一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备制造技术

本发明专利技术公开了一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其结构包括除膜机构、调节把手、控制器、闭合器，调节把手贯穿于除膜机构侧面内部，闭合器安装于除膜机构上端，控制器嵌固在除膜机构左侧上端，杠杆板通过活动槽下端的支撑环进行杠杆活动，伸缩杆有规律的升降，使得固定盘上的晶圆进行上下倾斜活动，增加去除薄膜的倾斜角度，避免了单一的倾斜角度容易造成边缘清洗刮除效果较弱的问题，防止晶圆边缘清洗刮除不干净，橡胶板左侧的摩擦块对薄膜进行去除，摩擦块使晶圆倾斜时进行竖向作用力，通过橡胶板的弧形结构避免刮除时中间产生内陷，且橡胶板的弧形结构对晶圆边缘沿角位置的受力较好，防止晶圆边缘沿角位置清洗刮除不干净。

【技术实现步骤摘要】
一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备
本专利技术涉及晶圆涂膜领域，具体涉及一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备。
技术介绍
晶圆尺寸的扩大引起晶圆边缘的面积扩大，需要对边缘的缺陷进行控制，晶圆边缘薄膜沉积到一定程度后，在内部应力或者外力作用下发生剥落，在背面以及边缘喷洒上溶液，利用旋转的作用对边缘进行刮除清洗，由于晶圆边缘反应接触角更大，因此边缘沿角位置会沉积厚度较厚的薄膜，而其他区域的薄膜厚度相比较边缘沿角位置处则较薄，在旋转刮除清洗时，使用单一的倾斜角度容易造成边缘上端或者下端清洗效果较弱，导致边缘清洗不干净，出现边缘环形缺陷的问题。
技术实现思路
本专利技术通过如下的技术方案来实现：一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其结构包括除膜机构、调节把手、控制器、闭合器，所述调节把手贯穿于除膜机构侧面内部，所述闭合器安装于除膜机构上端，所述控制器嵌固在除膜机构左侧上端，所述除膜机构设有电路器、放置机构、操作箱、旋转机构，所述电路器卡合在操作箱左侧内部，所述放置机构嵌固在操作箱内部底端，所述旋转机构外侧焊接在操作箱内部侧面，所述闭合器安装于操作箱上端，所述电路器与旋转机构为电连接，所述旋转机构以放置机构为中心环形安装。作为本专利技术进一步改进，所述放置机构设有固定盘、支撑机构、伸缩杆、固定栓，所述固定盘卡合在支撑机构上端，所述伸缩杆贯穿于固定栓内部，所述支撑机构安装于伸缩杆上端，所述固定栓下端嵌固在操作箱内部底端，所述伸缩杆设有八个，以固定栓为中心环形环绕分布。作为本专利技术进一步改进，所述支撑机构设有弹簧带、杠杆机构、支撑环，所述弹簧带连接在杠杆机构左右两侧，所述杠杆机构底端与支撑环间隙配合，所述杠杆机构卡合在固定盘上端，所述杠杆机构设有八个，以固定栓为中心轴环形均匀分布。作为本专利技术进一步改进，所述杠杆机构设有活动杆、活动槽、杠杆板、压缩板、弹簧，所述焊接在杠杆板下端，所述弹簧嵌固在杠杆板内部上端，所述压缩板贴合在杠杆板上端，所述活动杆卡合在杠杆板左侧内部，所述活动槽与支撑环间隙配合，所述弹簧设有两个，其平行位置位于活动槽左右两侧，所述压缩板为橡胶材质，具有韧性强，压缩力大的特性，所述杠杆板为倾斜状态。作为本专利技术进一步改进，所述旋转机构由摩擦机构、连接块、弹力杆、固定杆、伸缩杆、旋转轴构成，所述摩擦机构嵌固在连接块左侧，所述连接块安装于弹力杆左侧，所述弹力杆位于固定杆内部，所述固定杆连接在伸缩杆左侧，所述伸缩杆卡合在旋转轴内部，所述旋转轴外侧焊接在操作箱内部侧面，所述伸缩杆外侧设有褶皱环，所述固定杆与伸缩杆为水平状态安装，所述连接块右侧与固定杆左侧间隙配合。作为本专利技术进一步改进，所述摩擦机构设有摩擦块、橡胶板、受力板，所述摩擦块安装于橡胶板左侧，所述橡胶板贴合在受力板左侧，所述受力板嵌固在连接块左侧，所述摩擦块为三角形结构，所述橡胶板为弧形结构，具有增大受力角度的效果。有益效果与现有技术相比，本专利技术有益效果在于：1、伸缩杆带动杠杆机构中的活动杆进行伸缩，使杠杆板通过活动槽下端的支撑环进行杠杆活动，活动的同时弹簧带拉伸，继而嵌固在固定盘下端的弹簧进行拉伸，同时伸缩杆有规律的升降，使得固定盘上的晶圆进行上下倾斜活动，增加去除薄膜的倾斜角度，避免了单一的倾斜角度容易造成边缘清洗刮除效果较弱的问题，防止晶圆边缘清洗刮除不干净，避免出现边缘环形缺陷的问题。2、使得弹力杆左侧的连接块与晶圆外侧边缘贴合，从而通过摩擦机构对晶圆外侧的薄膜进行去除，同时当固定盘进行倾斜时，橡胶板左侧的摩擦块对薄膜进行去除，摩擦块使晶圆倾斜时进行竖向作用力，增大对晶圆薄膜的刮除力，通过橡胶板的弧形结构避免刮除时中间产生内陷，且橡胶板的弧形结构对晶圆边缘沿角位置的受力较好，防止晶圆边缘沿角位置清洗刮除不干净。附图说明图1为本专利技术一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备的结构示意图。图2为本专利技术一种除膜机构的侧面结构示意图。图3为本专利技术一种放置机构的侧面结构示意图。图4为本专利技术一种支撑机构的俯视结构示意图。图5为本专利技术一种杠杆机构的立体结构示意图。图6为本专利技术一种旋转机构的侧面结构示意图。图7为本专利技术一种摩擦机构的立体结构示意图。图中：除膜机构-1、调节把手-2、控制器-3、闭合器-4、电路器-11、放置机构-12、操作箱-13、旋转机构-14、固定盘-12a、支撑机构-12b、伸缩杆-12c、固定栓-12d、弹簧带-b1、杠杆机构-b2、支撑环-b3、活动杆-b21、活动槽-b22、杠杆板-b23、压缩板-b24、弹簧-b25、摩擦机构-w1、连接块-w2、弹力杆-w3、固定杆-w4、伸缩杆-w5、旋转轴-w6、摩擦块-w11、橡胶板-w12、受力板-w13。具体实施方式下面结合附图对本专利技术技术做进一步描述：实施例1：如图1-图5所示:本专利技术一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其结构包括除膜机构1、调节把手2、控制器3、闭合器4，所述调节把手2贯穿于除膜机构1侧面内部，所述闭合器4安装于除膜机构1上端，所述控制器3嵌固在除膜机构1左侧上端，所述除膜机构1设有电路器11、放置机构12、操作箱13、旋转机构14，所述电路器11卡合在操作箱13左侧内部，所述放置机构12嵌固在操作箱13内部底端，所述旋转机构14外侧焊接在操作箱13内部侧面，所述闭合器4安装于操作箱13上端，所述电路器11与旋转机构14为电连接，所述旋转机构14以放置机构12为中心环形安装，使得控制器3控制电路器11对旋转机构14的旋转进行控制，从而对放置机构12上的晶圆进行除膜。其中，所述放置机构12设有固定盘12a、支撑机构12b、伸缩杆12c、固定栓12d，所述固定盘12a卡合在支撑机构12b上端，所述伸缩杆12c贯穿于固定栓12d内部，所述支撑机构12b安装于伸缩杆12c上端，所述固定栓12d下端嵌固在操作箱13内部底端，所述伸缩杆12c设有八个，以固定栓12d为中心环形环绕分布，使得固定盘12a对晶圆进行贴合吸附，从而通过固定栓12d中的伸缩杆12c进行升降，使支撑机构12b进行偏移。其中，所述支撑机构12b设有弹簧带b1、杠杆机构b2、支撑环b3，所述弹簧带b1连接在杠杆机构b2左右两侧，所述杠杆机构b2底端与支撑环b3间隙配合，所述杠杆机构b2卡合在固定盘12a上端，所述杠杆机构b2设有八个，以固定栓12d为中心轴环形均匀分布，使得杠杆机构b2通过支撑环b3为支撑点进行杠杆活动。其中，所述杠杆机构b2设有活动杆b21、活动槽b22、杠杆板b23、压缩板b24、弹簧b25，所述w22焊接在杠杆板b23下端，所述弹簧b25嵌固在杠杆板b23内部上端，所述压缩板b24贴合在杠杆板b23上端，所述活动杆b21卡合在杠杆板b23左侧内部，所述活动槽b22与支撑环b3间隙配合，所述弹簧b25设有两个，其平行位置位于活动槽b22左右两侧，所述压缩板b24为橡胶材质，具有韧性强，压缩力大的特性，所述杠杆板b23为倾斜状态，使得活动杆b2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其结构包括除膜机构(1)、调节把手(2)、控制器(3)、闭合器(4)，所述调节把手(2)贯穿于除膜机构(1)侧面内部，所述闭合器(4)安装于除膜机构(1)上端，所述控制器(3)嵌固在除膜机构(1)左侧上端，其特征在于：/n所述除膜机构(1)设有电路器(11)、放置机构(12)、操作箱(13)、旋转机构(14)，所述电路器(11)卡合在操作箱(13)左侧内部，所述放置机构(12)嵌固在操作箱(13)内部底端，所述旋转机构(14)外侧焊接在操作箱(13)内部侧面，所述闭合器(4)安装于操作箱(13)上端。/n

【技术特征摘要】
1.一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其结构包括除膜机构(1)、调节把手(2)、控制器(3)、闭合器(4)，所述调节把手(2)贯穿于除膜机构(1)侧面内部，所述闭合器(4)安装于除膜机构(1)上端，所述控制器(3)嵌固在除膜机构(1)左侧上端，其特征在于：
所述除膜机构(1)设有电路器(11)、放置机构(12)、操作箱(13)、旋转机构(14)，所述电路器(11)卡合在操作箱(13)左侧内部，所述放置机构(12)嵌固在操作箱(13)内部底端，所述旋转机构(14)外侧焊接在操作箱(13)内部侧面，所述闭合器(4)安装于操作箱(13)上端。


2.根据权利要求1所述的一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其特征在于：所述放置机构(12)设有固定盘(12a)、支撑机构(12b)、伸缩杆(12c)、固定栓(12d)，所述固定盘(12a)卡合在支撑机构(12b)上端，所述伸缩杆(12c)贯穿于固定栓(12d)内部，所述支撑机构(12b)安装于伸缩杆(12c)上端，所述固定栓(12d)下端嵌固在操作箱(13)内部底端。


3.根据权利要求2所述的一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其特征在于：所述支撑机构(12b)设有弹簧带(b1)、杠杆机构(b2)、支撑环(b3)，所述弹簧带(b1)连接在杠杆机构(b2)左右两侧，所述杠杆机构(b2)底端与支撑环(b3)间隙配合，所述杠杆机构(b2)卡合在固定盘(12a)...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄嘉华，
申请(专利权)人：黄嘉华，
类型：发明
国别省市：福建;35