一种用于光转向的镜组件制造技术

本公开的实施例提供了一种调节光束的装置，所述装置包括微机电系统(MEMS)、非微机电系统(non‑MEMS)。所述微机电系统可以包括：用于接收和反射所述光束的第一可旋转镜的阵列，以及被配置为旋转所述第一可旋转镜的阵列中每个可旋转镜的第一致动器的阵列。所述非微机电系统可以包括用于接收和反射所述光束的第二可调节镜，以及被配置为调节所述第二可调节镜的第二致动器。由所述第一可旋转镜的阵列接收的所述光束是由所述第二可调节镜反射的，或者由所述第二可调节镜接收的所述光束是由所述第一可旋转镜的阵列反射的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】一种用于光转向的镜组件相关申请本申请要求于2018年12月31日提交的美国专利申请第16/237,454号的优先权，所述申请是2018年12月7日提交的题为“用于光转向的镜组件”的美国专利申请的第16/213,992号的部分继续申请。上述申请中的全部内容通过引用以其全文并入本文。
技术介绍
光转向通常涉及沿预定方向的光线的投射，以便于例如物体的检测和测距、物体的照明和扫描等。光转向可以用于许多不同的应用领域，包括例如自动驾驶汽车、医疗诊断设备等。可以在光线的发射和接收中执行光转向。例如，光转向系统可以包括用于控制光线的投射方向以检测/成像物体的微镜阵列。此外，光转向接收器还可以包括用于选择将由接收器检测的入射光线的方向的微镜阵列，以避免检测其它不想要的信号。微镜阵列可以包括微镜组件的阵列，其中每个微镜组件包括微镜和致动器。在微镜组件中，可以经由连接结构(例如，扭杆、弹簧等)将微镜连接到基底以形成枢轴，并且可以通过致动器将微镜绕枢轴旋转。可以使每个微镜以某一旋转角度旋转，以朝目标方向反射(和转向)来自光源的光线。每个微镜可以由致动器旋转，以提供沿垂直轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种调节光束的装置，包括：/n微机电系统(MEMS)，包括：/n第一可旋转镜的阵列，被配置为接收和反射所述光束；以及/n第一致动器的阵列，被配置为旋转所述第一可旋转镜的阵列中的每个可旋转镜；以及/n非微机电系统(non-MEMS)，包括：/n第二可调节镜，被配置为接收和反射所述光束；以及/n第二致动器，被配置为调节所述第二可调节镜；并且/n其中，由所述第一可旋转镜的阵列接收的所述光束是由所述第二可调节镜反射的，或者由所述第二可调节镜接收的所述光束是由所述第一可旋转镜的阵列反射的。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181207 US 16/213,9921.一种调节光束的装置，包括：
微机电系统(MEMS)，包括：
第一可旋转镜的阵列，被配置为接收和反射所述光束；以及
第一致动器的阵列，被配置为旋转所述第一可旋转镜的阵列中的每个可旋转镜；以及
非微机电系统(non-MEMS)，包括：
第二可调节镜，被配置为接收和反射所述光束；以及
第二致动器，被配置为调节所述第二可调节镜；并且
其中，由所述第一可旋转镜的阵列接收的所述光束是由所述第二可调节镜反射的，或者由所述第二可调节镜接收的所述光束是由所述第一可旋转镜的阵列反射的。


2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一可旋转镜的阵列以及所述第二可调节镜被配置为分别设置相对于第一维度的所述光束光路的第一角度，以及相对于第二维度的所述光束的所述光路的第二角度，所述第二维度与所述第一维度正交。


3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述装置进一步包括控制器，并且其中，所述控制器被配置为：
控制所述第一致动器的阵列和所述第二致动器输出包括在第一时间点沿所述光路方向的一个物体的第一光信号的第一光线；
控制所述第一致动器的阵列和所述第二致动器选择包括沿所述光路方向从所述物体传播的第二光信号的第二光线；
经由接收器在第二时间点接收所述第二光线；以及
基于所述第一时间点与所述第二时间点之间的差、所述第一角度以及所述第二角度，确定所述物体相对于所述装置的位置。


4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述非微机电系统是包括检流计镜、多面镜或闪光透镜中的至少一种的模拟系统。


5.根据权利要求4所述的装置，进一步包括第三镜，所述第三镜面向所述第一可旋转镜的阵列和所述第二可调节镜，并且被配置为将由所述第一可旋转镜的阵列反射的所述光束向所述第二可调节镜反射。


6.根据权利要求5所述的装置，进一步包括半导体基底，其中，所述第三镜与所述半导体基底的表面间隔第一距离；
其中，所述第一可旋转镜的阵列和所述第二可调节镜间隔第二距离；以及
其中，所述第一距离以及所述第二距离是基于由光源发出的所述光束相对于所述第一可旋转镜的入射角设定的。


7.根据权利要求6所述的装置，进一步包括准直透镜，其中，所述准直透镜位于所述光源以及所述第一可旋转镜之间，并且其中，所述准直透镜具有预定的孔径长度。


8.根据权利要求7所述的装置，其中，所述光源是激光二极管。


9.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一致动器的阵列中的每个致动器包括梳齿驱动器、压电设备或电磁设备中的至少一个。


10.根据权利要求1所述的装置，其中，所述控制器进一步被配置为：
以第一频率调节所述第一可旋转镜的阵列的每个可旋转镜的第一旋转角度，所述第一频率基本等于所述第一可旋转镜的阵列的固有频率；以及
以低于所述第一频率的第二频率调节所述第二可调节镜的第二旋转角度。


11.一种光检测和测距(LiDAR)系统，包括：
光源；
接收器；
微机电系统(MEMS)，包括：
第一可旋转镜的阵列，被配置为接收和反射所述光束...

【专利技术属性】
技术研发人员：王佑民，孔令凯，
申请(专利权)人：北京航迹科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11