垂直移位的静电致动器和使用该静电致动器的光学扫描仪制造技术

垂直移位的静电致动器和使用该静电致动器的光学扫描仪。本公开提供了垂直移位的静电致动器和使用该静电致动器的光学扫描仪。本公开的光学扫描仪包括：反射镜，该反射镜被构造成反射入射光；以及静电致动器，该静电致动器被构造成使反射镜振荡。根据示例性实施方式的一个方面，该静电致动器包括：框架，该框架在中部部分具有安装空间；以及安装在该安装空间中的驱动电极、固定电极、移位器和力施加部。驱动电极中的驱动电极指和固定电极中的固定电极指交替地布置。移位器能够连接在框架与驱动电极之间或者在框架与固定电极之间，并且当通过力施加部施加垂直力时，移位器使连接到移位器的驱动电极或固定电极垂直地移位。

【技术实现步骤摘要】
垂直移位的静电致动器和使用该静电致动器的光学扫描仪
本公开涉及一种光学扫描仪，并且更具体地，涉及一种通过微机电系统(MEMS)制造工艺制造的垂直移位的静电致动器以及使用该静电致动器的光学扫描仪。
技术介绍
在诸如显示器、印刷装置、精确测量和精确处理的各种
中已经对可以通过半导体或MEMS制造工艺技术制造的微机电系统(MEMS)设备积极地进行了许多研究。特别是，光学扫描仪在光显示领域和扫描领域中引起关注，在光显示领域中，针对预定的屏幕区域扫描从光源入射的光以在屏幕上显示图像，并且在扫描领域中，由发射器发射扫描光，并且由接收器接收反射光以检测待扫描的对象。光学扫描仪可以对反射光进行调制，并具有许多优点，诸如，快速且准确的操作、高响应速度和低功耗，并且可以应用于诸如可变光学衰减器(VOA)、1×N开关、波长选择开关(WSS)和可扩展激光器等的光学通信设备。此外，光学扫描仪可以应用于各种领域，诸如，光学相干断层扫描(OCT)、微微投影仪、智能前灯、LiDAR和皮肤护理机。微型光学扫描仪通常使用半导体或MEMS工艺技术以单芯片的形式实现，该本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于光学扫描仪的垂直移位的静电致动器，所述垂直移位的静电致动器包括：/n框架，所述框架在中部部分具有安装空间；/n驱动电极，所述驱动电极的一侧联接到反射镜，并且所述驱动电极的另一侧在所述框架的所述安装空间中联接到所述框架，并且所述驱动电极包括驱动电极板和形成在所述驱动电极板的外侧的多个驱动电极指；/n固定电极，所述固定电极在所述框架的所述安装空间中联接到所述框架，并且所述固定电极包括与所述多个驱动电极指交替布置的多个固定电极指；/n移位器，所述移位器连接在所述框架与所述驱动电极之间，并且被构造成当施加垂直力时使连接到所述移位器的所述驱动电极垂直地移位；以及/n力施加部，所述力施加部被布...

【技术特征摘要】
20191030 KR 10-2019-0136294;20191220 KR 10-2019-011.一种用于光学扫描仪的垂直移位的静电致动器，所述垂直移位的静电致动器包括：
框架，所述框架在中部部分具有安装空间；
驱动电极，所述驱动电极的一侧联接到反射镜，并且所述驱动电极的另一侧在所述框架的所述安装空间中联接到所述框架，并且所述驱动电极包括驱动电极板和形成在所述驱动电极板的外侧的多个驱动电极指；
固定电极，所述固定电极在所述框架的所述安装空间中联接到所述框架，并且所述固定电极包括与所述多个驱动电极指交替布置的多个固定电极指；
移位器，所述移位器连接在所述框架与所述驱动电极之间，并且被构造成当施加垂直力时使连接到所述移位器的所述驱动电极垂直地移位；以及
力施加部，所述力施加部被布置在所述移位器下方，并且被构造成向所述移位器施加所述垂直力，从而所述移位器使连接到所述移位器的所述驱动电极垂直地移位，
其中，所述移位器包括：
移位板，所述移位板联接到所述驱动电极；
移位杆，所述移位杆被布置在所述移位板下方，以将由所述力施加部施加的垂直力传递至所述移位板；
支承轴，所述支承轴的一端联接到所述框架，所述支承轴的另一端朝向所述移位板延伸；以及
一对弹簧，所述一对弹簧被布置在所述支承轴的所述另一端与所述移位板之间，并且所述一对弹簧能够弹性地伸缩，以在所述移位板被施加有所述垂直力时允许所述移位板垂直地移位，
其中，所述移位杆包括：
主移位杆，所述主移位杆沿所述多个固定电极指延伸的方向伸长；以及
一对分支移位杆，所述一对分支移位杆沿平行于所述支承轴的轴线的方向从所述主移位杆延伸。


2.根据权利要求1所述的垂直移位的静电致动器，其中，所述分支移位杆中的每一个包括：
连接到所述主移位杆的端部并且朝向形成有所述多个固定电极指的区域延伸的部分。


3.根据权利要求1所述的垂直移移位的静电致动器，其中，所述移位杆在所述主移位杆和所述分支移位杆的相交处具有选自包括以下形状的组的形状：“L”形、“T”形、“H”形、十字形及其组合。


4.根据权利要求1所述的垂直移位的静电致动器，其中，所述移位板包括：
主体板，在所述主体板下方布置有所述移位杆；以及
一对连接件，所述一对连接件与所述支承轴平行地从所述主体板的两端突出并且联接到相应的一个弹簧。


5.根据权利要求4所述的垂直移位的静电致动器，其中，所述一对分支移位杆被形成在所述一对连接件下方。


6.根据权利要求4所述的垂直移位的静电致动器，其中，所述一对弹簧是关于所述支承轴对称地设置的曲折弯曲的弹簧。


7.根据权利要求6所述的垂直移位的静电致动器，其中，所述力施加部包括：
附接板，所述附接板附接到所述框架的下部；以及
推板，所述推板位于所述框架的所述安装空间内并且从所述附接板的上表面突出，并且所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金润九，金桓善，李恩中，金容国，
申请(专利权)人：韩国奥特伦株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR