【技术实现步骤摘要】
六阶及以上校正STEM多极校正器
技术介绍
粒子光学显微镜利用圆形透镜来引导电子/带电粒子束以照射样本。然而，圆形透镜会产生正球面像差系数，从而限制较大的打开角度并抑制分辨率和探针电流。为了解决这个问题，当前的粒子光学显微镜结合了多极校正器以减小和/或校正球面像差。对于六极校正器，常规实践是仔细地对初级多极进行成像，从而使得四阶三叶像差D4为零。例如，Rose在1990年专利技术的六极校正器以两个相同的强六极为特征。当将Rose校正器中的两个强六极以-1放大倍率仔细地成像到彼此上时，这消除了它们的最低阶效应（即，三倍像散A2），并且还导致了四阶三叶像差D4无效。对于所述Rose校正器，将初级六极成像到彼此上就相当于将六极中平面成像到彼此上（即，中平面是完全共轭的）。然而，以这种方式将多极中平面成像到彼此上并不是当前实践中使D4像差无效的唯一方式。例如，对于某些其它六极校正器类型（例如，包括多于两个初级六极的六极校正器），如果所有初级六极中平面完全相互共轭，则将产生大的像差D4。在此类六极校正器中，为了使D4无效，使一个初级六极的中平面与与另一个初...
【技术保护点】
1.一种用于校正带电粒子系统中的轴向像差的校正器，所述校正器包括：/n第一初级多极，当将第一激励施加到所述第一初级多极时，所述第一初级多极产生第一初级多极场；/n第二初级多极，当将第二激励施加到所述第二初级多极时，所述第二初级多极产生第二初级多极场，其中当在所述带电粒子系统中使用时，所述第二初级多极定位在所述第一初级多极与作为球面像差来源的透镜之间，其中所述第一初级多极未被成像到所述第二初级多极上，从而产生了组合四阶像差；以及/n次级多极，所述次级多极用于校正所述四阶像差和六阶像差，其中当在所述带电粒子系统中使用时，所述次级多极定位在所述第二初级多极与所述透镜之间。/n
【技术特征摘要】
20191122 US 16/6928511.一种用于校正带电粒子系统中的轴向像差的校正器，所述校正器包括：
第一初级多极，当将第一激励施加到所述第一初级多极时，所述第一初级多极产生第一初级多极场；
第二初级多极，当将第二激励施加到所述第二初级多极时，所述第二初级多极产生第二初级多极场，其中当在所述带电粒子系统中使用时，所述第二初级多极定位在所述第一初级多极与作为球面像差来源的透镜之间，其中所述第一初级多极未被成像到所述第二初级多极上，从而产生了组合四阶像差；以及
次级多极，所述次级多极用于校正所述四阶像差和六阶像差，其中当在所述带电粒子系统中使用时，所述次级多极定位在所述第二初级多极与所述透镜之间。
2.根据权利要求1所述的校正器，其中所述次级多极被进一步配置成针对三倍像散A2进行校正。
3.根据权利要求1所述的校正器，其中所述次级多极被配置成使得：
当将第三激励施加到所述次级多极时，所述次级多极产生第三多极场，并且
所述第三多极场产生校正所述四阶像差和所述六阶像差的一个或多个像差。
4.根据权利要求1所述的校正器，其中所述次级多极产生二阶像差，所述二阶像差产生校正所述四阶像差的组合像差。
5.根据权利要求1所述的校正器，其中所述第一激励和所述第二激励使得对所述第一初级多极场产生的三倍像散A2的第一贡献和对所述第二初级多极场产生的三倍像散A2的第二贡献不会消除。
6.根据权利要求1所述的校正器，其中当使用所述校正器时，未被成像到所述第二初级多极上的所述第一初级多极包括以发散角或会聚角之一进入所述第一初级多极的带电粒子束。
7.根据权利要求1所述的校正器，其中未被成像到所述第二初级多极上的所述第一初级多极包括所述校正器上游的透镜的一个...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·亨斯特拉，P·C·泰梅杰尔，M·尼斯塔特，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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