一种可调节建设管靶材组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可调节建设管靶材组件，包括靶材主体与转动机构，所述靶材主体上端轴心处设置有转动机构，所述靶材主体与转动机构套接固定，所述转动机构上端设置有连接柱，所述连接柱与转动机构点焊固定，本实用新型专利技术中通过将传统的一体式结构进行更改，这样在连接柱与外界的连接件相互连接的时候，在连接件与连接柱连接到底端时，从而可以更好的进行达到转动的效果，本实用新型专利技术中通过在靶材主体的上端轴心处设置有轴孔，这样可以通过轴孔将转动机构固定连接，并且转动机构可以在靶材主体的内部进行左右的旋转，这样可以使得在连接件连接时，通过旋转，避免了连接件与靶材主体相互接触，避免出现靶材主体表端出现划痕的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种可调节建设管靶材组件
本技术属于靶材相关
，具体涉及一种可调节建设管靶材组件。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。现有的靶材组件存在以下问题：现有的靶材组件在连接时都是采用螺纹槽旋转，但是连接件与连接端连接到最底端时，连接件可能会与靶材主体出现摩擦的现象，这样长时间会导致靶材主体出现划痕。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可调节建设管靶材组件，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可调节建设管靶材组件，包括靶材主体与转动机构，所述靶材主体上端轴心处设置有转动机构，所述靶材主体与转动机构套接固定，所述转动机构上端设置有连接柱，所述连接柱与转动机构点焊固定，所述转动机构的组成包括有套接环、支柱与旋转板，所述套接环的下端轴心处设置有支柱，所述支柱的下端轴心处设置有旋转板，所述转动机构通过套接环套接在靶材主体的内部轴心处。优选的，所述靶材主体为圆台体结构，所述靶材主体的表端为光滑结构。优选的，所述连接柱为扁平状的圆台体结构，所述连接柱的外侧一周设置有外螺纹槽。优选的，所述转动机构套接在靶材主体的上端轴心处，所述转动机构在受到外力时可以在靶材主体内部转动。优选的，所述套接环的尺寸小于旋转板的尺寸，所述套接环与旋转板均为板状结构。优选的，所述靶材主体分为三类且分别为金属靶材、陶瓷靶材与合金靶材。与现有技术相比，本技术提供了一种可调节建设管靶材组件，具备以下有益效果：（1）、本技术中通过将传统的一体式结构进行更改，改进为在连接柱与靶材主体的相交处设置有转动机构，这样在连接柱与外界的连接件相互连接的时候，在连接件与连接柱连接到底端时，转动机构在受到作用力时会出现转动，从而可以更好的进行达到转动的效果；（2）、本技术中通过在靶材主体的上端轴心处设置有轴孔，这样可以通过轴孔将转动机构固定连接，并且转动机构可以在靶材主体的内部进行左右的旋转，这样可以使得在连接件连接时，通过旋转，避免了连接件与靶材主体相互接触，避免出现靶材主体表端出现划痕的问题。附图说明图1为本技术的可调节建设管靶材组件结构示意图；图2为本技术的转动机构下视结构示意图；图中：1、连接柱；2、转动机构；21、套接环；22、支柱；23、旋转板；3、靶材主体。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种可调节建设管靶材组件，包括靶材主体3与转动机构2，靶材主体3上端轴心处设置有转动机构2，靶材主体3为圆台体结构，靶材主体3的表端为光滑结构，靶材主体3分为三类且分别为金属靶材、陶瓷靶材与合金靶材，这样可以通过不同种类的靶材主体3更好的进行膜的生产加工，从而可以使得在生产膜的时候更加方便快捷，靶材主体3与转动机构2套接固定，转动机构2上端设置有连接柱1，连接柱1为扁平状的圆台体结构，连接柱1的外侧一周设置有外螺纹槽，通过外螺纹槽的设置，这样可以通过连接柱1更好的连接，连接柱1与转动机构2点焊固定，转动机构2套接在靶材主体3的上端轴心处，从而可以避免靶材主体3表端避免出现划痕，转动机构2在受到外力时可以在靶材主体3内部转动，转动机构2的组成包括有套接环21、支柱22与旋转板23，套接环21的下端轴心处设置有支柱22，支柱22的下端轴心处设置有旋转板23，转动机构2通过套接环21套接在靶材主体3的内部轴心处，套接环21的尺寸小于旋转板23的尺寸，从而可以使得更好的在受到作用力时会出现旋转，套接环21与旋转板23均为板状结构。本技术的工作原理及使用流程：当要进行该靶材主体3的使用时，这时首先取出该靶材主体3，然后通过连接柱1与外界的连接件相互连接，而且连接柱1在连接时，在连接件与连接柱1连接到底端时，转动机构2在受到作用力时会出现转动，避免了靶材主体3出现划痕的问题，之后在被溅射的靶极与阳极之间加一个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体，该种气体通常为氩，永久磁铁在靶材主体3表面形成两百五到三百五高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场，在电场的作用下，氩气电离成正离子和电子，靶材主体3上加有一定的负高压，从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大，在阴极附近形成高密度的等离子体，氩离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜，这样就完成了该装置的使用了。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调节建设管靶材组件，包括靶材主体（3）与转动机构（2），其特征在于：所述靶材主体（3）上端轴心处设置有转动机构（2），所述靶材主体（3）与转动机构（2）套接固定，所述转动机构（2）上端设置有连接柱（1），所述连接柱（1）与转动机构（2）点焊固定，所述转动机构（2）的组成包括有套接环（21）、支柱（22）与旋转板（23），所述套接环（21）的下端轴心处设置有支柱（22），所述支柱（22）的下端轴心处设置有旋转板（23），所述转动机构（2）通过套接环（21）套接在靶材主体（3）的内部轴心处。/n

【技术特征摘要】
1.一种可调节建设管靶材组件，包括靶材主体（3）与转动机构（2），其特征在于：所述靶材主体（3）上端轴心处设置有转动机构（2），所述靶材主体（3）与转动机构（2）套接固定，所述转动机构（2）上端设置有连接柱（1），所述连接柱（1）与转动机构（2）点焊固定，所述转动机构（2）的组成包括有套接环（21）、支柱（22）与旋转板（23），所述套接环（21）的下端轴心处设置有支柱（22），所述支柱（22）的下端轴心处设置有旋转板（23），所述转动机构（2）通过套接环（21）套接在靶材主体（3）的内部轴心处。


2.根据权利要求1所述的一种可调节建设管靶材组件，其特征在于：所述靶材主体（3）为圆台体结构，所述靶材主体（3）的表端为光滑结构。

【专利技术属性】
技术研发人员：邱根庆，
申请(专利权)人：天津航通机械加工有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12