一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备制造技术

本专利申请涉及半导体加工技术领域，公开了一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，包括清洗槽，清洗槽用于容纳清洗液，清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，清洗槽上设置有若干用于安装喷淋组件的喷淋安装组件，注流组件包括注流主管和注流支管，注流支管的侧壁上开设有若干注流孔，清洗液由注流孔进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动，附着于机械手臂夹手上的试剂不断地受到水流的冲击而从机械手表面分离，从而提升清洗效果，通过喷淋安装组件来调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置，避免喷淋支管上某一点的应力集中从而避免喷淋支管的损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备
本专利技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备。
技术介绍
半导体设备常通过各种晶圆传输用的机械手臂完成的入料、传输、出料等的动作，在湿法工艺中，晶圆需要在多种不同的试剂中浸泡反应，机械手臂夹手批量夹持晶圆或夹持晶圆花篮并在各个工艺模组之间进行输送，机械手臂夹手包括两个板状的夹持部，在夹取过程中，两个夹持部容易沾染试剂，在多个模组之间进行输送时容易造成交叉污染，影响湿法工艺处理后的晶圆产品的工艺品质。半导体设备包括壳体，在壳体内设置有清洗槽，现有的机械手臂夹手的清洗方式常为将机械手臂夹手伸入清洗槽内进行浸洗，然而这种清洗方式所耗费的时间长，影响工作效率；或是采用喷淋清洗的方式，在清洗槽上设置喷淋组件，喷淋组件包括喷淋支管，喷淋支管上直线排布有若干喷淋孔，喷淋支管的两端分别安装于清洗槽上，然而这种清洗方式下喷淋支管的安装位置固定，无法根据实际安装情况进行调整，使得各个喷淋支管之间位置不对称，会导致某个部位应力集中，从而造成喷淋支管的损坏。
技术实现思路
本专利技术意在提供一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，其具有有效清洁机械手臂夹手，避免污染残留的特点。为达到上述目的，本专利技术的基本方案如下：一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，包括清洗槽，所述清洗槽用于容纳清洗液，所述清洗槽上形成有使清洗液溢出的溢流沟槽，所述清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，所述清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，所述喷淋组件用于对机械手臂夹手喷淋清洗液，所述清洗槽上设置有若干用于安装喷淋组件的喷淋安装组件，第一方向为竖直方向，第二方向为垂直于清洗槽侧面的方向，所述喷淋安装组件用于调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置，所述注流组件包括相互连通的注流主管和注流支管，所述注流支管设置于清洁槽的底部，所述注流支管的侧壁上开设有若干注流孔，当向所述注流主管内注入清洗液时，清洗液由注流支管上的注流孔进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动；所述喷气组件用于干燥机械手臂夹手。进一步地，所述清洗槽包括两个相互独立的槽体，两个所述槽体内分别注有用于清洗两个的夹持部清洗液，所述槽体的底部均设置有注流支管，两个所述槽体均固定连接于连接板上，相比一整个清洁槽，两个槽体的容积更小，能够减少清洗液用量，并且清洗液在较小的槽内流动时，流动阻力小，更容易形成循环流动，以提升清洗效果。进一步地，所述喷淋组件包括喷淋主管和若干喷淋支管，各个喷淋支管分别与喷淋主管相连通，每一所述槽体上方分别设置有两个喷淋支管，设置于同一槽体上的两个喷淋支管之间形成有使机械手臂夹手的夹持部通过的间隙，各个所述喷淋支管上均直线排布有若干喷淋喷嘴，所述喷淋喷嘴用于对夹持部进行喷淋。进一步地，每一槽体上均设置有两组喷淋安装组件，所述喷淋安装组件安装于半导体设备壳体的内壁上，两组喷淋安装组件分别与喷淋支管的两端相连接，所述喷淋安装组件包括第一安装板和两块第二安装板，两块所述第二安装板分别与第一安装板相连接，所述第一安装板上开设有若干第一腰形孔，所述第一腰形孔用于调整第一安装板在第一方向上的安装位置，所述第二安装板上开设有若干第二腰形孔，所述第二腰形孔用于沿第二方向调整第二安装板在第一安装板上的安装位置，所述第一安装板于第二腰形孔相对应的位置开设由第一孔，所述第一孔和第二腰形孔内贯穿有第一紧固件；所述第一安装板开设有第一安装槽，两根所述喷淋支管的一端均滑动连接于第一安装槽内，且滑动方向平行于第二方向，所述第二安装板上开设有第二安装槽，两根所述喷淋支管分别滑动连接于两块安装板上的第二安装槽内，所述第二安装板上设置有用于固定喷淋支管的第一固定件。进一步地，所述注流孔开设于注流支管的底部，且设置于同一注流支管上的若干注流孔呈直线分布，当向注流主管中注入清洗液时，清洗液经过注流孔并冲击到槽体的底部，清洗液并分散成多股并分别沿槽体的侧壁向上流动形成循环。进一步地，所述槽体底部设置有排水组件，所述排水组件用于排出清洗后的清洗液，所述排水组件包括排水主管和若干排水支管，所述排水支管用于连通槽体与排水主管，所述排水主管上设置有用于开启或关闭排水主管的排水阀。进一步地，所述喷气组件喷气主管和若干喷气支管，每个所述槽体的上方均与两根喷气支管固定连接，设置于同一所述槽体上的两根喷气支管分别用于对机械夹手的两个侧面进行干燥，所述喷气管上固定连接有若干喷气喷嘴，设置于同一所述喷气管上的喷淋喷嘴呈直线分布，喷气喷嘴朝向设置于同一槽体上的另一喷气管所在方向并向下倾斜设置。进一步地，每一所述槽体上均设置有两组喷气安装组件，所述喷气安装组件安装于半导体设备壳体的内壁上，两组喷气安装组件分别与喷气支管的两端相连接，所述喷气安装组件包括第三安装板和两块第四安装板，两块所述第四安装板分别与第三安装板相连接，所述第三安装板上开设有若干第三腰形孔，所述第三腰形孔用于调整第三安装板在第一方向上的安装位置，所述第四安装板上开设有若干第四腰形孔，所述第四腰形孔用于沿第二方向调整第四安装板在第三安装板上的安装位置，所述第三安装板于第四腰形孔相对应的位置开设由第二孔，所述第二孔和第四腰形孔内贯穿有第二紧固件,所述第三安装板开设有第三安装槽，两根所述喷气支管的一端均滑动连接于第三安装槽内，且滑动方向平行于第二方向，所述第四安装板上开设有第四安装槽，两根所述喷气支管分别滑动连接于两块安装板上的第四安装槽内，所述第四安装板上设置有用于固定喷气支管的第二固定件。进一步地，所述溢流沟槽均匀分布于槽体的槽口处，所述溢流沟槽的截面呈V字形，当液面高于溢流沟槽的槽口时，清洗液从溢流沟槽的槽口处溢出，能够避免流出的清洗液回流，通过溢流能够增强槽体内的清洗液循环，从而提升清洗效果。进一步地，所述连接板上开设有若干第三腰形孔，所述第三腰形孔用于调整连接板的安装位置，若干所述第三腰形孔分别设置于两个槽体相互背离的两侧，所述连接板的底部形成有两个相对设置的顶梁，所述顶梁用于安装定位，两个所述顶梁之间形成有加强筋，第三腰形孔在长度方向上存在一定可调整的范围，便于安装。与现有技术相比本方案的有益效果是：机械手臂夹手伸入清洗槽内的清洗液中时，相比于浸洗，附着于机械手臂夹手上的试剂不断地受到水流的冲击而从机械手表面分离，从而提升清洗效果；注流组件带动清洗槽内的清洗液循环流动，携带有试剂的清洗液随着清洗液的流动离开夹持部表面，同时带动新鲜的清洗液流经夹持部表面，避免使用后的清洗液再次污染夹持部；清洗槽内清洗后的清洗液从溢流沟槽处排出，同时注入清洗液，在清洁的过程中持续保持清洗液的清洁度，并且通过溢流能够增强槽体内清洗液的循环流动，从而增强清洗效果。通过喷淋安装组件来调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置，便于根据实际安装情况来进行调整，将各个喷淋支管调整到对称位置，避免喷淋支管某一安装点上的应力集中，从而避免喷淋支管的损坏。附图说明图1为实施例的整体结构示意图；图2为实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，包括清洗槽，所述清洗槽用于容纳清洗液，其特征在于：所述清洗槽上形成有使清洗液溢出的溢流沟槽(11)，所述清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，所述清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，/n所述喷淋组件用于对机械手臂夹手喷淋清洗液，所述清洗槽上设置有若干用于安装喷淋组件的喷淋安装组件，第一方向为竖直方向，第二方向为垂直于清洗槽侧面的方向，所述喷淋安装组件用于调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置；/n所述注流组件包括相互连通的注流主管(4)和注流支管(41)，所述注流支管(41)设置于清洁槽的底部，所述注流支管(41)的侧壁上开设有若干注流孔(42)，当向所述注流主管(4)内注入清洗液时，清洗液由注流支管(41)上的注流孔(42)进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动；/n所述喷气组件用于干燥机械手臂夹手。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，包括清洗槽，所述清洗槽用于容纳清洗液，其特征在于：所述清洗槽上形成有使清洗液溢出的溢流沟槽(11)，所述清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，所述清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，
所述喷淋组件用于对机械手臂夹手喷淋清洗液，所述清洗槽上设置有若干用于安装喷淋组件的喷淋安装组件，第一方向为竖直方向，第二方向为垂直于清洗槽侧面的方向，所述喷淋安装组件用于调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置；
所述注流组件包括相互连通的注流主管(4)和注流支管(41)，所述注流支管(41)设置于清洁槽的底部，所述注流支管(41)的侧壁上开设有若干注流孔(42)，当向所述注流主管(4)内注入清洗液时，清洗液由注流支管(41)上的注流孔(42)进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动；
所述喷气组件用于干燥机械手臂夹手。


2.根据权利要求1所述的自动化晶圆夹手有效喷淋分离的清洗槽配置，其特征在于：所述清洗槽包括两个相互独立的槽体(1)，两个所述槽体(1)内分别注有用于清洗机械手臂夹手的两个夹持部(9)的清洗液，所述槽体(1)的底部均设置有注流支管(41)，两个所述槽体(1)均固定连接于连接板(2)上。


3.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手有效喷淋分离的清洗槽配置，其特征在于：所述喷淋组件包括喷淋主管(3)和若干喷淋支管(31)，各个喷淋支管(31)分别与喷淋主管(3)相连通，每一所述槽体(1)上方分别设置有两个喷淋支管(31)，设置于同一槽体(1)上的两个喷淋支管(31)之间形成有使机械手臂夹手的夹持部(9)通过的间隙，各个所述喷淋支管(31)上均直线排布有若干喷淋喷嘴，所述喷淋喷嘴用于对夹持部(9)进行喷淋。


4.根据权利要求3所述的自动化晶圆夹手有效喷淋分离的清洗槽配置，其特征在于：每一槽体(1)上均设置有两组喷淋安装组件，所述喷淋安装组件安装于半导体设备壳体的内壁上，两组喷淋安装组件分别与喷淋支管(31)的两端相连接，所述喷淋安装组件包括第一安装板(32)和两块第二安装板(33)，两块所述第二安装板(33)分别与第一安装板(32)相连接，所述第一安装板(32)上开设有若干第一腰形孔(321)，所述第一腰形孔(321)用于调整第一安装板(32)在第一方向上的安装位置，
所述第二安装板(33)上开设有若干第二腰形孔(331)，所述第二腰形孔(331)用于沿第二方向调整第二安装板(33)在第一安装板(32)上的安装位置，所述第一安装板(32)于第二腰形孔(331)相对应的位置开设由第一孔(322)，所述第一孔(322)和第二腰形孔(331)内贯穿有第一紧固件(34)；
所述第一安装板(32)开设有第一安装槽(323)，两根所述喷淋支管(31)的一端均滑动连接于第一安装槽(323)内，且滑动方向平行于第二方向，所述第二安装板(33)上开设有第二安装槽(332)，两根所述喷淋支管(31)分别滑动连接于两块安装板上的第二安装槽(332)内，所述第二安装板(33)上设置有用于固定喷淋支管(31)的第一固定件(35)。


5.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手有效喷淋分离的清洗槽配置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张九勤，邓信甫，刘大威，陈丁堃，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，至微半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31