MEMS微反射镜设备和电气装置制造方法及图纸

一种基于MEMS微反射镜设备和电气装置，本发明专利技术涉及一种MEMS微反射镜设备和电气装置，包括：MEMS微反射镜设备模块和电气装置模块，其中，MEMS微反射镜设备模块包括MEME微镜组，单体，悬置膜，电气装置模块包括图像投影模块和图像捕捉模块。与现有技术相比本发明专利技术采用绝缘区域可以有效的隔离支撑框架与周围支撑区域，使用MEMS微发射镜，可以实现最小体积、最低功耗，工艺相对简单，可靠性和成品率高，有效的降低了所述装置的成本。

【技术实现步骤摘要】
MEMS微反射镜设备和电气装置
本专利技术涉及MEMS微反射镜设备
，尤其涉及一种MEMS微反射镜设备和电气装置。
技术介绍
微反射镜在许多微机电系统(“MEMS”)设备和/或微光机电系统(MicroOptoElectroMechanicalSystems，“MOEMS”)设备中用作中心元件，这些设备(即MEMS和/或MOEMS)被称为“MEMS”设备。这些MEMS设备中的许多MEMS设备包括两种类型的静电反射镜：面内反射镜和交错反射镜。面内反射镜通常以谐振频率被驱动。在单个层上制作面内反射镜的定子和转子，并且反射镜的驱动脉冲通常为矩形类型的信号。交错反射镜典型地包含两个不同的层：包括定子的一层以及包括转子的第二层。然而，在诸如定子和转子在制作之后永久倾斜的一些实施例中，单个层可以用于定子和转子两者。交错反射镜可以以其谐振频率或以降至(且包括)DC的更低频率进行操作。MEMS微反射镜设备用于能够在一定距离处投影图像或者能够生成期望的光图案的微型投影仪模块(所谓的微投影仪)中。MEMS微反射镜设备通常包括反射镜元件，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.MEMS微反射镜设备和电气装置，其特征在于，包括MEMS微反射镜设备模块和电气装置模块，其中，MEMS微反射镜设备模块包括MEME微镜组，单体，悬置膜，电气装置模块包括图像投影模块和图像捕捉模块。/n

【技术特征摘要】
1.MEMS微反射镜设备和电气装置，其特征在于，包括MEMS微反射镜设备模块和电气装置模块，其中，MEMS微反射镜设备模块包括MEME微镜组，单体，悬置膜，电气装置模块包括图像投影模块和图像捕捉模块。


2.根据权利要求1所述的MEMS微反射镜设备和电气装置，其特征在于，MEMS微反射镜设备模块中的,MEMS微镜组每个微镜都由若干锚anchor或铰链hinge支撑，通过改变外部激励从而控制同一个微镜的不同锚/铰链的尺寸从而微镜倾斜特定角度，将入射光线向特定角度反射。大量微镜可以形成一个阵列从而进行大面积的反射；锚/铰链的尺寸控制可以通过许多方式实现，一种简单的方式便是通过加热使其热膨胀，当不同想同一个微镜的不同锚/铰链通入不同电流时，可以使它们产生不同形变，从而向指定角度倾斜，本发明采用的是静电驱动方式，即通入电来产生静电力来倾斜微镜。


3.根据权利要求1-2所述的MEMS微反射镜设备和电气装置，其特征在于，所述MEMS微镜组与单体相连，所述单体具有第一主表面和第二主表面，其中，所述单体本体具有从所述第二主表面延伸的开口并且包括单晶半导体材料的悬置膜。


4.根据权利要求1-3所述的MEMS微反射镜设备和电气装置，其特征在于，所述悬置膜包括支撑框架和可移动质量块，所述可移动质量块由所述支撑框架承载并且可围绕与所述第一主表面平行的轴线旋转；并且反射区域在所述可移动质量块之上延伸。


5.根据权利要求1-4所述的MEMS微反射镜设备和电气装...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦毅，任斌，姜鸣，王福杰，胡耀华，郭芳，姚智伟，
申请(专利权)人：东莞理工学院，
类型：发明
国别省市：广东;44