电磁式MEMS扭转微镜制造技术

本实用新型专利技术涉及一种电磁式MEMS扭转微镜，其包括基板、支撑结构和线圈；基板上设置有微镜镜面，所述基板设置在所述支撑结构上，所述支撑结构支撑所述微镜镜面，所述线圈设置在电路板上，所述电路板与所述线圈连接，为所述线圈通电；所述支撑结构包括扭梁和支撑柱，所述支撑柱为圆柱体，其设置在所述电路板上，所述支撑柱的上端与所述扭梁的一端连接，所述扭梁设置有两个，对称设置在所述基板的侧面，所述基板悬挂在所述扭梁的另一端上。扭梁连接有基板，扭梁在外部洛仑兹力的作用下，发生轻微扭动时带动微镜进行角度的偏移，从而带动微镜镜面的转动，而控制洛仑兹力的大小则可以间接控制镜面转动的角度，为了实现对镜面角度的精确控制。

【技术实现步骤摘要】
电磁式MEMS扭转微镜
本技术涉及微控制领域，尤其涉及一种电磁式MEMS扭转微镜。
技术介绍
微机电系统(MEMS)是基于微电子技术发展起来的一项技术，集合了微传感器、微执行器、微机械结构等集成器件于一体的器件或者说系统，是一项技术革新并且具有广泛应用的一项技术产业。MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。随着信息技术、光通信技术的迅猛发展，MEMS发展的新领域就是将基础系统与光学相结合，开发新型光器件，称为微光电系统(MOEMS)。它的意义在于把各种MEMS结构件与微光学器件、光波导器件、半导体激光器件、光电检测器件等完整地集成在一起，形成一种全新的功能系统。基于MOEMS的新型显示投影设备，主要研究如何通过反射面的物理运动来进行光的空间调制，典型代表为数字微镜阵列芯片和光栅光阀；另一个方面就是通信系统，主要研究通过微镜的物理运动来控制光路发生预期的改变，较成功的有光开关调制器、光滤波器及复用器等光通信器件。MEMS扭本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电磁式MEMS扭转微镜，其特征在于，包括：基板、支撑结构和线圈；/n基板上设置有微镜镜面，所述基板设置在所述支撑结构上，所述支撑结构支撑所述微镜镜面，所述线圈设置在电路板上，所述电路板与所述线圈连接，为所述线圈通电；/n所述支撑结构包括扭梁和支撑柱，所述支撑柱为圆柱体，其设置在所述电路板上，所述支撑柱的上端与所述扭梁的一端连接，所述扭梁设置有两个，对称设置在所述基板的侧面，所述基板悬挂在所述扭梁的另一端上。/n

【技术特征摘要】
1.一种电磁式MEMS扭转微镜，其特征在于，包括：基板、支撑结构和线圈；
基板上设置有微镜镜面，所述基板设置在所述支撑结构上，所述支撑结构支撑所述微镜镜面，所述线圈设置在电路板上，所述电路板与所述线圈连接，为所述线圈通电；
所述支撑结构包括扭梁和支撑柱，所述支撑柱为圆柱体，其设置在所述电路板上，所述支撑柱的上端与所述扭梁的一端连接，所述扭梁设置有两个，对称设置在所述基板的侧面，所述基板悬挂在所述扭梁的另一端上。


2.根据权利要求1所述的电磁式MEMS扭转微镜，其特征在于，所述基板为正方体，以所述微镜镜面所在的平面建立笛卡尔坐标系，沿着所述扭梁的设置方向为X轴，与所述扭梁的设置方向垂直的为Y轴，所述线圈沿着所述X轴或所述Y轴对称设置在所述电路板上。


3.根据权利要求2所述的电磁式MEMS扭转微镜，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦毅，王福杰，姚智伟，任斌，郭芳，
申请(专利权)人：东莞理工学院，
类型：新型
国别省市：广东;44