倍数连续可调范围宽、图像分辨率高、景深大、成像立体感强等特点,现已被广泛应用于材料学、化学、生物、微电子、生命科学、物理学、司法、地球科学以及工业生产等领域的微观研究。样品台是扫描电镜的一个重要配件,用来承载不同形状的样品,可以使样品稳定地固定在样品台上,并通过其它各个系统的相互配合成像以表征样品。在科研和生产生活过程中使用扫描电镜时,技术人员普遍遇到了下述问题:1)扫描电镜观察后的载网不能继续使用此样品进行其他测试本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于装卸载网样品的扫描电镜样品台,包括主台(1)、压板(2)和紧固螺钉(3),其特征在于:/n所述的主台(1)呈圆柱形,包括台体(1-1)、载样槽(1-2)、取样槽(1-3)和螺纹孔(1-4),所述的载样槽(1-2)沿台体(1-1)的圆周均匀分布,所述的取样槽(1-3)位于台体(1-1)的边缘,取样槽(1-3)截面是矩形,取样槽(1-3)的中心线指向台体(1-1)的圆心,所述的螺纹孔(1-4)位于主台(1)的中心;/n所述的压板(2)包括压片(2-1)和安装孔(2-2),压片(2-1)呈十字形,安装孔(2-2)位于压板(2)的中心;/n所述的紧固螺钉(3)包括螺帽(3-1)、一字凹槽(...

【技术特征摘要】
1.一种便于装卸载网样品的扫描电镜样品台,包括主台(1)、压板(2)和紧固螺钉(3),其特征在于:
所述的主台(1)呈圆柱形,包括台体(1-1)、载样槽(1-2)、取样槽(1-3)和螺纹孔(1-4),所述的载样槽(1-2)沿台体(1-1)的圆周均匀分布,所述的取样槽(1-3)位于台体(1-1)的边缘,取样槽(1-3)截面是矩形,取样槽(1-3)的中心线指向台体(1-1)的圆心,所述的螺纹孔(1-4)位于主台(1)的中心;
所述的压板(2)包括压片(2-1)和安装孔(2-2),压片(2-1)呈十字形,安装孔(2-2)位于压板(2)的中心;
所述的紧固螺钉(3)包括螺帽(3-1)、一字凹槽(3-2)、光杆(3-3)和螺纹杆(3-4),螺帽(3-1)和螺纹杆(3-4)位于两端,光杆(3-3)位于中间,螺帽(3-1)上设有一字凹槽(3-2);
所述主台(1)的螺纹孔(1-4)与平放在主台(1)上的压板(2)的安装孔(2-2)相对应,所述的紧固螺钉(3)穿过压板(2)的安装孔(2-2)后与主...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈志民任红宾赵自勇郭红彦蔡玉乐王瑞娟陈永汪新凯邵普
申请(专利权)人:郑州大学
类型:新型
国别省市:河南;41

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