【技术实现步骤摘要】
一种微结构薄膜的转印复合模具及其制备方法
本专利技术涉及柔性压力传感器制备领域,具体涉及一种微结构薄膜的转印复合模具及其制备方法。
技术介绍
柔性薄膜压力传感器具有轻、薄、柔等优点,能够将压力信号转化为电学信号。构建表面微结构能够有效的提高柔性压力传感器的灵敏度。柔性压力传感器的弹性体薄膜一般通过具有表面微结构的模板转印获得,比如硅模板、树叶、织物或者砂纸等。在制备过程中,将能够固化成型的聚合物预聚体(通常为硅橡胶PDMS的预聚体)或者其他溶液浇筑/沉积/涂覆在这些模板表面,通过加热/光固化/溶剂挥发等获得薄膜,之后将得到的薄膜从模板上剥离下来,即可获得具有表面微结构的薄膜。在专利CN109883583A-一种弹性体薄膜及其制备方法与包含该弹性体薄膜的柔性压力传感器中,公开了通过选择性激光烧结技术三维打印转印模板,转印模板用于转印制备具有表面微结构的弹性体薄膜。将高分子预聚体浇筑在转印模板中制备微结构薄膜时,高分子预聚体处于流动状态,在重力的作用下流平形成薄膜。为了保证薄膜本身的平整度,需要浇筑模具具有良好的 ...
【技术保护点】
1.一种微结构薄膜的转印复合模具,其特征在于,所述模具包括平板模板和金属板,所述平板模板具有浇注面和固定面,所述平板模板的浇注面和固定面的空间夹角不超过3度,所述浇注面设置有表面微结构,所述微结构为以虚拟波阵面为基准的若干个不规则峰状凸起或凹陷,所述虚拟波阵面与所述浇注面平行或重合;/n所述金属板固定在所述平板模板的固定面上。/n
【技术特征摘要】
1.一种微结构薄膜的转印复合模具,其特征在于,所述模具包括平板模板和金属板,所述平板模板具有浇注面和固定面,所述平板模板的浇注面和固定面的空间夹角不超过3度,所述浇注面设置有表面微结构,所述微结构为以虚拟波阵面为基准的若干个不规则峰状凸起或凹陷,所述虚拟波阵面与所述浇注面平行或重合;
所述金属板固定在所述平板模板的固定面上。
2.根据权利要求1所述的转印复合模具,其特征在于,所述峰状凸起的波峰和波谷的高度差为10~100μm,所述峰状凸起的波峰和波谷的宽度差为10~100μm,所述峰状凸起的密度为10k~1000k个/cm2;或者所述凹陷的波峰和波谷的高度差为10~100μm,所述凹陷的波峰和波谷的宽度差为10~100μm,所述凹陷的密度为10k~1000k个/cm2。
3.根据权利要求1所述的转印复合模具,其特征在于,所述平板模板的浇注面和固定面平行。
4.根据权利要求1所述的转印复合模具,其特征在于,所述平板模板的周围具有倾斜向上的边缘或者竖直向上的边缘,所述平板模板与所述边缘包围成一个凹槽,所述凹槽的高度为1mm~5mm,所述平板模板的厚度为1mm~5mm。
5.根据权利要求3所述的转印复合模具,其特征在于,所述边缘与所述平板模板垂直,所述边缘向所述平板模板的固定面一侧延伸至包围所述金属板。
6.根据权利要求1所述的转印复合模具,其特征在于,所述金属板通过胶黏剂层固定在所述平板模板的...
【专利技术属性】
技术研发人员:张通,秦泽昭,邱福林,杨小牛,
申请(专利权)人:中科院长春应化所黄埔先进材料研究院,
类型:发明
国别省市:广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。