一种扩散炉用送料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种扩散炉用送料装置，包括送料电机、送料螺杆、送料滑座、送料导轨；送料螺杆的一端与送料电机的转轴端部进行同轴固定连接；送料滑座的中部螺纹孔与送料螺杆进行螺纹连接；送料滑座的侧面与送料导轨进行沿送料螺杆轴向方向的滑动连接；送料滑座的上部设置有用来夹持硅片的夹头；夹头包括呈U型结构的调节座、水平夹持板、夹持柱、调节件；调节座中竖直板的外端面通过L型支架与送料滑座的顶端固定连接；L型支架上设置有能够封堵炉口的封堵板。本实用新型专利技术当夹持有硅片的夹头通过炉口进入到炉体内时，L型支架上的封堵板会将炉口封闭。因此，本申请在将硅片送至炉体内的同时具有关闭炉体炉口的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉用送料装置
本技术属于扩散炉
，具体涉及一种扩散炉用送料装置。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。其中，扩散炉在使用过程中，需要将硅片传送至扩散炉炉体内，硅片在扩散炉炉内与反应气体进行相应反应，从而在硅片表面不断生成二氧化硅膜。因此，如何将硅片送至扩散炉炉体内是扩散炉使用的关键，本申请旨在设计一种扩散炉用送料装置，该装置将硅片送至炉体内的同时能够关闭炉体的炉口。
技术实现思路
本技术的目的是为克服上述现有技术的不足，提供一种扩散炉用送料装置。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种扩散炉用送料装置，包括送料电机、送料螺杆、送料滑座、送料导轨；所述送料电机固定设置在扩散炉外箱体的一侧内侧壁上；所述送料螺杆的一端与送料电机的转轴端部进行同轴固定连接；所述送料滑座的中部螺纹孔与送料螺杆进行螺纹连接；所述送料滑座的侧面与送料导轨进行沿送料螺杆轴向方向的滑动连接；所述送料滑座的上部设置有用来夹持硅片的夹头；所述夹头包括呈U型结构的调节座，所述调节座的开口面向炉体的炉口；所述调节座的两块水平板之间设置两块上下对称的水平夹持板；两块水平夹持板相向的侧面上沿长度方向对称设置有若干夹持柱；所述调节座上设置有用来控制两块水平夹持板进行同步相向运动或同步背向运动的调节件；所述调节座中竖直板的外端面通过L型支架与送料滑座的顶端固定连接；所述L型支架上设置有能够封堵炉口的封堵板。优选的，所述送料螺杆与送料电机的转轴通过联轴器进行同轴连接。优选的，所述送料导轨上设置有沿送料螺杆轴向方向延伸的限位滑槽；所述送料滑座的一侧面上设置有与限位滑槽进行滑动限位配合的限位滑块。优选的，所述限位滑槽为T型滑槽，所述限位滑块为T型滑块。优选的，位于上部的夹持柱的底端以及位于下部的夹持柱的顶端均设置有橡胶垫。优选的，所述调节件为调节螺柱，所述调节螺柱的两端设置有旋向相反的外螺纹；所述调节螺柱两端分别与相应的水平夹持板进行螺纹连接；所述调节螺柱的顶端、底端分别与调节座中相应的水平板进行转动连接；所述水平夹持板面向调节座的一端设置调节滑块，所述调节座的竖直板上设置有与调节滑块进行上下滑动配合的调节滑槽。优选的，所述调节滑槽为T型滑槽，所述调节滑块为T型滑块。优选的，所述调节螺柱的顶端、底端分别与调节座中相应的水平板通过轴承进行转动连接。本技术的有益效果是：本技术在限位滑槽、限位滑块的滑动限位配合以及送料滑座与送料螺杆的螺纹配合下，当启动送料电机时，会实现送料滑座沿送料螺杆轴向方向的直线运动，从而实现将夹持有硅片的夹头送入炉体以及退出炉体；当夹持有硅片的夹头通过炉口进入到炉体内时，L型支架上的封堵板会将炉口封闭。因此，本申请在将硅片送至炉体内的同时具有关闭炉体炉口的功能。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。图1是本技术扩散炉用送料装置的结构示意立体图；图2是本技术扩散炉用送料装置的结构示意主视图；图3是图2的A-A向剖视图；图4是本技术扩散炉用送料装置与炉体的位置关系图；其中：0-扩散炉外箱体，01-炉体，02-炉口；1-送料电机，2-送料螺杆，3-送料滑座，31-限位滑块，4-送料导轨，41-限位滑槽，5-夹头，51-调节座，511-调节滑槽，52-水平夹持板，521-调节滑块，53-夹持柱，54-橡胶垫，55-调节螺柱，6-L型支架，7-封堵板。具体实施方式应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。在本技术中，术语如“底”、“顶”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，只是为了便于叙述本技术各部件或元件结构关系而确定的关系词，并非特指本技术中任一部件或元件，不能理解为对本技术的限制。本技术中，术语如“相连”、“连接”等应做广义理解，表示可以是固定连接，也可以是一体地连接或可拆卸连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的相关科研或技术人员，可以根据具体情况确定上述术语在本技术中的具体含义，不能理解为对本技术的限制。下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。如图1-3所示，一种扩散炉用送料装置，包括送料电机1、送料螺杆2、送料滑座3、送料导轨4；所述送料电机1固定设置在扩散炉外箱体0的一侧内侧壁上；所述送料螺杆2的一端与送料电机1的转轴端部进行同轴固定连接；所述送料滑座3的中部螺纹孔与送料螺杆2进行螺纹连接；所述送料滑座3的侧面与送料导轨4进行沿送料螺杆2轴向方向的滑动连接；所述送料滑座3的上部设置有用来夹持硅片的夹头5；所述夹头5包括呈U型结构的调节座51，所述调节座51的开口面向炉体01的炉口02；所述调节座51的两块水平板之间设置两块上下对称的水平夹持板52；两块水平夹持板52相向的侧面上沿长度方向对称设置有若干夹持柱53，夹持柱53的设置，使硅片只有上下的夹持点，是为了使硅片更多的表面积暴露在炉体01内的反应气体中，从而更好的生成二氧化硅薄膜；所述调节座51上设置有用来控制两块水平夹持板52进行同步相向运动或同步背向运动的调节件；两块水平夹持板52进行同步相向运动夹紧硅片，同步背向运动松开硅片；所述调节座51中竖直板的外端面通过L型支架6与送料滑座3的顶端固定连接；所述L型支架6上设置有能够封堵炉口02的封堵板7；当夹头5通过炉口02进入到炉体01时，L型支架6上的封堵板7会将炉口02封闭，将夹头5从炉体01内退出时，封堵板7会解封炉口02。优选的，所述送料螺杆2与送料电机1的转轴通过联轴器进行同轴连接。优选的，所述送料导轨4上设置有沿送料螺杆2轴向方向延伸的限位滑槽41；所述送料滑座3的一侧面上设置有与限位滑槽41进行滑动限位配合的限位滑块31。在限位滑槽41、限位滑块31的滑动限位配合以及送料滑座3与送料螺杆2的螺纹配合下，当启动送料电机1时，会实现送料滑座3沿送料螺杆2轴向方向的直线运动，从而实现将夹持有硅片的夹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散炉用送料装置，其特征是，包括送料电机、送料螺杆、送料滑座、送料导轨；/n所述送料电机固定设置在扩散炉外箱体的一侧内侧壁上；/n所述送料螺杆的一端与送料电机的转轴端部进行同轴固定连接；/n所述送料滑座的中部螺纹孔与送料螺杆进行螺纹连接；所述送料滑座的侧面与送料导轨进行沿送料螺杆轴向方向的滑动连接；/n所述送料滑座的上部设置有用来夹持硅片的夹头；所述夹头包括呈U型结构的调节座，所述调节座的开口面向炉体的炉口；所述调节座的两块水平板之间设置两块上下对称的水平夹持板；两块水平夹持板相向的侧面上沿长度方向对称设置有若干夹持柱；/n所述调节座上设置有用来控制两块水平夹持板进行同步相向运动或同步背向运动的调节件；/n所述调节座中竖直板的外端面通过L型支架与送料滑座的顶端固定连接；所述L型支架上设置有能够封堵炉口的封堵板。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉用送料装置，其特征是，包括送料电机、送料螺杆、送料滑座、送料导轨；
所述送料电机固定设置在扩散炉外箱体的一侧内侧壁上；
所述送料螺杆的一端与送料电机的转轴端部进行同轴固定连接；
所述送料滑座的中部螺纹孔与送料螺杆进行螺纹连接；所述送料滑座的侧面与送料导轨进行沿送料螺杆轴向方向的滑动连接；
所述送料滑座的上部设置有用来夹持硅片的夹头；所述夹头包括呈U型结构的调节座，所述调节座的开口面向炉体的炉口；所述调节座的两块水平板之间设置两块上下对称的水平夹持板；两块水平夹持板相向的侧面上沿长度方向对称设置有若干夹持柱；
所述调节座上设置有用来控制两块水平夹持板进行同步相向运动或同步背向运动的调节件；
所述调节座中竖直板的外端面通过L型支架与送料滑座的顶端固定连接；所述L型支架上设置有能够封堵炉口的封堵板。


2.如权利要求1所述的扩散炉用送料装置，其特征是，所述送料螺杆与送料电机的转轴通过联轴器进行同轴连接。


3.如权利要求1所述的扩散炉用送料装置，其特征是，所述送料导轨上设置有沿送料螺杆轴向方向延伸的...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛新海，李志坤，
申请(专利权)人：青岛微弘设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37