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一种环压载网样品的扫描电镜样品台制造技术

技术编号:28586443 阅读:50 留言:0更新日期:2021-05-25 19:26
本实用新型专利技术属于扫描电镜用样品台技术领域,具体是一种环压载网样品的扫描电镜样品台,包括主台、压板、U型夹、U型卡管、紧固螺钉Ⅰ和紧固螺钉Ⅱ,主台与U型夹通过紧固螺钉Ⅱ连接在一起,主台与U型卡管通过紧固螺钉Ⅰ连接在一起。U型卡管固定压板的旋转轴并通过U型夹的弹性作用,从而使压板上的压环能够压紧载网样品。本实用新型专利技术采用压环对载网样品进行环压,保证了载网样品在圆周上受力均匀,防止了载网样品发生一边翘起的情况的发生,增强了载网样品固定的稳定性和导电性,易于装卸样品,实现了载网样品的无损和无污染循环测试使用,提高了科研效率,是扫描电镜用样品台方面的创新。

【技术实现步骤摘要】
一种环压载网样品的扫描电镜样品台
本技术属于扫描电镜用样品台
,特别涉及一种环压载网样品的扫描电镜样品台。
技术介绍
扫描电子显微镜(扫描电镜)是一种大型分析仪器,它广泛应用于各种固态物质的表面形貌和微区成分析。扫描电镜的工作原理是:电子枪发射高能电子束,高能电子束聚焦后轰击样品表面,由于高能电子束和样品的相互作用,会产生二次电子、背散射电子和俄歇电子等电子信号,然后利用各种探测器对相应的信号进行收集处理,从而实现对样品的表征。依据扫描电镜的工作原理及结构特点,扫描电镜通常要求观测的样品无水、无磁性、无放射性以及样品对电子束轰击不敏感。样品要能够牢固地固定在样品台上,如底部平整的块状样品可直接用导电胶固定在样品台上,细小的粉末样品要在溶剂中超声分散后滴在硅片或载玻片上干燥后用导电胶固定、尺寸较大的粉末样品可直接涂覆在导电胶上进行观察。对于导电性能不好的样品,通常在测试前需要通过离子溅射的方法在其表面溅射上一定厚度的贵金属膜层,以增强样品表面的导电性。由于扫描电镜具有制样简单、景深大、成像立体效果好、放大倍数可调范围宽等特点,现已经被广泛应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种环压载网样品的扫描电镜样品台,包括主台(1)、压板(2)、U型夹(3)、U型卡管(4)、紧固螺钉Ⅰ(5)和紧固螺钉Ⅱ(6),其特征在于:/n所述的主台(1)呈圆柱形,包括台体(1-1)、载样柱(1-2)、取样槽(1-3)、载样槽(1-4)、压板槽(1-5)、U型夹槽(1-6)、旋转轴槽(1-7)、螺纹孔Ⅰ(1-8)和螺纹孔Ⅱ(1-9),所述的载样柱(1-2)在台体(1-1)的上部沿圆周均匀分布,所述的载样槽(1-4)位于载样柱(1-2)的中心,载样槽(1-4)垂直于载样柱(1-2)轴线的截面为圆形,所述的取样槽(1-3)位于载样柱(1-2)的外侧边缘,取样槽(1-3)的横截面是矩形,取...

【技术特征摘要】
1.一种环压载网样品的扫描电镜样品台,包括主台(1)、压板(2)、U型夹(3)、U型卡管(4)、紧固螺钉Ⅰ(5)和紧固螺钉Ⅱ(6),其特征在于:
所述的主台(1)呈圆柱形,包括台体(1-1)、载样柱(1-2)、取样槽(1-3)、载样槽(1-4)、压板槽(1-5)、U型夹槽(1-6)、旋转轴槽(1-7)、螺纹孔Ⅰ(1-8)和螺纹孔Ⅱ(1-9),所述的载样柱(1-2)在台体(1-1)的上部沿圆周均匀分布,所述的载样槽(1-4)位于载样柱(1-2)的中心,载样槽(1-4)垂直于载样柱(1-2)轴线的截面为圆形,所述的取样槽(1-3)位于载样柱(1-2)的外侧边缘,取样槽(1-3)的横截面是矩形,取样槽(1-3)的中心线指向台体(1-1)的轴线,所述的压板槽(1-5)位于载样柱(1-2)的内侧边缘,压板槽(1-5)的横截面是矩形,压板槽(1-5)的中心线指向台体(1-1)的轴线,所述的U型夹槽(1-6)位于载样柱(1-2)的内侧,U型夹槽(1-6)的中心线指向台体(1-1)的轴线,所述的旋转轴槽(1-7)位于U型夹槽(1-6)的内侧,旋转轴槽(1-7)的中心线指向台体(1-1)的轴线,所述的螺纹孔Ⅰ(1-8)在旋转轴槽(1-7)的两侧对称分布,所述的螺纹孔Ⅱ(1-9)位于U型夹槽(1-6)的底部;
所述的压板(2)包括压环(2-1)、连接板(2-2)和旋转轴(2-3),所述的压环(2-1)和旋转轴(2-3)分别位于压板(2)的两端,所述的连接板(2-2)连接压环(2-1)与旋转轴(2-3),所述的压环(2-1)、连接板(2-2)和旋转轴(2-3)一体成型,所述的连接板(2-2)两侧为半圆形,所述的压环(2-1)与连接板(2-2)的厚度相同;
所述的U型夹(3)包括夹头(3-1)、夹片(3-2)和安装孔Ⅰ(3-3),所述的夹头(3-1)位于U型夹(3)的上部并对称分布,夹头(3-1)为半圆柱体,所述的夹片(3-2)位于U型夹(3)的下部,夹片(3-2)为U型,所述的夹头(3-1)与夹片(3-2)一体成型,所述的安装孔Ⅰ(3-3)位于U型夹(3)的底部中心;
所述的U型卡管(4)包括卡箍(4-1)、连接片(4-2)、安装孔Ⅱ(4-3),所述的卡箍(4-1)横截面为半圆环形,所述的连接片(4-2)在卡箍(4-1)的两侧对称分布,所述的卡箍(4-1)与连接片(4-2)一体成型,所述的安装孔Ⅱ(4-3)位于连接片(4-2)上;
所述的紧固螺钉Ⅰ(5)包括螺帽(5-1)、光杆(5-2)、螺纹杆(5-3)、一字凹槽(5-4),所述的螺帽(5-1)位于紧固螺钉Ⅰ(5)的上部,所述的光杆(5-2)位于紧固螺钉Ⅰ(5)的中部,所述的螺纹杆(5-3)位于紧固螺钉Ⅰ(5)的下部,所述的螺帽(5-1)、...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈志民任红宾赵自勇郭红彦蔡玉乐王瑞娟陈永张乐鹏曹凤阳
申请(专利权)人:郑州大学
类型:新型
国别省市:河南;41

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