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本实用新型涉及一种电磁式MEMS扭转微镜，其包括基板、支撑结构和线圈；基板上设置有微镜镜面，所述基板设置在所述支撑结构上，所述支撑结构支撑所述微镜镜面，所述线圈设置在电路板上，所述电路板与所述线圈连接，为所述线圈通电；所述支撑结构包括扭梁和...
该专利属于东莞理工学院所有，仅供学习研究参考，未经过东莞理工学院授权不得商用。

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