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本申请涉及一种载物台移动结构、载物台装置以及真空设备，载物台移动结构包括：置于真空腔室内部的机械臂结构，所述机械臂结构的一端安装在密封设计的安装座上；所述安装座设于所述真空腔室的一个面板上，所述安装座通过外置的驱动装置驱动所述机械臂结构转动...该专利属于佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司授权不得商用。