一种扩散炉用送料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种扩散炉用送料装置，包括送料电机、送料螺杆、送料滑座、送料导轨；送料螺杆的一端与送料电机的转轴端部进行同轴固定连接；送料滑座的中部螺纹孔与送料螺杆进行螺纹连接；送料滑座的侧面与送料导轨进行沿送料螺杆轴向方向的滑动连接；送料滑座的上部设置有用来夹持硅片的夹头；夹头包括呈U型结构的调节座、水平夹持板、夹持柱、调节件；调节座中竖直板的外端面通过L型支架与送料滑座的顶端固定连接；L型支架上设置有能够封堵炉口的封堵板。本实用新型专利技术当夹持有硅片的夹头通过炉口进入到炉体内时，L型支架上的封堵板会将炉口封闭。因此，本申请在将硅片送至炉体内的同时具有关闭炉体炉口的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉用送料装置
本技术属于扩散炉
，具体涉及一种扩散炉用送料装置。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。其中，扩散炉在使用过程中，需要将硅片传送至扩散炉炉体内，硅片在扩散炉炉内与反应气体进行相应反应，从而在硅片表面不断生成二氧化硅膜。因此，如何将硅片送至扩散炉炉体内是扩散炉使用的关键，本申请旨在设计一种扩散炉用送料装置，该装置将硅片送至炉体内的同时能够关闭炉体的炉口。
技术实现思路
本技术的目的是为克服上述现有技术的不足，提供一种扩散炉用送料装置。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种扩散炉用送料装置，包括送料电机、送料螺杆、送料滑座、送料导轨；所述送料电机固定设置在扩散炉外箱体的一侧内侧壁上；所述送料螺杆的一端与送料电机的转轴端部进行同轴固定连接；所述送料滑座的中部螺纹孔与送料螺杆进行螺纹连接；所述送料滑座的侧面与送料导轨进行沿送料螺本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散炉用送料装置，其特征是，包括送料电机、送料螺杆、送料滑座、送料导轨；/n所述送料电机固定设置在扩散炉外箱体的一侧内侧壁上；/n所述送料螺杆的一端与送料电机的转轴端部进行同轴固定连接；/n所述送料滑座的中部螺纹孔与送料螺杆进行螺纹连接；所述送料滑座的侧面与送料导轨进行沿送料螺杆轴向方向的滑动连接；/n所述送料滑座的上部设置有用来夹持硅片的夹头；所述夹头包括呈U型结构的调节座，所述调节座的开口面向炉体的炉口；所述调节座的两块水平板之间设置两块上下对称的水平夹持板；两块水平夹持板相向的侧面上沿长度方向对称设置有若干夹持柱；/n所述调节座上设置有用来控制两块水平夹持板进行同步相向运动或同步...

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉用送料装置，其特征是，包括送料电机、送料螺杆、送料滑座、送料导轨；
所述送料电机固定设置在扩散炉外箱体的一侧内侧壁上；
所述送料螺杆的一端与送料电机的转轴端部进行同轴固定连接；
所述送料滑座的中部螺纹孔与送料螺杆进行螺纹连接；所述送料滑座的侧面与送料导轨进行沿送料螺杆轴向方向的滑动连接；
所述送料滑座的上部设置有用来夹持硅片的夹头；所述夹头包括呈U型结构的调节座，所述调节座的开口面向炉体的炉口；所述调节座的两块水平板之间设置两块上下对称的水平夹持板；两块水平夹持板相向的侧面上沿长度方向对称设置有若干夹持柱；
所述调节座上设置有用来控制两块水平夹持板进行同步相向运动或同步背向运动的调节件；
所述调节座中竖直板的外端面通过L型支架与送料滑座的顶端固定连接；所述L型支架上设置有能够封堵炉口的封堵板。


2.如权利要求1所述的扩散炉用送料装置，其特征是，所述送料螺杆与送料电机的转轴通过联轴器进行同轴连接。


3.如权利要求1所述的扩散炉用送料装置，其特征是，所述送料导轨上设置有沿送料螺杆轴向方向延伸的...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛新海，李志坤，
申请(专利权)人：青岛微弘设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37